mems加速度计原理

mems加速度计原理

MEMS加速度计是一种利用微电子机械系统技术制造的加速

度传感器。它采用微小的质量偏转来测量物体的加速度。MEMS加速度计的原理基于牛顿第二定律，即力等于质量乘

以加速度。它包括一个微小的质量块，在加速度作用下会偏转。具体原理如下：

1. 弹性梁原理：MEMS加速度计的核心部件是微小的弹簧梁

结构。当加速度作用于传感器时，其内部的弹簧梁会受到力的作用而发生形变。通过测量形变量的变化，可以计算出加速度大小。

2. 微机电系统技术：MEMS加速度计通过微电子加工工艺制

造出微小的机械结构，这些结构可以识别并测量加速度。常见的结构包括悬臂梁、微型质量块等。当加速度发生改变时，这些微小结构会产生微小位移，通过测量位移的变化，可以得到加速度的值。

3. 电容变化原理：MEMS加速度计中的微小结构内部设置了

电容，当加速度发生变化时，结构的位移会导致电容发生改变。通过测量电容的变化，可以得到加速度的值。

总之，MEMS加速度计利用微小结构的位移或形变来测量加

速度，具有体积小、功耗低和响应速度快等优势，广泛应用于移动设备、汽车电子系统和航空航天等领域。