Track机台简易故障排除

Track機台簡易故障排除

Alarm Message : Uni-Cassette Working carrier stage wafer out sensor error (晶舟放置平台上之晶片突出偵測器偵測異常)

處置方式: 1.檢查晶片是否突出2.按Repeat

Alarm Message : C/S Arm Carrier station arm lost wafer (晶片傳送區之手臂偵測掉

片)

處置方式: 1.檢查晶片是否置於C/S Arm正確位置2.輕輕移動晶片使其置於正確位置3.按Repeat

Alarm Message : C/S Arm C/S arm mapping sensor error (thickness) (傳送區手臂之晶片比對偵測器偵測晶片厚度異常)

處置方式: 1.檢查晶片是否斜放2.將晶片正常放置3.按Repeat

Alarm Message : Adhesion HMDS flow error ( HMDS流量異常)

處置方式: 1.絕不可按Remove wafer 2.按Continue 3.確認下一片HMDS浮球是否作動 4.連續發生三次請通知設備工程師

Alarm Message : Coater (或Developer) Exhaust error (覆蓋機/顯影機抽風異常)

處置方式: 1.按Stop Proc. 2.檢查Exhaust抽風( Coater 4.0 mm-H2O / Developer

7.0 mm-H2O ) 3.確認Coater中之晶片是否完成上光阻程序 4.顯影

槽中之晶片須ADI檢驗

Alarm Message : Low Oven (或Cooling Plate ) Pin up/down error (冷/熱板之晶片頂桿起/降異常)

處置方式: 1.按Repeat 2.如果掉片請通知設備工程師

Alarm Message : Coater FD Rinse flow error (覆蓋機晶邊清洗流量異常)

處置方式: 1.檢查晶邊是否清洗 2. 按Continue 3. 檢查晶邊與晶背清洗流量Alarm Message : Developer FC Rinse flow error (顯影機晶邊清洗流量異常)

處置方式: 1.按Continue 3. 檢查晶片正面與晶背清洗流量

Alarm Message : Developer E5 Developing solution empty (顯影液暫存瓶液位過低) 處置方式: 1.將Sub Tank Auto Supply Control Panel之Reset鍵按下 2.按Continue

3. 連續發生二次請通知設備工程師

Alarm Message : I/F Arm 7A I/F Arm x-axis return error ( lost ) (介面區手臂X軸方向手臂回復異常)

處置方式: 1.將晶片放置於正確位置2.按Repeat

Alarm Message : WEE Notch search error (晶邊曝光缺口對準異常) 處置方式: 1.按Repeat 2.連續發生三次請通知設備工程師