半导体器件物理复习题1

半导体器件与工艺原理复习题

一． 平衡半导体：

概念题：

1. 平衡半导体的特征（或称谓平衡半导体的定义）

所谓平衡半导体或处于热平衡状态的半导体，是指无外界（如电压、电场、磁场或温度梯度等）作用影响的半导体。在这种情况下，材料的所有特性均与时间和温度无关。 2. 本征半导体：

本征半导体是不含杂质和无晶格缺陷的纯净半导体。 3. 受主（杂质）原子：

形成P 型半导体材料而掺入本征半导体中的杂质原子（一般为元素周期表中的Ⅲ族元素）。 4. 施主（杂质）原子：

形成N 型半导体材料而掺入本征半导体中的杂质原子（一般为元素周期表中的Ⅴ族元素）。 5. 杂质补偿半导体：

半导体中同一区域既含受主杂质又含施主杂质的半导体。 6. 兼并半导体：

对N 型掺杂的半导体而言，电子浓度大于导带的有效状态密度， 其费米能级大于导带底能量（0F c E E ->）；对P 型掺杂的半导体而言，空穴浓度大于价带的有效状态密度。其费米能级小于价带顶能量（0F v E E -<）。

7. 有效状态密度： 在导带能量范围（

~c E ∞

）内，对导带量子态密度函数

8. 以导带底能量c E 为参考，导带中的平衡电子浓度：

其含义是：导带中的平衡电子浓度等于导带中的有效状态密度乘以能量为导带低能量时的玻尔兹曼分布函数。 9. 以价带顶能量v E 为参考，价带中的平衡空穴浓度：

其含义是：价带中的平衡空穴浓度等于价带中的有效状态密度乘以能量为价带顶能量时的玻尔兹曼分布函数。 10.

11.

12.

13.

14.

本征费米能级Fi E ：

指本征半导体的费米能级；本征半导体费米能级的位置位于禁带

带宽度g c v E E E =-。？

15.

本征载流子浓度i n ：

本征半导体内导带中电子浓度等于价带中空穴浓度的浓度

00i n p n ==。硅半导体，在300T K =时，1031.510i n cm -=⨯。

16. 杂质完全电离状态：

当温度高于某个温度时，掺杂的所有施主杂质失去一个电子成为带正电的电离施主杂质；掺杂的所有受主杂质获得一个电子成为带负电的电离受主杂质，称谓杂质完全电离状态。 17.

束缚态：

在绝对零度时，半导体内的施主杂质与受主杂质成电中性状态称谓束缚态。束缚态时，半导体内的电子、空穴浓度非常小。 18.

本征半导体的能带特征：

本征半导体费米能级的位置位于禁带中央附近，且跟温度有关。如果电子和空穴的有效质量严格相等，那么本征半导体费米能级

的位置严格位于禁带中央。在该书的其后章节中，都假设：本征半导体费米能级的位置严格位于禁带中央。（画出本征半导体的能带图）。 19.

非本征半导体：

进行了定量的施主或受主掺杂，从而使电子浓度或空穴浓度偏离了本征载流子浓度，产生多子电子（N 型）或多子空穴（P 型）的半导体。 20.

本征半导体平衡时载流子浓度之间的关系：

本征载流子浓度强烈依赖与温度。

以本征费米能级为参考描述的电子浓度和空穴浓度：

从上式可以看出：如果F

Fi E E =，可以得出20000i

i n p n n p n ===，此

时的半导体具有本征半导体的特征。上式的载流子浓度表达式既可以描述非本征半导体，又可以描述本征半导体的载流子浓度。 21.

非本征半导体平衡时载流子浓度之间的关系：

200i n p n =，22. 补偿半导体的电中性条件：

()001a d

n N p N -+

+=+ 其中：

0n 是热平衡时，导带中总的电子浓度； 0p 是热平衡时，价带中总的空穴浓度；

a a a N N p -=-是热平衡时，受主能级上已经电离的受主杂质； d d d N N n +=-是热平衡时，施主能级上已经电离的施主杂质；

a N 是受主掺杂浓度；d N 是施主掺杂浓度；a p 是占据受主能级的

空穴浓度；d n 是占据施主能级的电子浓度。也可以将（1）写成：

()

()00()2a a d d n N p p N n +-=+-

在完全电离时的电中性条件： 完全电离时，0,0d

a n p ==，有()003a d

n N p N +=+

对净杂质浓度是N 型时，热平衡时的电子浓度是

对净杂质浓度是P 型时，热平衡时的空穴浓度是

理解题：

23.结合下图，分别用语言描述N 型半导体、P 型半导体的费米能级在能带中的位置：

24.费米能级随掺杂浓度是如何变化的？

如果掺杂浓度a i N n >>，且a d N N >>利用（5）式得到，0a p N ≈； 如果掺杂浓度d

i N n >>，且d a N N >>利用（4）式得到，0d n N ≈；

带入（6）式得：

所以，随着施主掺杂浓度d N 的增大，N 型半导体的费米能级F E 远离本征费米能级Fi E 向导带靠近（为什么会向导带靠近？）；同样，随着受主掺杂浓度a N 的增大，P 型半导体的费米能级F E 远离本征费米能级Fi E 向价带靠近（为什么会向价带靠近？）。 25.费米能级在能带中随温度的变化？

温度升高时，本征载流子浓度i n 增大，N 型和P 型半导体的费米

能级都向本征费米能级靠近。为什么？ 26.硅的特性参数： 在室温（300T K =时，）硅的 导带有效状态密度1932.810,c N cm -=⨯ 价带的有效状态密度1931.0410v N cm -=⨯； 本征载流子浓度：1031.510i n cm -=⨯ 禁带宽度（或称带隙能量） 1.12g E eV

=

27. 常用物理量转换单位

1478103191101010101011025.5125.41 1.610A nm m mm cm m mil in m in cm eV J

μμ-------=========⨯

28.常用物理常数：

,235193107014012tan 1.3810/8.6210/arg 1.6109.1110410/8.8510/8.8510/Boltzmann s cons t k J K eV K Electronic ch e e C Free electron rest mass m kg

Permeability of free space H m Permittivity of free space F cm F μπε-------=⨯=⨯=⨯=⨯=⨯=⨯=⨯,3415342710tan 6.625104.135101.054102Pr 1.67102.99810/(300)0.02590.0259t m Planck s cons t

h J s eV s h J s oton rest mass M kg

Speed of light in vacuum

c cm s

kT

Thermal voltage T K V V

e

kT eV

π

----=⨯-=⨯-==⨯-=⨯=⨯====