半导体器件物理复习题1

半导体器件与工艺原理复习题一． 平衡半导体：概念题：1. 平衡半导体的特征（或称谓平衡半导体的定义）所谓平衡半导体或处于热平衡状态的半导体，是指无外界（如电压、电场、磁场或温度梯度等）作用影响的半导体。

在这种情况下，材料的所有特性均与时间和温度无关。

2. 本征半导体：本征半导体是不含杂质和无晶格缺陷的纯净半导体。

3. 受主（杂质）原子：形成P 型半导体材料而掺入本征半导体中的杂质原子（一般为元素周期表中的Ⅲ族元素）。

4. 施主（杂质）原子：形成N 型半导体材料而掺入本征半导体中的杂质原子（一般为元素周期表中的Ⅴ族元素）。

5. 杂质补偿半导体：半导体中同一区域既含受主杂质又含施主杂质的半导体。

6. 兼并半导体：对N 型掺杂的半导体而言，电子浓度大于导带的有效状态密度， 其费米能级大于导带底能量（0F c E E ->）；对P 型掺杂的半导体而言，空穴浓度大于价带的有效状态密度。

其费米能级小于价带顶能量（0F v E E -<）。

7. 有效状态密度： 在导带能量范围（~c E ∞）内，对导带量子态密度函数8. 以导带底能量c E 为参考，导带中的平衡电子浓度：其含义是：导带中的平衡电子浓度等于导带中的有效状态密度乘以能量为导带低能量时的玻尔兹曼分布函数。

9. 以价带顶能量v E 为参考，价带中的平衡空穴浓度：其含义是：价带中的平衡空穴浓度等于价带中的有效状态密度乘以能量为价带顶能量时的玻尔兹曼分布函数。

10.11.12.13.14.本征费米能级Fi E ：指本征半导体的费米能级；本征半导体费米能级的位置位于禁带带宽度g c v E E E =-。

？15.本征载流子浓度i n ：本征半导体内导带中电子浓度等于价带中空穴浓度的浓度00i n p n ==。

硅半导体，在300T K =时，1031.510i n cm -=⨯。

16. 杂质完全电离状态：当温度高于某个温度时，掺杂的所有施主杂质失去一个电子成为带正电的电离施主杂质；掺杂的所有受主杂质获得一个电子成为带负电的电离受主杂质，称谓杂质完全电离状态。

17.束缚态：在绝对零度时，半导体内的施主杂质与受主杂质成电中性状态称谓束缚态。

束缚态时，半导体内的电子、空穴浓度非常小。

18.本征半导体的能带特征：本征半导体费米能级的位置位于禁带中央附近，且跟温度有关。

如果电子和空穴的有效质量严格相等，那么本征半导体费米能级的位置严格位于禁带中央。

在该书的其后章节中，都假设：本征半导体费米能级的位置严格位于禁带中央。

（画出本征半导体的能带图）。

19.非本征半导体：进行了定量的施主或受主掺杂，从而使电子浓度或空穴浓度偏离了本征载流子浓度，产生多子电子（N 型）或多子空穴（P 型）的半导体。

20.本征半导体平衡时载流子浓度之间的关系：本征载流子浓度强烈依赖与温度。

以本征费米能级为参考描述的电子浓度和空穴浓度：从上式可以看出：如果FFi E E =，可以得出20000ii n p n n p n ===，此时的半导体具有本征半导体的特征。

上式的载流子浓度表达式既可以描述非本征半导体，又可以描述本征半导体的载流子浓度。

21.非本征半导体平衡时载流子浓度之间的关系：200i n p n =，22. 补偿半导体的电中性条件：()001a dn N p N -++=+ 其中：0n 是热平衡时，导带中总的电子浓度； 0p 是热平衡时，价带中总的空穴浓度；a a a N N p -=-是热平衡时，受主能级上已经电离的受主杂质； d d d N N n +=-是热平衡时，施主能级上已经电离的施主杂质；a N 是受主掺杂浓度；d N 是施主掺杂浓度；a p 是占据受主能级的空穴浓度；d n 是占据施主能级的电子浓度。

也可以将（1）写成：()()00()2a a d d n N p p N n +-=+-在完全电离时的电中性条件： 完全电离时，0,0da n p ==，有()003a dn N p N +=+对净杂质浓度是N 型时，热平衡时的电子浓度是对净杂质浓度是P 型时，热平衡时的空穴浓度是理解题：23.结合下图，分别用语言描述N 型半导体、P 型半导体的费米能级在能带中的位置：24.费米能级随掺杂浓度是如何变化的？如果掺杂浓度a i N n >>，且a d N N >>利用（5）式得到，0a p N ≈； 如果掺杂浓度di N n >>，且d a N N >>利用（4）式得到，0d n N ≈；带入（6）式得：所以，随着施主掺杂浓度d N 的增大，N 型半导体的费米能级F E 远离本征费米能级Fi E 向导带靠近（为什么会向导带靠近？）；同样，随着受主掺杂浓度a N 的增大，P 型半导体的费米能级F E 远离本征费米能级Fi E 向价带靠近（为什么会向价带靠近？）。

25.费米能级在能带中随温度的变化？温度升高时，本征载流子浓度i n 增大，N 型和P 型半导体的费米能级都向本征费米能级靠近。

为什么？ 26.硅的特性参数： 在室温（300T K =时，）硅的 导带有效状态密度1932.810,c N cm -=⨯ 价带的有效状态密度1931.0410v N cm -=⨯； 本征载流子浓度：1031.510i n cm -=⨯ 禁带宽度（或称带隙能量） 1.12g E eV=27. 常用物理量转换单位1478103191101010101011025.5125.41 1.610A nm m mm cm m mil in m in cm eV Jμμ-------=========⨯28.常用物理常数：,235193107014012tan 1.3810/8.6210/arg 1.6109.1110410/8.8510/8.8510/Boltzmann s cons t k J K eV K Electronic ch e e C Free electron rest mass m kgPermeability of free space H m Permittivity of free space F cm F μπε-------=⨯=⨯=⨯=⨯=⨯=⨯=⨯,3415342710tan 6.625104.135101.054102Pr 1.67102.99810/(300)0.02590.0259t m Planck s cons th J s eV s h J s oton rest mass M kgSpeed of light in vacuumc cm skTThermal voltage T K V VekT eVπ----=⨯-=⨯-==⨯-=⨯=⨯====2141422(300)tan 11.78.8510/tan 3.98.8510/1.121350/si ox g n Silicon and SiO properties T K Silicon Dielectric cons t F cm SiO Dieelectric cons t F cmSilicon Bandgap energey E eVSilicon Mobility of eletron cm V s Silicon εεμ--==⨯⨯=⨯⨯==-2103480/4.01int 1.510p i Mobility of Hole cm V s Silicon electron affinityVSilicon rnsic carrier condentration n cm μχ-=-==⨯23423400Pr (300)9 4.7tan 3.97.5int17001900operties of SiO and Si N T K SiO Si N Energy gap eV eV Dielectric cons t Melting po CC=≈≈29.电离能的概念：价带能量与受主能级的差值称谓受主杂质电离能,即a v E E -； 导带能量与施主能级的差值称谓施主杂质电离能,即c d E E -； 问：受主能级a E 在能带中的什么位置？ 施主能级d E 在能带中的什么位置？ 结合下图用语言描述。

计算能使玻尔兹曼近似成立的最大掺杂浓度及费米能级的位置。

解：考虑300T K =时对硅进行了硼掺杂，假设玻尔兹曼近似成立的条件是3F a E E kT -=，已知硼在硅中的电离能是0.045a v E E eV -=，假设本征费米能级严格等于禁带中央。

在300T K =时，P 型半导体的费米能级在Fi E 与a E 之间，所以()()()()()1017322ln 21.120.04530.02590.0259ln 20.4370.0259ln0.4370.437exp 1.510exp 3.2100.02590.02590.437c v c vFi F F a v F a g a a v F a i a i aia i Fi F E E E E E E E E E E E E N E E E E kT n N n N n N n cm E E eV-+--=-=----⎛⎫=----= ⎪⎝⎭--==⎛⎫⎛⎫==⨯=⨯ ⎪ ⎪⎝⎭⎝⎭-=玻尔兹曼近似成立的最大掺杂浓度是1733.210a N cm -=⨯ 费米能级高于本征费米能级0.437Fi FE E eV-=。

二． 半导体中的载流子输运现象与过剩载流子：概念题：30.半导体中存在两种基本的电荷输运机理，一种称谓载流子的漂移，漂移引起的载流子流动与外加电场有关；另一种电荷输运现象称谓载流子的扩散，它是由杂质浓度梯度引起的（或理解为有“扩散力”存在引起的电荷输运）。

31.给半导体施加电场，载流子的漂移速度不会无限增大，而是在散射作用下，载流子会达到平均漂移速度。

半导体内主要存在着两种散射现象：晶格散射和电离杂质散射。

32.载流子迁移率定义为载流子的平均漂移速度与所加电场的比值,dp dn p n v v E Eμμ==。

电子迁移率n μ和空穴迁移率p μ既是温度的函数，也是电离杂质浓度的函数。

33.当所加的电场很小时，载流子的平均漂移速度与电场成线性关系；当电场强度达到4110Vcm -时，载流子的漂移速度达到饱和值7110cms -。

34.载流子的漂移电流等于电导率与电场强度的乘积（drf j E σ=）电导率与载流子浓度、迁移率成正比；电阻率是电导率的倒数。

35.载流子的扩散电流密度正比于扩散系数,n p D D 和载流子浓度梯度。

非均匀杂质掺杂的半导体，在热平衡时，会在半导体内产生感应电场。

载流子的扩散系数与迁移率的关系称谓爱因斯坦关系：pnt npD D kTV qμμ===。