origin分峰说明

1.安装origin7.0

2.安装插件PeakFittingModule for origin 7.0, 之后在origin中出现一个

分峰的小图标。

3.选择数据曲线，点击分峰图标，出现下图：

选择分峰的区域，NEXT

选择滤波函数，NEXT

设定基线，NEXT

基线运算，NEXT

设定峰的类型，个数，高度阈值，按Pick Peaks，NEXT 增删峰位，NEXT

调整峰位，峰高，峰宽，使分峰的拟合结果与原图最接近，NEXT

峰位拟合（一般不用），NEXT

按Plot可以得到最终的分峰结果，其它选项可以进行相关的分析计算，相关属性信息，Finish 结束

XPS Peak分峰步骤

1．将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。2．打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。

3．选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方将出现本底的起始和终点位置（因软件问题，此位置最好不改，否则无法再回到Origin），本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。

4．选峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（如C1s峰则选s，S2p峰则选p），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FWHM）、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系，如Pt4f7/2和Pt4f5/2的峰位间距可固定为3.45，峰面积比可固定为4:3等。点Delete peak可去掉此峰。然后再点Add peak选第二个峰，如此重复。

5．选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimise region。

6．拟合完成后，分别点另一个窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每个峰的参数，此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不满意，可改变这些峰的参数，然后再点Optimise region。

7．点Save XPS存图，下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。8．点Data――Print with peak parameters可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。

9．点Data――Export to clipboard，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如Word文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。

10．点Data――Export （spectrum），则将拟合好的数据存盘，然后在Origin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在Origin中作出拟合后的图

作为新手，对于谱图的拟合有很多的疑惑。几年前作为新手的我也同样对谱图的拟合存在很多的困惑。总是想弄清楚数据的拟合究竟应该遵

循什么的准则。这几年经过与专家的多次交流，我们组总结了谱图拟合的基本规则：

1.元素结合能数据可参考/selEnergyType.aspx

2.谱峰的曲线拟合应考虑：合理的化学与物理意义；合理的半

高宽（一般不大于2.7eV，氧化物的半高宽应大于单质的半高

宽）；合理的L/G比（XPS Peak 41分峰软件中的%

Lorentzian-Gaussian）为20%左右；对双峰还应考虑两个峰的

合理间距、强度比等（详见下面的3，4项）。

3.对于p、d、f等能级的次能级（如p3/2、p1/2，光电子能谱中

一般省略/2，即为p3、p1）强度比是一定的，p3:p1=2:1；

d5:d3=3:2，f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f

中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。

4.对于有能级分裂的能级（p、d、f），分裂的两个轨道间的距

离(doublet seperation)也基本上是固定的，如同一价态的W4f7

和W4f5之间的距离为2.15eV左右，Si2p3和Si2p1差值为

1.1eV左右。各元素能级分裂数据可参考网上数据库

/selEnergyType.aspx中选择Doublet Seperation项

5.全谱扫描((即Survey)中各峰对应的元素能级参考提供的BE

Lookup Table表

6.各元素不同化学状态结合能可参考附件《各元素化学状态

表.pdf》，文件扫描自Phi公司出版的手册中的附录2，Handbook

of X-ray Photoelectron Spectroscopy—A Reference Book of

Standard Spectra for Identification and Interpretation of XPS

Data，John F. Moulder, William F. Stickle, Peter E. Sobol,

Kenneth D. Bomben, Physical Electronics, Inc. ,1992

7.有机聚合物中的C、O、N、F等的化学位移值可参考John Willey

& Sons出版的有机聚合物高分辨XPS谱图中的附录，High

Resolution XPS of Organic Polymers-The Scienta ESCA300

Database, G. Beamson, D. Briggs,John Wiley &Sons, 1992

07年的时候去北京化学所刘芬老师实验室请教过拟合的问题，刘芬老师当初的解答主要有两点：1.扣背底选择平的点；2.半峰宽最大在2.0eV 左右，峰宽与表面粗糙度有关。

08年开表面分析会议的时候大连化物所盛世善老师讲到谱线的曲线拟合，应考虑：

1，其合理的化学与物理意义

2，合理的半高宽

3，合理的G/L比：常取80％左右

4，对双峰还应考虑：两个峰的合理间距、强度比、半高宽比

*过渡金属的2p峰不对称，拟合较难

QQ光电子能谱群讨论时，北京化工大学的程斌老师对于谱图拟合的见解：

1、一定以物理意义为基础，而不是反过来；不要追求参差最小，而是追求物理意义；

2、半峰宽以几个峰接近为好，