AP2004皮拉尼真空计

AP2004
皮拉尼真空计
AP2004模拟输出：2个设置点 ＋ 模拟输出
2个设置点 ＋ RS485
ADIXEN
在使用这个真空计之前，请仔细阅读此文件。

1、安全
1-1．符号
注意
关于正确处理或使用的重要信息。

1-2．一般安全指令
·这个真空计不要使用在腐蚀性或毒性气体的工况
腐蚀性气体如含氟的气体可能造成传感器内部损坏，从而导致外部气体泄
漏。

这可能造成人身伤害。

·小心安装或拆除真空计
将真空计安装在真空管路上之后或拆除其之前，用干净和干燥气体去除传
感器内部残余的气体和蒸气。

1-3．专业技术人员
注意
所有在这个文件中描述的工作要由经过适当技术培训和有足够经验的专业
人去执行。

2、质量保证
1．这个真空计的保修期为交货后一年。

2．如果这个真空计在这个文件描述的正常操作下发生任何故障，我司将提供免费维修。

3．质量保证是针对该产品。

任何因产品造成的其他损伤不在保质范围内。

4．即使在保质期内，如遇以下损坏需付费维修：
ⅰ) 因不正确使用或非法维修及修改造成的损坏。

ⅱ) 在交货之后, 机械撞击造成的损坏。

ⅲ) 连接装置导致故障或损坏。

ⅳ) 因颗粒或外部物体进入传感器造成的损坏。

ⅴ) 因自然灾害造成的损坏例如火灾、地震、洪水或雷击。

ⅵ) 其它不在我们的责任范围之内的损坏。

5.维修或更换零件后的保修期为90天或遵从原先保质期的到期日，两种情况中相对晚到的
日期为准。

3、技术参数
3-1．详述
测量压力范围：5E-2～1E5 (Pa)
测量精确性 ：5E-2～1E-1 (Pa)：±50％
：1E-1～1E4(Pa)：±15％
：1E4～1E5 (Pa)：±50％
重复性 ：1E-1～1E4：2% ／ 环境温度25℃
输入电压 ：+14～30VDC(标准 24VDC) ／ 允许脉动：在2Vp-p下面
消耗功率 ：2W (消耗电流＜150mA)
模拟输出：0～10V (查阅 4-1)
真空计辨识阻抗：13ｋΩ (D-sub 5-9pins)
设置点：2 个接点输出 (1A30V, DC) ∕ SP・485 version only
界面：RS485∕485 version only
I∕O接口 ：D-sub 9 pin(4-40)
最大线长：200 m (0.34mm2)
工作温度范围：5~60℃
贮藏温度范围：-20~70℃
匹配皮拉尼传感器：MP-1 (NW16，NW25，φ34ICF ，1/8NPT ，φ15adapter)
3-2．尺寸 (下图为NN25接口的传感器)
80×40×23mm
3-3．零件名称 (下图为NN25接口的传感器M-350 PG-485)
3-4．I／O
接口的插头分配
D-sub 9 Pin (公接头) M-350PG-STD
M-350PG-SP M-350PG-485
1 模拟输出(＋) RS485(＋)
2 不使用 设置点 COM (继电器触点)
3 不使用(N.C.)
4 DC 电源输入(＋)：24VDC
5 真空计辨识 (13ｋΩ)
6 不使用 设置点1 (继电器触点)
7 不使用
设置点2 (继电器触点)
8 模拟输出(－) RS485(－) 9
DC 电源输入(－)：0VDC
ADIXEN
皮拉尼真空计传感器 皮拉尼真空计 控制器 I/O 接口 (D-sub 9P) 设置面板
注意
不要连接不使用的插脚。

忽视的话在连接调节电路时可能会导致故障。

3-5．I／O接口的接线
下图显示每个I/O 接点的连接方式。

Ear t h
注意
·为电压阻抗和允许电流选择正确导线尺寸。

·连接防护接地线(黄色/绿色)。

没有接地连接，可能导致电击。

·在电源处安装保险丝。

在电路故障时忽视可能导致失火。

·使用信号线和电源线，当使用弯曲金属线可导致降低噪声杂波作用。

·例如，如果使用5厘米弯曲线，噪声杂波减少至1/112(41dB)。

3-6．安装
必须使用相应的配件。

如果连接电线造成传感器向下的负载,需在传感器和控制器之间的连接区域加上保护。

为避免此情况，请将电线固定在相应构架上。

注意
·在真空系统中安装真空计时，不要用手直接接触腔体里面。

忽视可能导
致真空系统脱气的增加。

可能对真空工艺造成负面影响。

·安装真空计时小心不要污染真空系统的密封表面。

它可引起真空泄漏。

·在真空系统安装真空计时特别小心不要扭转或弯曲传感器头。

忽视可引
起这个真空计的故障。

·安装这个真空计时远离振动。

忽视可引起这个真空计的故障。

·在真空系统安装这个真空计时，水平安装真空计避免测量误差。

·安装这个真空计时，远离温度变化激烈(在热源附近或热空气吹动)的地方和振动。

3-7．设置面板
④ ⑤ ⑥
② ③ ①
① 电源显示灯
接电源：绿色灯闪烁
在校准过程内：橙色灯打开2秒 ② AT M∕VAC 大气压∕真空校准开关 ③ SP SEL 开关(STD 不含在内)：设置点选择开关
④ SP1 LED (STD 不含在内)：设置点 1绿色LED ，打开时灯亮 ⑤ SP2 LED (STD 不含在内)：设置点 2绿色LED ，打开时灯亮
⑥ 数字开关 (STD 不含在内)：SP ：输入设置点数据：485；RS485的地址设置
4、测量压力
4-1．输出信号
在I/O 接口针脚①＋和⑧－之间可得到模拟信号(0 ～10V)输出。

输出值U 和压力P 之间的转换，请遵从以下规则：
P = 10
（U-d）
(Pa) (计算P＝10＾(U-ｄ) on PC) U:输出电压(V) d: 常数
单位 Pa mbar Torr 常数 3.5 5.5 5.62
下图显示测量气体为N2时，测量信号和压力之间关系。

当测量气体为其他气体且压力在500 Pa以下时，请乘以以下修正系数计算压力。

气体*C 气体*C
氢气0.5 空气,氧气,一氧化碳,氮气 1.0
氦气0.8 氪气 2.4
氖气 1.4 氙气 3.0
氩气 1.7 水蒸气0.5
二氧化碳0.9 氟里昂 12 0.7
*C：修正系数
4-2．输出信号
对于AP2004,在I/O 接口针脚①＋和⑧－之间发送和接收命令及数据(RS 485系列)。

查阅RS485手册。

4-3．压力校准
大气压以及真空状态的压力调节
压力校准必须在2点进行，大气压和真空。

在真空室测量压力为大气压(1×105 Pa)或高真空(1×10-2 Pa)时，按设置面板上的②ATM∕V AC键。

当接受校准请求后，电源灯①点亮2秒(橙色灯)，然后自动获得压力数据和温度补偿数据。

控制器自动地判断当前状况是大气压或真空。

如果②AT M∕VAC开关长按3秒以上，将强制设定为大气压校准。

4-4．设置点的设定
使用设置面板。

设置点1和设置点2的设定都采用一个步骤(仅AP 2004 SP系列)。

使用数字开关⑥输入数字。

直接设置尾数。

转换和输入值请根据下图。

指数设置表
数字开关符号指数设置值（Pa）数字开关符号指数设置值（Pa）
0 0 8 -8
1 -1 9 -9
2 -2 A +6
3 -3 B +5
4 -4 C +4
5 -5 D +3
6 -6 E +2
7 -7 F +1
4
C
D
例如：设置点 1： 5×102 ＝ 500 (Pa) 设置点 2： 8×10-1 ＝ 0.8 (Pa)
操作
描述
显示 开始正常测量模式
1.按SP SEL 开关 准备为SP1设置尾数
2.设置数字开关：5 设置SP1尾数(1～9)：5
SP1橙色灯稳定
3.按SP SEL 开关 储存SP1尾数 & 准备设置指数
4.设置数字开关：E 根据设置表设置SP1指数：+2
SP1橙色灯间隔每0.5秒闪动一次
4
8C 4
6.设置数字开关：8 设置SP2
尾数(1～9)：8 7.按SP SEL 开关 储存SP2
尾数 & 准备设置指数 8.设置DIGI 开关：1 根据设置表设置SP2指数：-1
SP2橙色灯间隔每0.5秒闪动一次
9.按SP SEL 开关
储存SP2指数 & 准备设置单位
10.设置数字开关：0 SP 的压力单位
1：Torr 2：mbar 其它：Pa SP1,2橙色灯间隔每0.5秒闪动一次
11.按SP SEL 开关
储存压力单位 &回到初始测量模式
初始状态
4-5．设置输出点
设置点的继电器输出需要和SP 数值有10%压力差距。

(开：SP 值，关：+10％SP 值)。

O N
O FF
O N
R el ay O ut put
P r essur Set P oi H yst er esi s
V al ue
4
C
4
C
注意
·当从真空系统上拆除真空计时，不要用手直接接触系统内部。

忽视可
能导致真空系统脱气的增加，并且对系统工艺产生负面的作用。

·从真空系统拆除真空计时小心不要污染真空系统的密封表面。

它可导
致真空泄漏。

·当从真空系统拆除这个真空计时，不要扭转和弯曲传感器头。

忽视可
能导致传感器故障。

①关闭供应电源。

②对真空系统放气使系统回复到大气压。

③拆除电信号接头。

④拆除这个真空计与真空系统的连接。

⑤在这个真空计接口处安装防护盖。

6、维护
注意
·污垢进入真空计造成的故障不在保修范围内。

·当需要维修时，阿尔卡特高真空技术（上海）有限公司联系。

·用户维修或拆卸过的产品不在保修范围内。

6-1．故障排除
症状可能原因采取措施
输出信号小于0.1v没有供电检查电源电压、电线、接线和保险丝输出信号低于0.4v控制器故障维修控制器
输出信号大于8.5v压力过大检查真空室压力
输出信号大于9.5v传感器故障维修传感器
—传感器鉴定阻抗I/O 接口的阻抗值可通过测量⑤和⑨针
之间获得，为13KΩ。

如果用户无法发现原因，阿尔卡特高真空技术（上海）有限公司联系。

6-2．传感器更换
①拆除传感器：拆除M2.6 螺丝，然后根据箭头指示的方向拔出传感器。

②安装传感器：
③慢慢地将定位针插入孔内安装传感器，不要使针弯曲。

在安装之后，用M2.6螺丝锁紧。

校准：校准请查阅4-3。

6-3．清洗
注意
·不要用液体清洁剂清洗真空计内部。

忽视的话可能造成真空计的
故障。

·经常使用酒精清洗外表面。

不要使用丙酮这类产品。

6-4．贮藏
长久贮藏真空计时远离热﹑湿气和灰尘。

注意
产品没填好〝安全调查表〞的话，将被退回寄件人。