如何选择INFICON真空计
真空计使用方法 带参数要求说明辩析
真空计使用方法1、天海、广汇、安瑞科贮罐规管须使用HASTING HPM4/6真空计测量，2、HPM 4/6真空计为便携式、数显，使用9VDC直流电池。
3、HPM4/6真空计测量范围有两个：0.001-1.0 Torr 和0.01-20.0 Torr左侧有一选择开关，放在中间是关的位置，往上推则是DV6的位置，即测量低温容器真空度的位置，测量范围为0.001-1.0 Torr。
只有当低温容器和低温罐车的真空度低于一个Torr时，真空计的液晶显示屏才能够显示低温容器和低温罐车的真空度；往下推则是DV4的位置，测量范围为0.01-20.0 Torr，对我们测量低温容器真空度用处不大。
故平时不要将选择开关往下推。
使用完毕后，将选择开关放在中间关的位置，以防电池电量短时间内耗尽。
当电池电量低时，液晶显示屏会显示“LOBAT”，这时显示的真空度不准确，应立即关机并更换9VDC直流电池。
4、注意真空计使用完毕后应及时放回黑色包装盒内，不受潮和强光照射，也不要暴露于灰尘之中，同时注意防止剧烈振动（如不能从高处摔到地上）。
5、测量步骤如下：图a图b提示：真空计价格昂贵，请您小心使用、注意保护，用后及时保存。
6、根据GB/T 18442常温下(储罐未进液)封结真空度：真空阀打开后等一小时，然后再测，只需要测一次，但如果真空度有问题的，需要再次确认，可等待一小时后再测一次，没有问题的只需要测一次就行了。
6.4.4 在低温使用过程中，缠绕储罐真空夹层的压力不高于0.015帕（0.00011 TORR）6.4.5 在低温使用过程中，珠光砂罐真空夹层的压力不高于0. 5帕 (0.00376 TORR) 6.4.6 质保期内，低温储罐加入低温液体后，罐体不应“出汗”但TSG R7001-2004中的要求很低：（一般厂家都用此要求）未装低温介质情况下，粉末罐真空度不大于65帕，缠绕罐不大于40帕装低温介质情况下，粉末罐真空度不大于10帕，缠绕罐不大于0.2帕。
真空计的分类
真空计的分类真空计是一种用于测量真空度的仪器，广泛应用于科学研究、工业生产和实验室等领域。
根据其工作原理和测量范围的不同，真空计可以分为多种类型。
本文将按照分类的方式介绍几种常见的真空计。
一、热阴极离子化真空计热阴极离子化真空计是一种常见的真空计类型，它利用热阴极发射电子，通过电子与气体分子碰撞产生离子，再通过测量离子电流来确定真空度。
这种真空计适用于较高真空度范围，如10^-3至10^-9帕。
热阴极离子化真空计具有灵敏度高、测量范围广的特点，常用于高真空环境下的实验室和工业应用。
二、冷阴极离子化真空计冷阴极离子化真空计是另一种常见的真空计类型，它与热阴极离子化真空计相比，不需要加热阴极即可产生电子。
冷阴极离子化真空计适用于较低真空度范围，如10^-1至10^-6帕。
它具有结构简单、使用方便的特点，常用于一般实验室和工业环境中的真空度测量。
三、热阴极电离真空计热阴极电离真空计是一种利用热阴极电离气体分子的真空计。
它通过测量电离电流来确定真空度，适用于较高真空度范围，如10^-3至10^-9帕。
热阴极电离真空计具有高精度、高灵敏度的特点，常用于科学研究和高精度工业生产中。
四、毛细管真空计毛细管真空计是一种基于毛细管原理的真空计。
它利用毛细管内气体分子的流动来测量真空度，适用于较低真空度范围，如10^-1至10^-6帕。
毛细管真空计具有结构简单、价格低廉的特点，常用于一般实验室和工业环境中的真空度测量。
五、电容式真空计电容式真空计是一种利用电容变化来测量真空度的真空计。
它通过测量电容的变化来确定真空度，适用于较低真空度范围，如10^-1至10^-6帕。
电容式真空计具有高精度、高灵敏度的特点，常用于科学研究和高精度工业生产中。
六、扩散式真空计扩散式真空计是一种利用气体分子扩散速率来测量真空度的真空计。
它通过测量扩散泵的工作状态来确定真空度，适用于较高真空度范围，如10^-3至10^-9帕。
扩散式真空计具有快速响应、高精度的特点，常用于科学研究和高真空环境下的工业应用。
皮拉尼标准真空计
350-080 350-082 350-081 350-084 350-085 350-083 350-086
350-087
350-088
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8" NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管)
(7/16-20 UNF) (DN 16 ISO-KF 长管) (DN 16 CF-R 长管)
FCC 68 / RJ45, 仪表插头, 8 脚 8 芯, 加屏蔽 ≤ 100 米 (8×0.14 毫米 2)
接地 真空连接至 讯号公共端 电源公共端至 讯号公共端
暴露于真空的材料
灯丝 PSG500, PSG500-S PSG502-S
→ " 电气连接 " 通过 1MΩ 连接 (电压差 <50 V) 通导隔离, 用于 不同的测量
水平安装方向
测量讯号
有效范围 5×10-4 毫巴<p< 1000 毫巴
3.75×10-4 乇 <p< 750 乇
5×10-2 帕 <p< 1×105 帕
%
≤80,温度为+31 °C 时,当温度
上升至 +40 °C 时减至 50
仅室内,海拔高至 2000 米 NN
［毫巴］
［微米汞柱］
任意
［微巴］
［帕］
人员要求
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
英福康检漏仪介绍
如果您的系统有漏…………您就有麻烦了要找到漏点…………也许也是件麻烦事让INFICON来帮助您解决问题用我们的氦气检漏仪和通用检漏仪现有的产品系列♦UL 1000♦UL 1000 FabUL1000Fab♦MODUL 1000♦LDS 3000♦P3000♦E3000♦ISH2000常用漏孔的漏率比较常见漏孔氦检漏率水龙头漏水φ4mm,1HZ,∆p=4bar0.17 mbar*l*s-11*10O型圈上直径为发丝大小的漏洞-3mbar*l*s-1to 5*10-2mbar*l*s-1自行车轮胎浸在水中可发现的漏1*10-2mbar*l*s-1洞(气泡法)车胎泄气变瘪1.8→1.6bar/6个月4*10-5mbar*l*s-1一瓶430克的R12一年之内漏光4*10--5mbar*l*s-1估计漏孔的大小怎样将氦气漏率对应于直观的漏孔尺寸♦计算:∆p=100mar，漏孔直径=1cm气体运动速度=声速=330m/s-1♦单位时间泄漏的气体体积♦单位时间泄漏的气体量漏孔直径对应氦气漏率（mar*l/s-1)各m bar*l/s g/a R 134 a 种检肥皂水法空气及其它气体10-47*10-1正压不能漏超声波探测空气及其它气体10-270正压不能热导式检漏除空气外其10-3to 10-510-1-7正压，负压不能方法仪它气体卤素检漏仪含卤素的物质10-6(10-5)7*10-3(10-1)正压，负压有限范围内的比吸枪式通用检漏仪氟利昂,氦气及其它气体10-67*10-3正压能10-127*10-9较氦质谱检漏仪氦气10-77107*10-4正压，负压能水泡法空气及其它10-37正压不能气体水压检测水10-270正压不能空气及其它10-47*10-1压降法气体710正压能升压法空气10-47*10-1负压能氦气作为示踪气体氦气是一种理想的检漏用示踪气体，其优点有♦通过质谱方式很容易将其与其他气体区别开来pp♦空气中仅有在5ppm氦气，本底很低♦是除氢气外，最小的气体分子♦惰性气体，不与其他物质起化学反应惰性气体不与其他物质起化学反应♦对环境无污染，无毒，不可燃，不易爆♦在所有应用范围内不可压缩♦比空气轻，所以如有泄漏，气体向上扩散，对检漏有帮助♦价格不贵必须检漏为什么氦质谱检漏仪测量的是什么？氦质谱检漏仪测量抽真空管路中氦气的分压强并将其转化为漏率选择性质谱分析仪•红色为氢原子/离子•3 为离子收集极4•绿色为氦原子/离子•蓝色为大质量原子/离子•1• 4为安培表和放大器• 5 为加速电压•61为磁場（与离子路径垂直）•2 为正离子（所有质量数）6为阳极•7 为电子真空--真空方法氦氦局部检漏试件在真空下整体检漏试件在真空下充压充压--方法氦氦整体检漏(测试气体积聚在外罩内测试气体积聚在外罩内//试件内充有正压的示踪气体件内充有正压的示踪气体))局部检漏(试件内充有正压的示踪气体踪气体))用于检大漏或大型试件中的分流系统γ=分流系数检漏仪接在何处氦质谱检漏仪的重要性能指标（真空模式）最小可检漏率P HE：氦气分压强S HE：氦气抽速反应时间工程真空系统V：体积S HE：氦气抽速氦气抽速氦质谱检漏仪的重要性能指标（真空模式）入口压力和抽真空时间氦质谱检漏仪的重要性能指标（吸枪模式）氦气本底♦大气中的氦气浓度C 的关系为大气中氦气度He 关C He =5ppm♦氦气漏率Q BG 与氦气浓度C He 的关系为最小可检漏率Q min ♦标准检漏仪：UL200可检测的最小氦气浓度波动为0.2ppm检漏仪的原理顺流式检漏仪逆流式检漏仪压力转换对照表不同气体间漏率换算的方法根据气体流的不同状况，其漏率可分别通过动态粘滞系数和分子重量来进行转换粘滞流（适用于漏率1000-10-4mbar*l/s))=动态粘滞系数分子流（适用于漏率〈10-7mbar*l/s）M=分子重量中间流（适用于漏率10-5-10-6mbar*l/s）不适用公式不同单位间漏率的换算方法该换算基于理想气体状态方程p=压力体V=体积m=质量M M=分子质量R=气体系数8.8.31J/k molT 293K两边同除以时间得气体流量T=温度:293K 例1: 1克/年(R134a)相当于多少mbar*l/s例2: 1Mbar*l/s 相当于多少克/年(R134a)液体漏率液体漏率与气体漏率间的转换关系式为=动态粘滞系数; P1,P2 : 内部/外部压力;P1P2:液体零漏率由于表面张力的作用,任何液体都会有时无法从漏孔中漏出最大的漏孔直径为(设漏孔为圆柱形)这样直径的漏孔相对于氦气漏率为(假设为粘滞流)d=漏孔直径ι=液体表面张力φ=液体与器壁间夹角(最差:cosφ=1)l=器壁厚度平均压力η=动态粘滞系数∆p=压力差磁质谱检漏仪选择要点作方式选择逆流还是顺流1 工作方式选择：逆流还是顺流2质谱室选择：90度/180度/270度磁偏转，灯丝材料寿命保修等3检漏仪内真空泵的选择：重点是有效抽速4吸枪功能，能否反映真实信号5抑零功能的效果6信号稳定性7最小可检漏率8响应时间9最大入口压力10可检质量数11台式还是便携式磁质谱检漏仪选择重点1一）真空结构的设计：逆扩散检漏VS 顺流检漏VSInficon所有磁质谱检漏仪均为逆流原理VS逆扩散检漏VS 顺流检漏1 质谱室终生免维护VS 质谱室定期清洗，否则灵敏度降低2 灯丝不会因暴露大气而烧毁VS 暴露大气灯丝很易被氧化污染或烧毁2VS3 入口压力要求降低至15mbar VS 通过限流孔将压力从0.1 mbar提高至10mbar以上力降低将力高4 质谱室不易被污染，清氦时间短VS 易污染，节拍时间长水蒸气、杂质的控制要点: 与直流型检漏仪系列相比,更多的水蒸气和杂质我们除去70x 更多的水蒸气和杂质2至逆流型超检INFICON 直流型水蒸气抑制约为2 至1182,192MS50水蒸气抑制为70/1水蒸气、杂质控制要点: 这是为什么当电离时,水蒸气分裂为H2与O,它可产生高本底水可导致灯丝脆性和断裂低于0.150乇时,水蒸气成为实际的问题检漏仪工作于顺流方式，质谱仪直接“看到”全部过程气体如水蒸气, 大漏下的高氦浓度污染质谱仪或损坏MS.二）真空泵的选择A 抽空时间的长短B 氦清除的快慢KYKY检漏仪：360 l/s 分子泵ASM182TD+：130 l/s 分子泵130l/sUL1000Fab: 70 l/s 分子泵分子泵主要用来保证质谱室的工作压力，速度大小对工件的抽空时间基本没有影响，对排氦影响也很小，对排氦影响大的是对氦的压缩比和对氦的有效抽速对工件抽空时间影响大的是，抽空泵（前级泵）的有效对工件抽空时间影响大的是抽空泵（前级泵）的有效抽速KYKY检漏仪：360 l/s 分子泵ASM182TD+：130 l/s 分子泵130l/sUL1000Fab: 70 l/s 分子泵重要的是检漏仪的整体抽速重要的是检漏仪对氦气的抽速检漏仪抽速要点: 这是为什么UL1000Fab在精检模式下，真空度至2毫巴，检漏至1 x 10E-10 mbar l/s ASM182TD+只有两种检漏模式，进入精检模式真空度必须达到0.02毫巴UL1000Fab采用磁悬浮分子泵，转速90,000转/分。
真空测量与真空计的选择
波尔登规（Bourdon）：
• 如右图所示，细的铜管受气 体压力不同会有舒展现象， 会带动杠杆和齿轮旋转，使 得指针指示在不同刻度上， 即可读出相应的气压值。 • 测量范围: 100Pa 至 1atm。
皮拉尼(Pirani)真空计：
• 原理: 加热电阻丝，使之升温至需要的工作 温度,由于气体粒子与电阻丝碰撞离开 时带走了能量，电阻丝的温度会发生 变化热丝的能量损失与热丝周围的气 体浓度及气体成分成比例关系 • 测量范围: 5*10-2Pa 至 1atm。 • 测量精度: 1x 10-3…100毫巴 100 ... 1000毫巴 ±15% ±50%
热电离规真空计：
• 原理: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或 多个电子被撞击出去，形成带正电的离子，带电离子被离子收集极 捕捉收集放大输出，离子流的大小与气体压力成比例关系。
热电离规皮拉尼复合真空计：
• • • 由于热电离规与复合规的价格差不多，所以大 都厂家都直接生产热电离皮拉尼复合真空计。 测量范围: 5*10-8Pa 至 1atm。 测量精度: ±15%
真空的测量——真空计
▶真空计：Vacuum Guage 又称为真空规，用以探测 低压空间稀薄气体压力所用的仪器。
真空计的分类：
▶绝对真空计： 直接读取气体压力，其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计 算出来或由测力计确定 ▶相对真空计： 由一些与气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单 的计算进行刻度，必须进行校准才能刻度。 ▶市面上在卖的真空计大都是相对真空计为主
压强控制系统：
压强控制系统：
VAT压力控制阀
MKS压力控制阀
选择真空计的主要原则：
l 量程 能否覆盖工艺要求 l 精度 l l l l 能否满足工艺要求 有没有特殊气体 被测气体是否会损伤真空计 电气接口，输出信号类型 接口类型，是否需要数字信号 货期 接货日期能否满足需求 其他 使用寿命，真空计的安装方法，空间大小等。
皮拉尼真空计_PGD400中文说明书
20
tinb14c1 (2009-07)
4.4 测量模式
测量模式是 PGD400真空计的标准运行模式。在这个模式中显 示测量值以及状态信息（→ 27）。
tinb14c1 (2009-07)
21
进入参数模式
（→ 22）
4.5 参数模式
参数模式用于显示、设置和输入参数值。
皮拉尼真空计
PGD400
tinb14c1 (2009-07)
操作手册
内 含 : EC 一 致 性 声 明
1
产品标识
与 INFICON 公司联系时，请告知产品标牌上的信息。为便于参考， 请将产品信息记录在以下的空格中。
PGD400 Made in China
100-240V 50/60Hz 30VA
测量模式
参数模式
单位
电源 on
>5 秒
阈值
22
tinb14c1 (2009-07)
选择参数 设置参数值
参数的名称 例如:
（单位） 按下键或至少1 秒钟后显示， 接着，显示当前有效的参数值。
按键 <1 秒: 值增大 / 减小 1； 按键 >1 秒: 值连续增大 / 减小；
保存修改的参数值；
tinb14c1 (2009-07)
危险 危险: 电源电压。 当任何液体渗入仪器时，接触带电部件是十分 危险的。 确保无液体渗入设备中。
tinb14c1 (2009-07)
7
电源的断开
电源开关/插座须置于一个易于用户识别和触及的位置。 必须拔下电源线才能将真空计完全断开电源。
电源开关/插座 参照EN 61010-1标准
MKS真空计选型指南
MKS真空计选型指南真空计是一种用于测量、监控和控制真空度的仪器。
它在各种领域中广泛应用，包括半导体制造、光学薄膜涂层、太空模拟、真空设备、航空航天和医疗行业等。
MKS Instruments是一家领先的真空计制造商，提供了各种类型和规格的真空计。
本文将为您提供一个MKS真空计的选型指南，以帮助您选择适合您应用需求的真空计。
在选择MKS真空计时，首先需要确定以下几个因素：1.测量范围：根据应用的具体需求，确定需要测量的真空范围。
不同的真空计有不同的工作范围，因此根据应用需要选择适当的测量范围。
MKS提供了各种真空计，从常规的大气压到极高真空的压力范围。
2.精度和分辨率：根据应用的精度要求选择真空计。
MKS真空计提供了不同级别的精度和分辨率供选择，从常规应用到高精度应用。
3.响应时间：响应时间是真空计从现场真空变化到显示读数所需的时间。
不同类型的真空计具有不同的响应时间。
根据应用中需要的响应时间选择真空计。
根据上述因素，以下是MKS真空计的几种常用类型：1. 热阴极离子化真空计（Hot Cathode Ionization Vacuum Gauge）：热阴极离子化真空计适用于高真空度测量（10-3至10-9 Torr）。
它基于通过电离和测量电离电流的原理工作。
该类型的真空计在高真空度下具有良好的精度和分辨率，并且响应时间较快。
在半导体制造、真空系统、科研和其他领域中广泛应用。
2. 扩散式真空计（Thermocouple Vacuum Gauge）：扩散式真空计适用于中真空度测量（10-3至10-9 Torr）范围。
它基于热电偶和分子扩散的原理工作。
该类型的真空计精度较高，适用于半导体制造、研究实验室和其他领域中的中真空度测量。
3. 磁控溅射阴极离子化真空计（Magnetron Sputtering Ionization Vacuum Gauge）：磁控溅射阴极离子化真空计适用于介于常规大气压和中真空度之间的测量（10-3至10-5 Torr）。
BPG 电离皮拉尼复合规
INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG402-S, 将两种真空计集成在一个简单 小型的单元内, 测量范围从 5 x 10-10毫巴至大气压 (3.8 x 10-10乇至大气压). 复合技 术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 选择一个经济型规管内的 BPG402-S 带有两 根敷涂铱的氧化钇灯丝, 用于普及和可再现过程中的基本压强测量. 当更换传感器 时, 带有在机校准数据的传感元件保证高度的重复性.
带 Profibus DP
BPG400-SD
带 DeviceNetTM
BPG400-SR
带 RS485
353-500 353-502 354-490 354-491
353-501 353-503 354-490 354-491
353-505 353-506 354-490 354-491
353-507 353-508 354-490 354-491
米 (呎) 厘米3 (吋3) 克
RS232C 或 VGC400 系列控制器与 Fieldbus 不允许同时使用 用于 RS232C 运行 <30 米
A35 - 真空控制产品目录 2011
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
BPG402-S (续)
技术规范
BPG402-SP Profibus DP
波特率 寻址 数字功能 千波特 兆波特 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 1.5 / 12 两个开关 (寻址 00 - 127) 或网络可编程 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 发射控制, 除气功能 监测真空计状态, 灯丝状态 安全状态允许定义出现误差时的动作 详细的报警和警告信息 0 … 10 伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 ≤ 30 / ≤0.5 D-sub, 9 脚, 插座型 D-sub, 15 脚, 插头型
美国INFICOND冷媒检漏仪说明
美国INFICON D-TEK Select 卤素检漏仪D-TEK Select制冷剂检漏仪简介独创的红外技术提供了增强的灵敏度、选择能力和更长的使用寿命。
最初，作为精确的、可靠的、高灵敏的、电池及外接电源两用式的制冷剂检漏仪，原来的D-TEK 在检漏仪领域中引起了革命；现在，美国INFICON 公司基于这种领先的技术生产出了D-TEK Select制冷剂检漏仪。
这种新一代制冷剂检漏仪使用一种创新的红外吸收传感器，它对所有制冷剂都极为敏感，而且仅对制冷剂敏感。
D-TEK Select制冷剂检漏仪能支持始终如一的超时灵敏度，具有精确、可靠的特性，甚至对更新的制冷剂混合物也一样支持。
其中最优秀的特点是传感器的寿命长达近800小时，差不多比原来的D-TEK传感器寿命要长10倍。
这就减少了用户的成本，增进了工作现场的生产率。
附加的增强功能包括充电情况指示器、传感器失效指示和NiMH（镍-氢)电池。
总而言之，D-TEK Select是一种优质的、经久耐用的、操作简便的制冷剂检漏仪。
* 技术参数：灵敏度：0.10 oz/yr(3 g/a)*主要优点:优点 1：对所有制冷剂有相同的灵敏度，包括R22、R134a、R404a、R410a、R507(AZ50)和所有CFCS、HCFCs、HFCs。
优点 2：红外传感器寿命长达800小时，用户成本低。
优点 3：红外传感器超时不衰减，因此保持始终如一的、精确的灵敏度。
优点 4：红外传感器不会因为暴露在大量制冷剂之中而过载或“中毒”。
优点 5：优秀的选择能力，仅对制冷剂敏感。
对抽烟、湿度、空气流动或温度变化都不起反应。
优点 6：高效空气采样泵提供快速响应和快速清理（调零）。
优点 7：电路板上有诊断指示，可指示充电情况、电池低电量、告警以及红外传感器失效等情况。
优点 8：NiMH集束电源是环保的、不腐蚀的，而且提供了更大的充电电量。
优点 9：仪器包括硬塑携带箱、NiMH集束电源、12V和120V充电适配器、探尖过滤器和红外传感器。
电容膜片真空计
毫秒
– 110,000 1000
0.2
200 26,664 267
0.2
– 10,000 100
0.2
0.005 0.01 0.003 400 30
0.005 0.01 0.003 260 30
0.005 0.01 0.003 260 30
1) 在25°C环境工作温度下运行两小时后无非线性,滞后性,再现性的温度效应. 2) 增大 10 … 90% F.S.
8 VCR
内容积 重量
厘米3 (吋3) 克
1/2 吋管 3.6 ( 0.22) 310
DN 16 ISO KF 3.6 ( 0.22) 330
DN 16 CF-R 3.6 ( 0.22) 350
8 VCR 3.6 ( 0.22) 370
A28 | 真空控制产品目录 2014 – 2015
TIBA33E1-E
– 10 0.1 0.5
0.02 0.03 0.003 130 130
尺寸, 内容积, 重量
毫米(吋)
55 (2.17)
3.8 (0.15)
69 (2.72)
44 (1.73)
26 (1.02) 33.8 (1.33)
OD ½"管tube
DN 16 ISO-KF
RUN ZERO
1
2
SP
DN 16 CF-R
% F.S. / °C % 读值 / °C
% F.S. 仟帕 (绝对)
毫秒 % F.S. % F.S.
最低建议控制
压强
% F.S.
温度
工作(周围环境)
°C
法兰处烘烤 3)
°C
贮存
真空计使用方法--带参数要求说明
真空计使用方法一带参数要求说明真空计使用方法1、天海、广汇、安瑞科贮罐规管须使用HASTING HPM4/6真空计测量，2、H PM 4/6真空计为便携式、数显，使用9VDC直流电池。
3、H PM4/6 真空计测量范围有两个：0.001-1.0 Torr 和0. 01 -20. 0 Torr左侧有一选择开关，放在中间是关的位置，往上推则是DV6的位置，即测量低温容器真空度的位置，测量范围为0. 001-1.0 Torro只有当低温容器和低温罐车的真空度低于一个Torr时，真空计的液晶显示屏才能够显示低温容器和低温罐车的真空度；往下推则是DV4的位置，测量范围为0.01-20.0 Torr,对我们测量低温容器真空度用处不大。
故平时不要将选择开关往下推。
使用完毕后，将选择开关放在中间关的位置，以防电池电量短时间内耗尽。
当电池电量低时，液晶显示屏会显示“LOBAT”，这时显示的真空度不准确，应立即关机并更换9VDC直流电池。
4、注意真空计使用完毕后应及时放回黑色包装盒内，不受潮和强光照射，也不要暴露于灰尘之中，同时注意防止剧烈振动（如不能从高处摔到地上）。
5、测量步骤如下:序号操作步骤图示打开真空规管阀（如图a）,等待1小时。
将真空规管保护帽取下，按定位槽位置（如图b和图c）,把真空计插头插入真空规管的针孔（如图a）o将真空计开关向上打开至DV6位置（如图d）,显示屏上可观察到真空读数的变化，真空读数稳定后，即为贮罐实际真空度（如图注：该真空计显示读数为Torr,lTorr=133Pa记录读数后关闭真空计，关闭真空规管阀，盖好真空规管保护帽即可。
提示：真空计价格昂贵，请您小心使用、注意保护，用后及时保存。
6、根据GB/T 18442常温下(储罐未进液)封结真空度:真空阀打开后等一小时，然后再测，只需要测一次，但如果真空度有问题的，需要再次确认，可等待一小时后再测一次，没有问题的只需要测一次就行了。
GB 18442—2001真空夹层漏放气速率衣対结后真空度6 5.3高真空多层绝热体屮的绝热材料应采用导热系数小■放气速率低的脱脂玻璃纤细布■植物纤细纸或尼龙网等材料。
真空计
皮拉尼真空计皮拉尼真空计是全压真空计，利用了气体热传导性与压力有关的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来测量压力的一种真空计。
皮拉尼复合真空计BPG400/ BPG402-S产品描述HPG400高压强热电离皮拉尼真空计INFICON皮拉尼复合真空计产品型号：BPG400/ BPG402-SINFICON生产的Bayard-Alpert皮拉尼复合真空计, BPG402-S,两种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5x10-10 毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压). 复合的技术降低了安装,设置和集成的复杂性.在一个小特点：极宽的测量范围从5x10-10毫巴至大气压(3.8x10-10乇至大气压)极好的重复性,过程压强范围10-8… 10-2毫巴均为5%皮拉尼连锁保护灯丝,防止过早烧毁双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝可选图形显示和现场总线接口自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度重复性应用：半导体工艺和输送室中的压强测量工业镀膜一般真空测量和控制,从低至超高真空范围INFICON B-A皮拉尼电容薄膜真空计产品型号：BCG450INFICON公司生产的BCG450型B-A皮拉尼电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在一个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5×10-10至1500毫巴(3.75×10-10至1125乇)。
BCG450用于取代三种传感器（热离子，对流增强型皮拉尼和真空开关），从而节省成本和宝贵的空间。
特点：BCG450节省成本和设备空间，降低真空测量的安装与设置的复杂性10乇以上的与气体类型无关的压强测量，对许多混合气体提供更可靠的自锁控制皮拉尼联锁保护热灯丝，防止过早烧毁自动的高真空和大气压皮拉尼调整，无需操作人员干预相对于大气压的差压测量避免了与大气压变化有关的不稳定性传感元件容易更换，带机载校准数据保证数据的再现性备有可选的图形显示器和现场总线接口典型应用半导体工业，传送和自锁室的压强测量工业镀膜在低至超高真空范围中系统的一般真空测量和控制订购资料产品图片。
真空计原理及测量范围
真空计原理及测量范围
真空计是一种用于测量真空度的仪器，根据不同的原理可以分为多种类型，包括气体扩散法真空计、热导法真空计、冷阴极离子化真空计等。
下面将分别介绍这几种常见的真空计的原理及测量范围。
1.气体扩散法真空计
气体扩散法真空计是通过测量气体扩散速率来间接得到真空度的。
工作原理是将样品或测量环境中的气体进入真空计中，利用气体在真空中自由扩散的特性，通过测量扩散流量来计算真空度。
该方法适用于较高真空度的测量范围，通常在10^-1至10^-7帕之间。
2.热导法真空计
热导法真空计主要基于热导率与气体密度之间的关系来测量真空度。
它包含一个加热丝和一个测量电阻，当加热丝加热时，传热受到气体分子碰撞的影响，从而导致电阻的变化，根据电阻的变化可以计算出气体的密度。
热导法真空计适用于1至10^5帕的测量范围。
3.冷阴极离子化真空计
冷阴极离子化真空计主要通过测量空间中的电离电流来间接测量真空度。
该方法通过在真空计中放置一个冷阴极，当真空中的气体与冷阴极发生碰撞时，会产生电子，然后利用电子与气体分子碰撞产生离子，通过测量电离电流的大小来计算真空度。
冷阴极离子化真空计适用于10^-4至10^-2帕的测量范围。
以上所述的是一些常见的真空计的原理及测量范围，不同的真空计适用于不同的测量条件和要求。
在实际应用中，还需要根据具体的测量需求选择合适的真空计，以获得准确可靠的测量结果。
英福康 E3000 operation manual V1.0_cn
Republic of South Africa
Singapore
Spain South America except Brazil Sweden Syria
Taiwan
Tunesia United Arabic Emirates
Mark Technologies Ltd. INFICON Co. Ltd.
仪器如何工作 功能说明 组件说明 前级泵 涡轮分子泵（TMP） 质谱仪 四极质谱仪电源 控制器 显示器和用户界面说明 主显示单元 带探头显示的吸枪管线 内置ECO-Check参考漏孔
3
3.1 3.2 3.3 3.4 3.4.1 3.4.2 3.4.2.1 3.4.2.2 3.4.2.3 3.4.3 3.5 3.5.1 3.5.2 3.5.3
两个镀氧化钇铱阴极 < 1秒 160标准大气压⋅ 毫升/分 < 2分钟
90 -127 V, 50 / 60 Hz 115 -140 V, 60 Hz 187 -265 V, 50 / 60 Hz ≤ 350伏安 IP 30 II 2.5米 < 54 dBA
610 x 370 x 265
34公斤 10 °C 至45 °C -40 °C 至60 °C 80%无凝聚水 2 2000米
4
仪器信息
4.1
误差信息和警告
5
5.1 ) RS232接口
6
6.1 6.2 6.3 6.4 6.5 6.5.1 6.5.2
维护
维护日程表 更换空气过滤器 更换润滑液贮存器 更换外保险丝 更换吸枪管线中的过滤器 更换毛细管过滤器的毡碟 检查/更换烧结物过滤器
一般信息 前言 用途 技术参数 INFICON支持 维修中心 开箱 供件 附件 使用本手册注意事项 真空技术符号 术语定义 Ecotec E3000仪器外观 安装 设置 机械连接件 电气连接件 RS232接口 I/O端口
真空计分类及选用时的注意事项
真空计分类及选用时的注意事项托里拆利制作的一端封闭充满水银的细长玻璃管就是最初的真空计。
根据测量的真空度范围和使用环境，现在最常使用的真空计有电容式隔膜真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。
这几种真空计利用了不同的物理现象，其中电容式隔膜真空计利用的是力，热电偶真空计利用的是热传导，电离真空计利用的是真空放电。
选用真空计时应该注意以下事项：(1)在设备要求的压强范围内，真空计是否有足够的测量精度；(2)被测气体是否会对真空计造成损伤；(3)真空计是否会对被测真空环境造成影响；(4)真空计所测压强是全压还是分压，是否已校准，是否与气体种类有关；(5)真空计能否实现连续测量，数值指示及反应时间如何；(6)真空计的稳定性、可靠性、寿命。
下图为电容式隔膜真空计:根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管(又称为电容式压力传感器)和测量仪器两部分组成。
根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。
零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。
目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。
图20 零位法薄膜真空计的结构原理图图20示出了零位法电容式薄膜真空计的结构原理图。
它由电容式薄膜规管、测量电桥电路、直流补偿电源、低频振荡器、低频放大器、相敏检波器和指示仪表等组成。
电容式薄膜规管的中间装着一张金属弹性膜片，在膜片的一侧装有一个固定电极，当膜片两侧的压差为零时，固定电极与膜片形成一个静态电容C0，它与电容C1串联后作为测量电桥的一条桥臂，电容C2、C3和C4与C5的串联电容组成其它三条桥臂。
金属弹性膜片将薄膜真空规管隔离成两个室，分别为接被测真空系统的测量室和接高真空系统(p b<10-3Pa)的参考压力室。
在这两个室的连通管道上设置一个高真空阀门7。
测量时，先将阀门7打开，用高真空抽气系统将规管内膜片两侧的空间抽至参考压力p b。
英福康(INFICON)反磁控皮拉尼真空计MPG400 操作手册
操作手册反磁控皮拉尼真空计MPG400MPG401tina48e1-a (2006-12) 1产品标识与INFICON公司联系时,请告知产品名牌上的信息. 为便于参考,请将产品信息填入下列空格中:有效性本文件适用于下列件号的产品:件号(PN)可从产品的名牌上看到.如图例中未特别标明,本文插图中相应的产品件号351-010. 类似应用于其它产品.我们保留不事先通知技术修改的权利.全部尺寸为毫米.用途基本原理反磁控皮拉尼真空计MPG400和MPG401用于压强范围为5×10-9… 1000毫巴的真空测量.切勿将反磁控皮拉尼真空计用于测量与空气产生反应的易燃或易爆性气体.真空计可与单通道控制器VGC401,双通道控制器VGC402和三通道控制器VGC403或其它适当的仪器连接使用.在整个测量范围内,测量讯号输出为对数压强讯号.真空计包含两个单独的测量系统(皮拉尼和反磁控原理的冷阴极系统). 为用户方便,复合成一个测量系统.m2 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.o目录产品标识2有效性2用途2基本原理21 安全41.1 使用符号41.2 人员要求41.3 一般安全规则41.4 责任和保用42 技术参数53 安装83.1 真空连接83.1.1 拆卸磁铁单元(仅用于带CF法兰的真空计)103.2 电连接113.2.1 与INFICON真空计控制器一起使用113.2.2 与其它控制器一起使用114 运行124.1 测量原理, 测量性能125 卸装146 维护156.1 真空计调整156.2 清洗MPG400, 更换部件176.2.1 拆卸MPG400176.2.2 清洗MPG400186.2.3 重新组装MPG400196.3 清洗MPG401, 更换部件206.3.1 拆卸MPG401216.3.2 清洗MPG401226.3.3 重新组装MPG401236.4 故障查找247 附件258 备件259 产品返回2710 废物处理27附录28A:测量讯号与压强的关系28B:与气体类型的关系29污染申报表 31本文中的相互参照,使用符号(XY).tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 3防止任何危及人身安全的信息1.2 人员要求本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经验或由产品的最终用户1.3 一般安全规则1.4 责任和保用•遵守适当的规程和对所用的过程介质采取必要的防护措施.考虑产品材料(7)与过程介质之间可能引起的反应.考虑由于产品产生的热与过程介质之间可能引起的反应(例如爆炸).•遵守适当的规程和对全部您要做的工作采取必要的防护措施.,并遵守本文件中的安全规定.•在工作开始前,找出是否任何真空元件已污染. 遵守相关的规程和对污染部件采取必要的防护措施..将安全规则通知全部其它用户.INFICON不再承担任何责任和保用, 如用户或第三方:•无视本文件中的信息•不适当的方式使用产品•对产品进行任何种类的介入(修改,变更等.)•使用未列入产品文件中的附件.最终用户对使用的过程介质承担全部责任.真空计由于污染损坏,以及易耗件(灯丝),不包括在保修范围内.m4 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.otina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 5测量范围(空气, N 2) 5×10-9 … 1000 毫巴 精度 (N 2) ≈±30%在1×10-8 … 100毫巴范围内 再现性≈±5%在1×10-8 … 100毫巴范围内 与气体类型的关系→ 附录B输出讯号 (测量讯号) 电压范围 0 … +10.5 伏 测量范围 1.82 … 8.6 伏 电压与压强的关系对数, 0.6 伏 / 量级 (→ 附录 )误差讯号 <0.5 伏 无电源>9.5 伏 皮拉尼测量元件损坏(灯丝断)输出阻抗 2×10 Ω最小负载电阻 10 k Ω , 短路保护 响应时间 (与压强有关) p > 10-6 毫巴 p = 10-8 毫巴<10 毫秒 ≈1000 毫秒规管标识85 k Ω与电源公共点之间状态脚6p > 10-2 毫巴 仅皮拉尼模式 低 = 0 V p < 10-2 毫巴 冷阴极未引燃 仅皮拉尼模式p < 10-2毫巴冷阴极引燃皮拉尼/冷阴极复合模式 低 = 0 V高 = 15 … 30 VDC指示灯高压 on (LED on)电源与真空计规管连接的电源真空计的工作电压 15.0 … 30.0 VDC (纹波 ≤ 1 V pp ) 功耗 ≤2 瓦保险丝1)≤1 AT最小电源电压必须随传感器电缆的长度而增大.最大电缆长度的电源电压16.0 … 30.0 VDC (纹波 ≤ 1 V pp )1)INFICON 控制器能满足这些要求.6tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.o调整<HV>电位器在 <10-4 毫巴下 m<ATM>电位器在大气压下电连接件 FCC68 插座型, 8 脚 传感器电缆 8 导线 + 屏蔽 电缆长度≤50 米 (8×0.14 毫米²)工作电压 ≤3.3 仟伏 工作电流≤500 微安接地概念→ ("电连接")真空连接 - 讯号公共通过10 k Ω连接(最大电压差从安全考虑 ±50 V 从精度考虑 ±10 V) 电源公共 - 讯号公共 单独通导暴露于真空中的材料 真空连接件 测量室 馈入件 内部密封MPG400 MPG401 阳极引燃辅助极 皮拉尼测量管 皮拉尼灯丝不锈钢 不锈钢 陶瓷FPM 75Ag, Cu, 软焊剂(Sn, Ag) Mo 不锈钢 Ni, Au W安装方位 任意内容积 ≈20 厘米³ 压强≤10 巴 (绝对) 限于惰性气体温度工作MPG400 MPG401+5 … +55 °C +5 … +150 °C(在法兰处水平方位安装,无磁屏蔽)烘烤 +150 °C(无磁屏蔽和电子学单元) 皮拉尼灯丝 +120 °C 贮存–40 °C … +65 °C相对湿度 ≤80% 温度高至+31 °C 时降至 50% 温度+40 °C 时使用仅室内海拔高至2000米保护类型 IP 40尺寸[毫米] 重量351-010 ≈700克351-011 ≈720克351-012 ≈980克351-020 ≈730克351-021 ≈750克351-022 ≈1010克tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 78tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om3.1 真空连接危险: 真空系统中的过剩压力危险: 保护接地规管可任何方位安装. 为防止来自测量室的凝聚物和微粒, 最好选择水平 向上的位置和使用带有对中环与过滤件的密封件.tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 9如规管安装后需要进行调整, 则必须确保可用螺丝刀进入调节<HV>和<ATM>微调电位器(15).顺序卸下保护盖和将产品安装上真空系统.当使用CF 法兰连接时,最好临时卸下磁铁单元(10).带对中环的密封件或保护盖夹环将保护盖保存好.带对中环和过滤件 的密封件3.1.1卸下磁铁单元(仅用于带CF法兰的规管)需用工具顺序•通用扳手 1.5 毫米•开口扳手 7.0 毫米a) 拧下电子学单元(2)上的六角凹头螺钉(1).b) 卸下电子学单元,不要扭转它.c) 拧下磁铁单元(4)上的六角头螺钉(3)和卸下磁体单元.磁力和倾斜趋向使磁体难于与测量室(7)分离.d) 将规管与真空系统间的法兰连接上.e) 重新装上磁体单元,并用六角头螺钉(3)锁紧它.f) 小心地装上电子学单元(2). (确保皮拉尼规管的插脚正确地插入电子学单元的相应的孔中).g) 向上推电子学单元至机械限位器,用六角凹头螺钉(1)锁紧它.m10 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.o3.2 电连接前提3.2.1 与INFICON 控制器一起使用3.2.2 与其它控制器一起使用确保真空连接已妥善完成(→ 8).将传感器电缆连接至规管和控制器.按下图制作一根传感器电缆.讯号10 k6 10 3 + 105 –标识4 1 + 2–电连接 脚 1 电源 (15 … 30 VDC ) 脚 2 电源公共 脚 3讯号输出(测量讯号)脚 4 标识 脚 5 讯号公共脚 6状态 脚 7, 8 n.c.FCC68, 8脚 连接件将传感器电缆连接规管和控制器.一旦加上所需的电源电压,脚3与脚5间即有测量讯号. (→附录查阅有关测量讯号与压强之间的关系).需约10分钟的稳定化时间. 一旦真空计接通电源, 在任何压强下始终保持电源on的状态.4.1 测量原理,测量性能真空计包含两个单独的测量系统(皮拉尼和反磁控原理的冷阴极系统). 为用户方便,复合成一个测量系统.采用最佳的测量配置于特定的压强范围, 在这个范围内执行测量:10-4 毫巴1000 毫巴冷阴极皮拉尼5×10-9 毫巴10-2 毫巴•皮拉尼测量电路始终处于接通的状态•冷阴极电路由皮拉尼电路控制,仅在压强<1×10-2 毫巴时接通工作标识输出(脚 6) 指示真空计当前的状态:压强规管的指示灯工作模式脚6p > 1×10-2 毫巴仅皮拉尼模式低 =0 Vp < 1×10-2 毫巴p < 1×10-2 毫巴冷阴极未引燃仅皮拉尼模式冷阴极已引燃复合的皮拉尼 / 冷阴极模式低 =0 V高= 15 … 30 VDC在冷阴极测量电路未引燃时, 皮拉尼的测量值输出为测量讯号(如p < 5×10-4 毫巴,将出现"皮拉尼欠量程"的显示).与气体类型的关系引燃延迟测量讯号与被测量的气体类型有关. 曲线对干燥空气, O2, CO和N2是正确的. 对其它气体可进行转换(→附录 B).如使用 INFICON 控制器, 则可键入一个校准因素校正压强读值(→ 控制器的).当冷阴极测量系统接通工作时, 将出现引燃延迟. 随着压强的降低,延迟时间将加长, 典型数据如下:10-5 毫巴≈1 秒10-7 毫巴≈20 秒5×10-9 毫巴≈2 分在冷阴极测量电路未引燃时,皮拉尼的测量值输出为测量讯号(如p < 5×10-4 毫巴,将出现"皮拉尼欠量程"的显示). 标识输出(脚6, 低) 指示为仅皮拉尼模式.如真空计在压强 p < 3×10-9 下接通工作,真空计不能辨别冷阴极系统是否引燃. 它将指示"皮拉尼欠量程".一旦电源on,可在任何压强下始终保持真空计于工作模式. 此时,可始终忽略冷阴极电路的测量延迟(<1 秒),和热稳定效应最小化.污染由于污染引起的真空计故障,以及易耗件(灯丝),不属于保修范围内.由于所用的过程介质以及任何存在,或新污染物及其相应的分压强,将导致真空计污染.连续运行于10-4 毫巴 … 10-2 毫巴下可导致严重污染以及降低正常运行时间和维护周期. 保持于低压强下(p <1×10-6 毫巴), 真空计可运行一年以上无需清洗(清洗真空计→17, 20).真空计的污染通常导致测量值的偏差:•在高压强范围(1×10-3 毫巴… 0.1毫巴),压强读值过高(皮拉尼元件被污染). 重新调整皮拉尼测量系统→15.•在低压强范围(p < 1×10-3 毫巴), 压强读值通常过低(冷阴极系统被污染). 在严重污染的情况下,可出现不稳定(测量室的构层剥落). 由于绝缘层的剥落产生的污染可导致放电的全面故障(将显示"欠量程").采取下列措施,可在一定程度上减少污染:•几何结构上的保护措施(例如屏筛,肘管),用于线性散布的微粒•将规管法兰安装于污染分压特别低的部位.尤其要警惕的是在等离子下的蒸汽淀积(对于冷阴极测量系统). 当这类蒸汽出现时,甚至需暂时关断真空计.危险: 污染的部件顺序将真空系统放空.将规管退出运行和卸下传感器电缆.从真空系统上卸下规管,并盖上保护盖.当拆卸CF法兰连接件时, 最好临时卸下磁铁单元(→10).保护盖由于污染引起的真空计故障,以及易耗件(灯丝),不属于保修范围内. 危险: 污染的部件6.1 调整真空计需用工具顺序真空计规管是出厂前校准的. 由于使用于不同的气候条件,极端的温度,老化或污染和更换规管后,可发生特性曲线的偏移,从而再调整是必要的.冷阴极测量电路, 主要用于低压强测量(<1×10-3 毫巴), 是出厂前校准的不能再调整. 与它对比,皮拉尼测量电路是可调整的. 任何调整在压强范围约10-2 毫巴至102 毫巴之间有一个可忽略的效应.•螺丝刀 1.5 毫米•圆柱管丝锥ø≈3 毫米如使用带对中环和过滤件的密封件, 检查它们是否清洁,必要时更换(→14).将真空计投入运行(如可能,在即将使用的位置上).将真空系统抽空至 p << 10-4 毫巴,随后等待10 分钟.逆时针方向旋转铭牌直至达到机械限位器.用圆柱管丝锥压下销针,调节<HV>电位器 …… 至 4.20 伏或…至 5×10-4 毫巴.随后,逆时针方向旋转电位器1/3圈用空气或氮气将规管放空至大气压,并至少等待10分钟.顺时针方向旋转铭牌直至达到机械限位器.使用 1.5 毫米螺丝刀, 调整 <ATM> 电位器 …… 至 8.60 伏或 … 至 1×103 毫巴.旋转铭牌回到它的原先位置(扣住).6.2 清洗MPG400,更换部件当使用清洗剂和处理它们时必须遵守相关的规程和采取必要的措施→ 6).我们建议当清洗规管时,更换皮拉尼元件.需用工具 / 材料6.2.1 拆卸MPG400• 通用板手 AF 1.5 • 通用板手 AF 3 • 开口扳手 7.0 毫米 • 钳子,用于开口簧环• 抛光布(400粒度) 或Scotch-Brite(纤维布) • 镊子 • 清洗用酒精• 引燃辅助极的安装工具 • 引燃辅助极• 皮拉尼元件(13)包含FPM 密封圈(13a) •FPM 密封圈(11)用于阳极馈入件从真空系统上卸下规管(→14).拧下电子学单元(2)上的六角凹头螺钉(1).卸下电子学单元,不要扭转它.电子学单元的外壳不能卸下.拧下磁铁单元(4)上的六角头螺钉(3),并卸下磁铁单元.磁力和倾斜趋向使磁体难于与测量室(7)分离.从测量室上取下开口簧环(5)和极性插件(6).从测量室后面卸下三个六角头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a).小心地按此顺序卸下下列部件(无应力施加于皮拉尼元件(13)上): 压块(9),整个阳极(10), FPM 密封件(11)包括支撑环(12),皮拉尼元件(13)包括FPM 密封件(13a).现可逐个清洗或更换部件.6.2.2 清洗MPG400清洗测量室和极性插件清洗或更换阳极用抛光布擦净测量室的内壁与极性插件至光亮的程度.密封表面必须按同心圆方式擦净.用清洗酒精漂洗测量室和极性插件.使它们干燥.用钳子取下用过的引燃辅助极(10a).用抛光布擦洗阳极杆至光亮的程度.切勿弯曲阳极. 切勿在陶瓷件上进行机械作业.用清洗酒精漂洗阳极.使阳极干燥.在安装工具上插入新的引燃辅助极(10a).小心地压阳极(清洁的或新的)居中工具轴和并行地插入引燃辅助极至约15 毫米深度. 最终定位在阳极安装后.阳极引燃辅助极安装工具清洗皮拉尼元件更换皮拉尼元件6.2.3重新组装MPG400从皮拉尼元件(13)上取下FPM密封件(13a).用清洗酒精注入皮拉尼测量管中,并晃动.就酒精从管中倒出.将管干燥(例如使用吹风机 <150 °C).将新的FPM密封件(13a)套入皮拉尼元件,插入相应的凹槽中.重新安装皮拉尼元件(→19).如严重污染或损坏.将新的FPM密封件(13a)套入皮拉尼元件,插入相应的凹槽中.安装皮拉尼元件(→19).(→图17)用支撑环(12)将FPM密封件(11)居中地插入测量室(7). 密封表面,密封件,和陶瓷件必须清洁.小心地将阳极(10)包括引燃辅助极(10a)插入测量室中.将FPM密封件(13a)套入皮拉尼元件(13),插入相应的凹槽中.小心地将压块(9)放在测量室上用三个六角头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a)均匀地拧紧直至达到限位器.在阳极杆的上方推安装工具,定位引燃辅助极(10a)直至达到机械限位器.用干燥氮气吹净测量室中的微粒(小心地拿住法兰朝下的测量室).将极性插件(6)滑入测量室中,直至达到机械限位器.将开口簧环(5)紧贴地适配于极性插件上.目测针状阳极是否居中地穿过极性插件的中心孔(最大偏心度= 0.5 毫米).如可能,执行一次漏率测试(漏率<10-9 毫巴·升/秒).装上磁铁单元(4)并用六角头螺丝(3)锁紧它.小心地安装电子学单元(2). (确认皮拉尼单元的插脚正确地插入电子学单元相应的孔中).推上电子学单元至机械限位器,并用六角凹头螺钉(1)锁紧它.调整真空计(→15).6.3 清洗MPG401,更换部件当使用清洗剂和处理它们时必须遵守相关的规程和采取必要的措施→ 6).为清洗测量室,皮拉尼单元必须卸下和更换.需用工具/ 材料•通用扳手 AF 1.5•通用扳手 AF 3•开口扳手 AF 6•开口扳手 AF 7•钳子,用于开口簧环•抛光布(400粒度) 或Scotch-Brite(纤维布)•镊子•清洗用酒精•引燃辅助极的安装工具•引燃辅助极•金属密封件(11)用于阳极馈入件•皮拉尼元件(13)包括成套密封件(13a, 13b)6.3.1拆卸MPG401从真空系统上卸下真空计(→14).拧下电子学单元上(2)的六角凹头螺钉(1).卸下电子学单元,不要扭转它.电子学单元的外壳不能卸下.拧下磁铁单元(4)上的六角头螺钉(3),并卸下磁铁单元.磁力和倾斜趋向使磁体难于与测量室(7)分离.从测量室上取下开口簧环(5)和极性插件(6).拧下六角凹头螺钉(9c)和卸下绝缘件(9b),不要扭转它.从测量室后面卸下四个六角凹头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a).小心地按此顺序卸下下列部件(无应力施加于皮拉尼元件(13)上): 压块(9),阳极延伸杆(9a),整个阳极(10),金属密封件(11)包括对中环(12).拧下皮拉尼元件的螺丝接头(13a),并卸下带有铜密封件(13b)的皮拉尼元件.现可逐个清洗或更换部件.6.3.2清洗MPG401清洗测量室和极性插件清洗或更换阳极用抛光布擦净测量室的内壁和极性插件至光亮的程度.密封表面必须按同心圆方式擦净.用清洗酒精漂洗测量室和极性插件.使它们干燥.用钳子取下用过的引燃辅助极(10a).用抛光布擦洗阳极杆,至光亮的程度.切勿弯曲阳极. 切勿在陶瓷件上进行机械作业.用清洗酒精漂洗阳极.使阳极干燥.在安装工具上插入新的引燃辅助极(10a).小心地压阳极(清洁的或新的)居中工具轴和并行地插入引燃辅助极至约15 毫米深度.最终定位在阳极安装后.更换皮拉尼元件将螺丝接头(13a)和铜密封件(13b)套入皮拉尼元件(13).装上皮拉尼元件(→23).6.3.3重新装配MPG401(→图21)将带螺丝接头(13a)和铜密封件(13b)的皮拉尼元件(13)插入测量室的相应圆锥形钻孔(7)中.用手指拧紧螺丝接头(13a)的同时轻微地将皮拉尼元件推向机械电位器. 然后用开口扳手拧紧螺丝接头一圈.将新的金属密封件(11)包括对中环(12)居中地插入测量室(7).小心地将阳极(10)包括引燃辅助极(10a)和延伸杆(9a)插入测量室中.小心地将压块(9)放在测量室上.用四个六角凹头螺钉(8)包括锁紧垫圈(8a)均匀地拧紧它们直至达到限位器.小心地将绝缘件(9b)置于压块(9)上,并用六角凹头螺钉(9c)锁紧它.在阳极杆的上方推安装工具,定位引燃辅助极(10a)直至达到机械限位器.用干燥氮气吹净测量室中的微粒(小心地拿住法兰朝下的测量室).将极性插件(6)滑入测量室中,直至达到机械限位器.将开口簧环(5)紧贴地适配于极性插件上.目测针状阳极是否居中地穿过极性插件的中心孔(最大偏心度= 0.5 毫米).如可能,进行一次漏率测试(漏率 <10-9 毫巴·升/秒). 必要时轻微地再次上紧螺丝接头(13a).装上磁铁单元(4)并用六角头螺丝(3)锁紧它.小心地安装电子学单元(2). (确认皮拉尼单元的插脚正确地插入电子学单元相应的孔中).推上电子学单元至机械限位器,并用六角凹头螺钉(1)锁紧它.调整真空计(→15).6.4 故障查找问题可能原因 解决方法 测量讯号持续< 0.5V "误差低".无电源电压.将电源置于on.皮拉尼测量单元损坏 (灯丝断裂).更换皮拉尼元件 (MPG40019) (MPG40122). 测量讯号持续> 9.5V "误差高".电子学单元未正确安装.正确安装电子学单元 (MPG40019) (MPG40123). 冷阴极放电未引燃.等待直到气体放电引燃 (在绝缘层污染的情况下, 冷阴极完全不能引燃). (清洗MPG40017 MPG40120). 绿色指示灯ON 和标识指示仅皮拉尼模式(测量讯号持续> 4.0V)"皮拉尼欠范围".MPG 仅能工作于压强 p < 3x10—9 毫巴.稍升高些压强.皮拉尼测量电路未调整, 例如由于严重污染. 重新调整皮拉尼测量电路(15).如不可能调整,更换皮拉尼元件.测量讯号持续>5V 或 显示>10-3毫巴,虽然真空压强OK. 测量重气体.用相应的公式转换(29). 在冷阴极测量室内严重的出气.清洗测量室.测量讯号不稳定.规管污染.清洗规管 (MPG40017) (MPG40120).订购附件时, 始终提及:•产品铭牌上的全部信息•附件清单上的名称与订货号名称订货号磁屏蔽件 BG443155-X订购备件时, 始终提及:•产品铭牌上的全部信息•备件清单上的名称与订货号项号名称MPG400 订货号1213a1110a131213a1110a1010a维护成套件,包含:1× 支撑环1× O-圈 FPM ø3.69×1.781× O-圈 FPM ø10.82× 1.783× 引燃辅助极检修成套件,包含:1× 皮拉尼元件1×支撑环1× O-圈 FPMø3.69×1.781× O-圈 FPM ø10.82×1.783× 引燃辅助极1× 阳极,整件成套引燃辅助极,包含:10× 引燃辅助极引燃辅助极的安装工具351-999351-998351-995351-994BN846469-TBN846470-TBN846471-T 测量系统DN 25 ISO-KF法兰DN 40 ISO-KF法兰DN 40 CF-F法兰项号名称订货号11 12 10a13 13a 13b 9a 10 10a11 1210a维护成套件,包含:1×密封件 HNV 100 (9×1.6) 1× 对中环3× 引燃辅助极1×垫圈 (未用于MPG401)Repair set, consisting of: 1× 皮拉尼元件,带玻璃馈入件 1× 螺丝接头 1× 铜密封件 1× 阳极延伸杆 1× 阳极,整件 3× 引燃辅助极 1× 密封件 HNV 100 (9×1.6) 1× 对中环成套引燃辅助极,包含:10× 引燃辅助极引燃辅助极的安装工具351-997351-996351-995351-994BN846472-T BN846473-T BN846474-TMPG401测量系统,整件 DN 25 ISO-KF 法兰 DN 40 ISO-KF 法兰 DN 40 CF-F 法兰检修成套件,包含:31).无明确的”无危害性物质”申报的产品,全部去污染费用由客户承担. 未附有完整污染申报表的产品将退回发送方,费用由发送方承担.危险: 污染的部件N元件分类污染的元件其它元件产品拆卸后, 按下列标准将其元件分类:污染的产品(如放射性,毒性,腐蚀性或微生物危害等)必须按相关的国家规定去污染,按照它们的材料分类,和处理.必须按它们的材料将这些元件分类和回收.A:测量讯号与压强的关系转换公式p = 101.667U-d⇔U = c + 0.6log10pp U c d[毫巴] [乇] [帕][伏][伏][伏]6.86.8755.611.3311.469.333其中p压强U测量讯号c,d常数(与压强单位有关)有效范围5×10-9毫巴<p<1000毫巴3.8×10-9乇<p<750乇5×10-7帕<p<1×105帕转换曲线压强p测量讯号U[伏]转换表测量讯号 U [伏] 压强 p [毫巴] 压强 p [乇] 压强 p [帕]<0.5 传感器误差0.5 … 1.82 欠量程1.822.02.63.23.84.45.05.66.26.87.48.0 8.65.0×10-91.0×10-81.0×10-71.0×10-61.0×10-51.0×10-41.0×10-31.0×10-20.11.01010010003.8×10-97.5×10-97.5×10-87.5×10-77.5×10-67.5×10-57.5×10-47.5×10-37.5×10-40.757.5757505.0×10-71.0×10-61.0×10-51.0×10-41.0×10-31.0×10-20.11.01010010001.0×1041.0×1058.6 … 9.5 过量程9.5 … 10.5 传感器误差(皮拉尼损坏)B: 与气体类型有关指示范围 高于10-2毫巴指示的压强 (对空气校准的真空计).p (10286 421018 6 42100 8 6 4210–1 8 6 4210–212 810–2810–110081012 p ef f (毫巴)指示范围10-6 … 0.1毫巴指示的压强 (对空气校准的真空计).p (毫巴)10–18 6 410–28 6 4210–38 6 428 6 4210–586 4210–6810–5810–4810–3810–2–1p ef f (毫巴)指示范围低于10-5毫巴在低于10-5毫巴范围内,压强指示是线性的. 对空气以外的其它气体,可用简单的转换公式来确定压强:p eff= K × 指示的压强其中气体类型K空气(O2, CO, N2) 1.0Xe0.4Kr0.5Ar0.8H2 2.4Ne 4.1He 5.9这些转换因素为平均值.通常涉及的是气体与蒸气的混合物. 在此情况下,只有用分压强测量仪器,即四极质谱仪才能精确地确定.tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om 31真空设备和元件的服务,检修和/或处理必须提供正确完整的申报表. 不完整将导致延迟的后果.本申报表必须由经授权和有资格的人员填写(大写)和签署.产品说明型号返修原因编号出厂号 使用的工作液体 (在发运前必须放空)产品的污染过程：毒性 否 是腐蚀性 否 是生物危害性 否 是易爆性 否 是放射性 否 是其它有害性物质 否 是 或不包含超过允许限量的任何危害性残余物 产品无任何损害健康的物质.是未明确写明去污染的 污染产品将不予受理!有害的物质,气体和/或副产品请列出与设备接触过的物质,气体和副产品：商标/产品名称 化学名称(或符号)应采取预防的措施 人体接触的急救方法有法律约束的申报：我们谨此申明本申报表中的信息是完整和正确的,并承担任何可能支付的费用. 污染的产品将按相应的规定发运.机构/公司名称地址 邮政编码,地区电话 传真电子邮件姓名日期和有法律约束的签名公司盖章曾用于铜过程否 是 将产品封闭在塑料袋中,并用标签标志..LI–9496 BalzersLiechtensteinTel +423 / 388 3111Fax +423 / 388 3700 Original: German tina48d1-a (2006-12)reachus@ t i na48e1-a。
INFICON英福康潘宁规PEG100中文资料
125 / 250 / 500 无
有 有 有 有 11 至 25 Phoenix Combicon, 5 脚
PEG100-P Profibus DP™
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500 5
2 有 D-sub, 9 脚
真空控制产品目录 2011 - A64
真空计 潘宁真空计
潘宁真空计
PEG100
INFICON 潘宁真空计 PEG100 提供可靠的高真空测量. 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器 无可烧坏的灯丝. 由于钛阴极板和等离子点燃后降低的高压, 真空计还可运行于溅射的 应用中. 除对数模拟输出讯号外, Fieldbus 选项可使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议, 容易地集成于真空系统中.
+10 至 +50 -20 至 +75
350 70
14.5 至 36 <2 0 至 10.6 0.66 至 10 1.333 FCC 68, 插座型, 8 脚 (屏蔽) 100 (330) 不锈钢, CrNi, AI2O3, NiFe, 钼, 铜, 镍, 钛 21 (1.28) 500 IP40
PEG100-D DeviceNet™
用途 ■ 高真空压强监测 ■ 蒸发和溅射系统 ■ 中, 高真空范围的一般真空测量与控制
订购资料 型号
DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用钛阴极板
5 件装
PEG100
351-000 351-002 351-490
PEG100-D
带 DeviceNetTM
351-003 351-004 351-490
真空计 潘宁真空计
真空测量与真空计的选择
热电离规真空计：
• 原理: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或 多个电子被撞击出去，形成带正电的离子，带电离子被离子收集极 捕捉收集放大输出，离子流的大小与气体压力成比例关系。
热电离规皮拉尼复合真空计：
• 由于热电离规与复合规的价格差不多，所以大 都厂家都直接生产热电离皮拉尼复合真空计。
• 测量范围: 5*10-2Pa 至 1atm。
• 测量精度: 1x 10-3…100毫巴 ±15% 100 ... 1000毫巴 ±50%
皮拉尼(Pirani)真空计：
• 特点： 1，较宽的测量范围； 2，传感器可以更换； 3，相应迅速； 4，设计紧凑，任意安装； 5，接近大气压段，易受气体 类型影响
炉上广泛使用
圆排车
单晶炉
检漏仪
电容薄膜规：
• 工作原理: 1,压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系; 2,通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度； 3, P=V/10*满量程
1，d1 为满量程压力，输出电压值为10V； 2，d2 为极限压力， 输出电压值为0V； 3，小腔室内为零点校准真空值
电容薄膜规的应用：
u 高精度真空测量，可作为标准规管校准其他类型的真空计； u 化工； u 冶金行业，抗污染性能好； u 用于CVD,PVD,ALD等半导体设备制造； u 太阳能光伏行业的单晶炉/多晶炉及PECVD工艺用的很多；一般为MKS
的电容薄膜规622A/626A /627D和INFICON的CDG025D，如：德国 Ruth&Rau公司的标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质 量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和 1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3；国内厂家用的大多是 INFICON的陶瓷型CDG025D。 u 刻蚀上一般用陶瓷保护型或者加热型的电容薄膜规比较多，抗污染性
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
如何选择INFICON真空计
一，皮拉尼真空计
1.皮拉尼真空计原理
加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度
由于气体粒子与 电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝
的温度会发生变化
热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比
例关系
2.衍生出两种类型的皮拉尼规
1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）
3.气体的热传导，与下列提条件有关:
1，气体类型
2，压力大小
4. 皮拉尼真空计测量范围与精度
测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5 x 10-4至 1000 mbar 精度(氮气): 1x 10-3… 100毫巴 ±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ±50%
100 ... 1000毫巴 ±50%
5. 皮拉尼真空计的优特点
灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命
6. 皮拉尼真空计具体型号
101-S 计PCG400 PCG410 PCG550
规信号
7. 皮拉尼真空计应用行业
光伏，镀膜，等离子行业 控制，如PEG100 经停产) 与
z 1，与
PSG500/PSG050 基本相同，但因为具有通讯协
z
PSG050/051 z
PSG100-S PSG z
PSG500/500-S PSG502 z
皮拉尼电容膜片复合真空1. 有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
2. 两种原理的规管全过程都工作
3. 100 mbar —1000 mbar 使用薄膜
4. 1 mbar – 100mbar 两规信号同时采用
5. 5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号
6. 输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃z
各种高真空泵的前级压力测量，如z
各种中低真空测量，如照明，冶金 z
真空连锁控制，高真空计的点火开关z
PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216 z PCG400 PCG410(现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已PSG500 基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用
PSG100 PSG10议功能，在大系统中应用广泛
二，电容薄膜规CDG025D/CDG045/100/160/200
1.电容薄膜规工作原理
z压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系
z通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度
2.电容薄膜规特点
z以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成
z在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量
z快速的预热和恢复时间,提高生产率
z卓越的长期稳定性,再现性和重复性
z由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性 z对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定
z快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入 准备使用状态 z一键按钮: 调零功能和设点调整
z抗腐蚀超纯陶瓷传感器
z能经受数百万次压强循环周期,包括大气压 冲击,无任何降低性能的迹象
z暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀
z对蒸气介质不敏感
z先进的传感器屏蔽 (专利)延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命
3.INFICON陶瓷技术
z陶瓷技术的优越性
1，无 “记忆” 效应
2，陶瓷无疲劳问题
3，最好的温度补偿
4，卓越的零点稳定性
z低使用成本
1.非凡的使用寿命
2.无需隔离阀
4.Sky CDG025D测量范围
5.加热型薄膜规
6.加热型优点
z零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）
z更高的精度
z环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响 z比工艺更快的预热启动时间’
z快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV
z任意安装角度
z抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响
7.电容薄膜规的应用
要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量
z用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污
染性能比较好。
一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容
薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国
Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和
627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4
和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，国内用的好多PECVD设备上
用的是INFICON的CDG025D。
z资料贮存和显示器制造设备
z工业真空设备
z常用高精度真空测量
三，热电离规
1.热电离规原理
Richardson 效应: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子
1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出
2）离子流的大小与气体压力成比例关系
2.两种类型热电离规
3.热电离型复合规
z HPG400
z BPG400/-SP/-SD/SR
z BPG402
z BCG450B-A规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起
z
4.优点及应用
z BPG
测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar
精度高，极好的重复性5%
灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。
方便的校准调节
注意事项：
对气体有选择性
抗污染能力弱
普遍应用于从低到超高真空的测量
在工业，半导体，研究行业应用广泛
z BPG402
双灯丝，大大延长使用寿命
电离规的工作可以自定义控制
探头备件自带校准参数，保证精度与重复性
z HPG400
电离规与皮拉尼的复合
皮拉尼自锁保护电离规
电离规的工作启动点可以一定范围内自定义
简易的校准功能
相对便宜的价格
z BCG450
可调的电离规工作起点
极佳的重复性
精确的大气端测量
四，冷电离规（潘宁规）
1.冷电离规原理
通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离
2.潘宁规特点与应用
z测量范围：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
z全金属密封
z无灯丝
z易清洗
z应用于普通的高真空测量
z冷规与皮拉尼规的复合
z测量范围广： 5x10-9-1000 mbar
z易于保养清洗
z无高真空灯丝，
z应用于普通高真空测量
4.冷规及复合规性能比较。