如何选择INFICON真空计

如何选择INFICON真空计

一，皮拉尼真空计

1.皮拉尼真空计原理

加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度

由于气体粒子与 电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝

的温度会发生变化

热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比

例关系

2.衍生出两种类型的皮拉尼规

1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）

3.气体的热传导，与下列提条件有关:

1，气体类型

2，压力大小

4. 皮拉尼真空计测量范围与精度

测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5 x 10-4至 1000 mbar 精度(氮气): 1x 10-3… 100毫巴 ±15%

5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ±50%

100 ... 1000毫巴 ±50%

5. 皮拉尼真空计的优特点

灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命

6. 皮拉尼真空计具体型号

101-S 计PCG400 PCG410 PCG550

规信号

7. 皮拉尼真空计应用行业

光伏，镀膜，等离子行业 控制，如PEG100 经停产) 与

z 1，与

PSG500/PSG050 基本相同，但因为具有通讯协

z

PSG050/051 z

PSG100-S PSG z

PSG500/500-S PSG502 z

皮拉尼电容膜片复合真空1. 有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起

2. 两种原理的规管全过程都工作

3. 100 mbar —1000 mbar 使用薄膜

4. 1 mbar – 100mbar 两规信号同时采用

5. 5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号

6. 输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃z

各种高真空泵的前级压力测量，如z

各种中低真空测量，如照明，冶金 z

真空连锁控制，高真空计的点火开关z

PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216 z PCG400 PCG410(现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已PSG500 基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用

PSG100 PSG10议功能，在大系统中应用广泛

二，电容薄膜规CDG025D/CDG045/100/160/200

1.电容薄膜规工作原理

z压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系

z通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度

2.电容薄膜规特点

z以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成

z在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量

z快速的预热和恢复时间,提高生产率

z卓越的长期稳定性,再现性和重复性

z由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性 z对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定

z快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入 准备使用状态 z一键按钮: 调零功能和设点调整

z抗腐蚀超纯陶瓷传感器

z能经受数百万次压强循环周期,包括大气压 冲击,无任何降低性能的迹象

z暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀

z对蒸气介质不敏感

z先进的传感器屏蔽 (专利)延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命

3.INFICON陶瓷技术

z陶瓷技术的优越性

1，无 “记忆” 效应

2，陶瓷无疲劳问题

3，最好的温度补偿

4，卓越的零点稳定性

z低使用成本

1.非凡的使用寿命

2.无需隔离阀

4.Sky CDG025D测量范围

5.加热型薄膜规

6.加热型优点

z零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）

z更高的精度

z环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响 z比工艺更快的预热启动时间’

z快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV

z任意安装角度

z抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

7.电容薄膜规的应用

要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量

z用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污

染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容

薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国

Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和

627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4

和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，国内用的好多PECVD设备上

用的是INFICON的CDG025D。

z资料贮存和显示器制造设备

z工业真空设备

z常用高精度真空测量

三，热电离规

1.热电离规原理

Richardson 效应: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子

1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出

2）离子流的大小与气体压力成比例关系