真空设备的维护和维修

真空设备的维护和维修

真空设备的维护和维修

§1维护部分

1.1、机械真空泵的维护和保养：

（1）泵及其四周环境应经常保持清洁。

（2）泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。

（3）不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。（4）泵在使用中温升不能超过70℃。

（5）新泵在使用100 h左右应换1～2次油，待换下的油内不再发现含黑色金属粉末后，可加长换油期限。

根据说明书规定和使用实际情况来确定换油期限。

（6）新泵和修理后的泵应现作运转试验4～6 h，检查泵是否符合使用要求。

（7）泵使用较长时间以后（2～3年不等），极限真空度下降，应进行一次检修。同时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。（8）泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，或进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切断与系统连接的真空管（关低真空阀或夹真空夹），防止喷油，污染工作场地。

（9）泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。

（10）泵不用时，应用橡皮塞（帽）把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。

（11）经常注意真空技术发展动向，尽量及早地引入新技术、新材料（如新泵油等），以改进原有系统的性能。

以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程，严格施行。

1.2、整套设备的日常维护：

（1）操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。

（2）冷却水水压应保持0.1～0.2 Mpa之间，出水温度≤45℃。

（3）压缩空气压力在0.4～0.5 Mpa之间。（4）每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。

（5）开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。

（6）经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。

（7）设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长

时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。

（8）机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。

（9）扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。（10）充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。（11）本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。

（12）设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油

的抹布擦拭。

（13）气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。（14）设备的整机电压要保证在350～420 V范围内。三相要平衡。

（15）规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止漏气。以上各部分及法兰连

接处不允许长期使用真空封泥密封。

（16）各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及

时拧紧。

（17）设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。（18）设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10～40℃。在拆修设备时，各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。（19）设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。§2维修部分

2.1真空设备维修的要点：

维修真空设备的要点是判断故障。往往是真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，也许真空机组的抽气能力不够，也可能是漏率偏高，又或者两种可能都有。这时，应该耐心观察和记录，从中找出故障。比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上来，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油污染了，氧化了；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化，轴封漏油等故障。

一、检测漏率：

用户最头疼的问题就是检测漏率。漏——分内漏和外漏，外漏比较好检测，内漏则难办些。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比如用蜡烛或打火机在可疑点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。

（1）漏和微漏的查找：

小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反应敏感

来检漏，比如丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时，电离计的指针会有明显摆动。用这种方法检漏一定要有耐心，一定要等到电离计的示值稳定了——也就是真空机组的抽气能力和漏率平衡了，然后再喷射。最好是反复几次，确认漏点。

（2）漏和外漏的查找：

内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有发现疑点，但是却有以下现象：机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀。具备以上条件基本可以确定有内漏。例：有一台25㎏中频炉，

配有2X—70旋片泵和两台ZJ—150罗茨泵加到一起抽也只抽到10 Pa，ZJ—150泵的作用显现不出来，没发现有外漏，却具备了机械泵油很快乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件，解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水，剩下就是查出漏点。先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无湿润点，湿润处就是漏点。

二、故障点的处理：

找出故障点就可以因地制宜地进行处理了，简单的办法就是换件，小到胶圈，螺栓；大到阀门，真空泵，只要手头上有的都可以换。对于需要焊接的部位应按要求来进行，焊接后还需确认是否达到了要求。

三、维修时要注意的环节：

维修应注意几个环节。即拆卸、清洁、检验及装配。

真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，一定不能用大锤去敲。

清洗零件时要干净，彻底，以便于发现问题和查出隐患。真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的