十级洁净实验室

化间的气流流程为： 新回风混合→活性碳滤器→中效过滤 器 （ ９５％ ） → 表 冷 器 → 送 风 机 → 消 声 器 → 亚 高 效 过 滤 器 （ ９９．９７％） →送风静压箱→超高效过滤器 （ ９９．９９９９９５％） → 洁净区→房间侧下百叶回风口→回风管→新回风混合。
为避免房间酸性气体一旦泄漏造成人员伤亡， 设紧急 排气风机。新风接至 ＭＡＵ－ １ 新风机组。其原理图见图 ３。
回 风 夹 道
回风格栅
高架地板
回风格栅
图 ２ １０ 级洁净室空调净化原理图
比例风门 帆布接头 手动阀 止回阀 活层炭滤器 中效滤器 冷排盘管 检修门 风机 止回阀 检修门 消声器 亚高效滤器 俭修门 帆布接头
新风 １０００ＣＭＨ
２７０００ＣＭＨ 回风
冷冻水回水 Ｔ 回＝１２℃ 冷冻水供水
Ｔ 供＝７℃
洁净室湿度控制： 洁净室的湿度是由新风机组 ＭＡＵ 来 保证， 控制新风机组送风状态点， 根据送风状态设定值来 调节电极加湿器的加湿量， 其原理图见图 ４。
２１０００ＣＭＨ
凝结水 蒸汽 ０．２ＭＰａ
电极式加湿器
纯水 纯水
冷冻水回水 Ｔ＝１２℃
冷冻水供水 Ｔ＝７℃
电动二通阀 Ｙ 型过滤器
蒸汽 ０．２ＭＰａ
冷冻水回水 Ｔ＝１２℃
冷冻水供水 Ｔ＝７℃
电动二通阀 Ｙ 型过滤器
图 ４ ＭＡＵ 新风机组原理图
开度， 使洁净室的正压值不随生产设备的排风量的变化而 变化， 电动调节阀的开度变化引起总送风管上的静压变化， 根据其设定值调节 ＭＡＵ 的风机频率， 以达到控制目的。其 原理图见图 ４。
１ 工程情况说明
本工程为上海市某电子化学材料公司新建厂房中洁净 实 验 室 设 计 ， 总 净 化 面 积 为 ２１０ 平 方 米 ， 分 为 更 衣 室 １ （ｇｏｗｎ ｒｏｏｍ）、更 衣 室 ２ （ｇｏｗｎ ｒｏｏｍ）、化 验 室 １ （Ｗｅｔ Ｌａｂｏｒａ－ ｔｏｒｙ） 和 化 验 室 ２ （Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ）。 实 验 室 面 积 虽 然 不大， 但它是整个车间工艺流程的核心部分， 净化实验室 能否正常运行， 直接影响到整个产品质量。工程于 ２００６ 年 ４ 月完成施工、并全面通过静态测试验收投入运行， 到目 前为止运行良好。
系统。各洁净室各项具体参数要求见表 ２。 按各房间洁净度需求设置气闸、风淋室及传递箱。
３ 洁净室设计说明
空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结 合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特 点， 下面来介绍此项目的空调净化系统方案。
化验室 １， 化验室 ２ 都有温度和湿度控制要求 ， 空调 系 统 用 的 新 风 机 组 （ ＭＡＵ） 和 循 环 空 调 机 组 （ ＲＣＵ） 的 冷 媒采用 ７～１２℃的冷冻水， 加热采用 ０．２Ｍｐａ 饱和蒸汽， 加湿 采用纯水电极式加湿方式。
粒径大小
微粒子数
Ｓ１ 制级 英制级
Ｍ２．５
１０
Ｍ３
Ｍ３．５
１００
Ｍ４
Ｍ４．５
１０００
Ｍ５
≥０．１μｍ 个／Ｍ３ 个／ｆｔ３
１２４０００ ３５０００ ９９．１
表 １ ＦＳ－ ２０９Ｅ 洁净度等级 （部分）
≥０．２μｍ 个／Ｍ３ 个／ｆｔ３
≥０．３μｍ 个／Ｍ３ 个／ｆｔ３
２６５０
７５
１０６０
３０
７５７０
７１０００ＣＭＨ
冷冻水回水 Ｔ＝１２℃
冷冻水供水 Ｔ＝７℃
电动二通阀 Ｙ 型过滤器
紧急风门 ７２０００ＣＭＨ
循环空调箱－ １
防火阀
超高效过滤器 过滤器
回 风 夹 道
手动调节阀 防火阀
送风静压箱
化验室 ２ １０ 级 Ｓ＝１０７ｍ２ Ｖ＝２２５．４ｍ３ Ｔ＝２３±２℃ !＝５０±５％
电动风阀
紧急排风机
防火阀
洁净度 满布率 温度 ℃ 相对湿度 ％ 换气次数 平均风速 相对压力 设备发热量 设备排气 噪声等级
更衣室 １ Ｃｌａｓｓ ４．５ 级 （ １０００）
ＨＥＰＡ≥２０％ ２３±２ ５０±５
５０￣６０ 次／ｈ －
＋１．２５ｍｍＨｇ １０００ Ｗ ０ ＜６０ ｄｂ
表 ２ 洁净室设计参数
化验室 １ Ｃｌａｓｓ ４．５ 级 （ １０００）
净 等 级 为 １００ 级 ， 采 用 新 风 机 组 （ ＭＡＵ） ＋循 环 空 调 机 组 （ ＲＣＵ） ＋超高效过滤器 （ ＵＬＰＡ） 的空调方式。采用的 气 流 形式为顶部 （ ＵＬＰＡ） 送风， 气流经房间侧下百叶风口回风 至回风夹道。ＵＬＰＡ 满布滤为 ２０％， 化验室对ＮＨ４＋、ＳＯｘ 浓 度 有 要 求 ， 需 在 循 环 机 组 （ ＲＣＵ） 内 增 设 化 学 过 滤 器 。净
２１４
３０９０ ８７．５
２６５００ ７５０ １０６００ ３００
７５７００ ２１４０ ３０９００ ８７５
≥０．５μｍ
个／Ｍ３
个／ｆｔ３
３５３ １０００ ３５３０ １００００ ３５３００ １０００００
１０ ２８．３ １００ ２８３ １０００ ２８３０
≥５μｍ 个／Ｍ３ 个／ｆｔ３
２４７
７
６１８ １７．５
洁净与空调技术 ＣＣ＆ＡＣ ２００７ 年第 ２ 期
工 程 实 例 ·６５·
某电子化学材料厂房十级洁净实验室设计
上海罗丹环保工程有限公司 秦志红☆
摘 要 介绍某十级及千级实验室新回风处理方法， 气流组织形式， 过滤器布置方式。 关键词 超高效过滤器 满布率 液槽式龙骨 高架地板
Ｔｈ ｅ Ｄｅ ｓ ｉｇ ｎ ｆｏ ｒ ｔ ｈ ｅ Ｃｌａ ｓ ｓ １０ Ｃｌｅ ａ ｎ Ｌａ ｂ ｏ ｒａ ｔ ｏ ｒｙ ｏ ｆ Ａｎ Ｅｌｅ ｃｔ ｒｏ ｎ ｉｃｓ Ｃｈ ｅ ｍ ｉｃａ ｌ Ｍａ ｔ ｅ ｒｉａ ｌ Ｆａ ｃｔ ｏ ｒｙ
内装要求： 洁净室内隔间吊顶及龙骨须为防腐蚀材料， 所有水泥墙表面涂装耐腐蚀环氧树脂防止有可能被化学气 体腐蚀， 所有与回风相接触的机械元件都必须用不锈钢材 质或者与之耐腐蚀性相当的材料。高效过滤器 （ ＨＥＰＡ） 和 超高效过滤器 （ ＵＬＰＡ） 也要有耐腐蚀考虑。
空调要求： 安装一套新风处理机组， 处理的新风供给 洁 净 室 及 安 装 在 洁 净 室 内 的 蒸 发 罩 （ ｈｏｏｄ） ， 新 风 回 风 混 合 后 通 过 ＨＥＰＡ／ＵＬＰＡ／ＦＦＵ （ 空 气 处 理 单 元 ） 送 入 洁 净 室 。 回风由空气集中处理机组或干盘管处理。每个房间的空气 压力由集中处理单元或 ＦＦＵ 控制， 根据各房间 洁 净 度 及 室 内设备、家具的位置选择布置空气过滤器的数量和位置， 室内温度及相对湿度必须可控。各房间均须设置紧急通风
Ｋｅｙｗｏｒ ｄｓ Ｕｌｔｒａ ｌｏｗ ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ ａｉｒ ｆｉｌｔｅｒ Ｓｕｆｆｕｓｉｏｎ ｒａｔｉｏ Ｗｅｔ ｔｙｐｅ ｐｒｏｆｉｌｅ Ｒａｉｓｅｄ ｆｌｏｏｒ
★ＬＵＯＤＡＮ Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅ ｎｔａ ｌ Ｐ ｒｏｔｅ ｃｔｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅ ｅ ｒｉｎｇ Ｃｏ．， Ｌｔｄ． Ｓ ｈａ ｎｇｈａ ｉ， Ｃｈｉｎａ
·６８· 工 程 实 例
洁净与空调技术 ＣＣ＆ＡＣ ２００７ 年第 ２ 期
新风处理机组－ １
防雨百叶 防虫网 ＰＶＣ 档水板 帆布接头
初效滤器 ３０％ 活性炭滤网 检修门 初效滤器 ６５％
入孔 中效滤器 ８５％ 预热盘管 冷却盘管 检修门 再冷却盘管 再热盘管 加湿器 检修门 风机 止回阀 检修门 消声器 检修门 亚高效滤器 帆布接头
化验 室 ２ 洁 净 等 级 为 １０ 级 ， 采 用 新 风 机 组 （ ＭＡＵ） ＋ 循 环 空 调 机 组 （ ＲＣＵ） ＋超 高 效 过 滤 器 （ ＵＬＰＡ） 的 空 调 方 式。采用的气流形式为顶部 （ ＵＬＰＡ） 送风， 气流经高架地 板 孔 洞 至 回 风 夹 道 。 ＵＬＰＡ 满 布 滤 为 １００％ ， 化 验 室 ２ 对 ＮＨ４＋、ＳＯｘ 浓度有要求， 需在循环机组 （ ＲＣＵ） 内增设化学 过滤器。１０ 级净化间的气流流程为： 新 回 风 混 合→活 性 碳 滤 器→中 效 过 滤 器 （ ９５％） →表 冷 器→送 风 机→消 声 器→ 亚 高 效 过 滤 器 （ ９９．９７％ ） → 送 风 静 压 箱 → 超 高 效 过 滤 器 （ ９９．９９９９９５％） →洁净区→高架地板→回风夹道→回风管→ 新回风混合。为避免房间酸性气体一旦泄漏造成人员伤亡， 设 紧 急 排 气 风 机 。 新 风 接 至 ＭＡＵ－ １ 新 风 机 组 。 其 原 理 图
Ｂｙ ＱＩＮ Ｚｈｉｈｏｎｇ ★
Ａｂｓｔｒ ａｃｔ Ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓ ｔｈｅ ｃｏｎｆｉｇｕｒａｔｉｏｎｓ ｏｆ ｔｈｅ ｍａｋｅ－ ｕｐ ａｉｒ ｈａｎｄｌｉｎｇ ａｎｄ ｔｈｅ ｒｅ－ ｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ ａｉｒ ｈａｎｄｌｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍｓ， ａｉｒｆｌｏｗ ｔｙｐｅ ａｎｄ ｔｈｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅ ｏｆ ｆｉｌｔｅｒ ｏｆ ａ ｃｌｅａｎ ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ．
☆秦志红， 女， １９７７ 年 １０ 月生， 硕士研究生 ２００２３５ 上海浦东新区塘桥路 ４００ 弄 ３ 号 １４０２ 室 Ｅ－ ｍａｉｌ： ｑｉｎｇｈｉｈｏｎｇ＠１６３．ｃｏｍ 收稿日期： ２００６－ １０－ １９ 修回日期： ２００７－ １－ ３０
·６６· 工 程 实 例
洁净与空调技术 ＣＣ＆ＡＣ ２００７ 年第 ２ 期
Ｃ
电动二通阀 Ｙ 型过滤器
紧急风门 送风 ２８０００ＣＭＨ
循环空调箱－ ２
连送风静压箱
超高效 过滤器
防火阀 送风静压箱
手动调节阀 防火阀
超高效 过滤器
紧急排风机
防火阀 连送风静压箱 超高效 过滤器
更衣室 ２ 回
１００ 级 Ｓ＝４ｍ２
风
Ｖ＝８．４ｍ 夹
Ｔ＝２３±２℃
!＝５０±５％ 道
化验室 １ １０００ 级 Ｓ＝１３８．８ｍ２ Ｖ＝２３１．０８ｍ３ Ｔ＝２３±２℃ !＝５０±５％
２ 洁净室设计要求
按照 ＦＳ－ ２０９Ｅ 标 准 （ ＦＳ－ ２０９Ｅ 标 准 见 表 １） ， 本 工 程 各 房间 的 洁 净 等 级 分 别 为 更 衣 室 １： Ｃｌａｓｓ ４．５ 级 （ １０００） ， 更 衣室 ２： Ｃｌａｓｓ ３．５ 级 （ １００） ， 化验室 １： Ｃｌａｓｓ ４．５ 级 （ １０００） ， 化验室 ２： Ｃｌａｓｓ ２．５ 级 （ １０） 。实验室平面布置图见图 １。
ＨＥＰＡ≥２０％ ２３±２ ５０±５
５０￣６０ 次／ｈ －
＋１．２５ｍｍＨｇ ７７００ Ｗ
２２００ ｆｔ３／ｍｉｎ ＜６０ ｄｂ
更衣室 ２ Ｃｌａｓｓ ３．５ 级 （ １００）
ＵＬＰＡ≥２０％ ２３±２ ５０±５ －
０．２￣０．５ｍ／ｓ ＋１．２５ｍｍＨｇ
１０００ Ｗ ０
＜６０ ｄｂ
化验室 ２ Ｃｌａｓｓ ２．５ 级 （ １０）
新风机组 （ ＭＡＵ） 采用变频风机， 其原理图见图 ４。
洁净与空调技术 ＣＣ＆ＡＣ ２００７ 年第 ２ 期
工 程 实 例 ·６７·
比例阀门 帆布接头 手动阀 止回阀 活性炭滤器 中效滤阀器 冷排盘管 检修门 风机 止回阀 检修门 消声器 亚高效滤器 ９９．９７％ 俭修门 帆布接头
ຫໍສະໝຸດ Baidu
１０００ＣＭＨ 自 ＭＡＵ
回风格栅
回风格栅
回 电动风阀 风
夹 道
更衣室 １
１０００ 级 Ｓ＝１１．７５ｍ２ Ｖ＝２４．８８ｍ３
Ｔ＝２３±２℃
!＝５０±５％
回风格栅
回风格栅
图 ３ １０００ 级洁净室空调净化原理图
净化室内隔墙全部采用双面不锈钢岩棉彩钢板， 液槽 式吊顶龙骨及高架地板经喷涂防腐处理， 混凝土楼板及墙 面 涂 环 氧 树 脂 处 理 。 ＭＡＵ 及 ＲＣＵ 采 用 不 锈 钢 结 构 ， 至 ＲＣＵ 与 ＨＯＯＤ 的新风风管为不锈钢钢板， 橡塑保温 。回 风 风管采用玻璃钢结构， 紧急排气风机为玻璃钢屋顶风机。
４ 净化系统的空调自动控制
洁 净 室 正 压 控 制 ： 新 风 机 组 （ ＭＡＵ） 采 用 变 频 风 机 ， 由总送风管上的静压传感器来控制变频器。在接入每个循 环 机 组 （ ＲＣＵ） 的 新 风 管 上 设 置 电 动 调 节 阀 ， 用 于 控 制 新 风量及房间正压， 由洁净室的正压值来调节电动调节阀的
ＵＬＰＡ ＝１００％ ２３±２ ５０±５ －
０．３￣０．５ｍ／ｓ ＋１．２５ｍｍＨｇ
１５０００ Ｗ ８９００ ｆｔ３／ｍｉｎ
＜６５ ｄｂ
化验室 ２
传送地
化验室 １
风淋室 更衣室２
更衣室１ 传送箱
样品室
图 １ 洁净室平面布置图
见图 ２。 化验 室 １、更 衣 室 １ 洁 净 等 级 为 １０００ 级 ， 更 衣 室 ２ 洁