洁净室的ESD问题
esd静电问题终极解决方案
简介静电（ESD）是在物体之间发生的静电放电现象，会造成电子设备损坏和数据丢失。
在信息技术快速发展的今天，ESD问题已经成为一个严重的挑战。
因此，本文将介绍一些ESD静电问题的解决方案，以帮助人们有效地处理和解决这些问题。
1. ESD静电产生的原因静电产生的原因可以归结为以下几点：•摩擦: 当两种不同材料之间发生摩擦时，会产生静电。
例如，当硬质塑料袋与羊毛衣物摩擦时，会产生大量的静电。
•电子设备: 电子设备本身是ESD的主要来源。
当电子设备工作时，会产生静电。
此外，在组装和维修电子设备时，也容易引发ESD问题。
2. ESD静电问题的影响ESD静电问题会对电子设备和数据产生严重的影响，包括但不限于以下几个方面：•设备损坏: 静电放电会损坏电子设备内部电子元件，导致设备无法正常工作甚至完全失效。
•数据丢失: 静电放电会导致数据传输中断和数据丢失，使得重要数据无法恢复。
•成本损失: 静电问题会导致电子设备的损坏和维修费用的增加，从而增加企业的成本负担。
3. ESD静电问题的解决方案为了解决ESD静电问题，我们可以采取以下措施：3.1 建立ESD安全意识建立ESD安全意识是解决ESD问题的第一步。
通过培训和教育，向员工普及ESD的概念、影响和解决方案，提高员工对ESD的认识和防范水平。
3.2 使用防静电设备使用防静电设备是防止ESD问题的有效措施之一。
例如，对工作台面和工作区域进行静电防护，使用防静电垫子和腕带等防静电设备，降低静电的产生和传导。
3.3 控制湿度湿度的控制是减少ESD静电问题的重要手段之一。
适当的湿度能够减少空气中的静电积聚，降低静电放电的几率。
通过使用加湿器或空调设备来控制湿度，可以有效防止静电问题的发生。
3.4 地线接地地线接地是减少ESD问题的关键措施之一。
将设备和工作台等金属部件接地，可以有效地将静电导入地面，避免积聚和放电。
3.5 接地静电放电器在特定环境中，可以使用接地静电放电器来安全释放电荷。
ESD静电的一些问答总结
ESD静电的一些问答总结1、问：为什么有些ESD地线有阻抗而有些没有呢？答：ESD地线的目的是将一导电面连接到与电源地等电位的地方，“硬地”是用不具有附加电阻的地线直接连接到地的；电源地与公共点接点之间的电阻基本为0Ω。
“软地”是具有内部串联电阻的地线，典型值为1M，这样设计的目的是限制当操作者暴露在110V和最大250V的环境中时可能产生的伤害电流。
ESD联合会ANEOS/ESD S6.1—1991建议用“硬地”方式使ESD台面或者地板垫子接地。
2、问：我常穿一只防静电鞋，但常被告之两脚都要穿，为什么？答：防静电鞋仅在穿戴正确并且要与导电地板或消耗地连在一起时才起作用。
行走是摩擦生电的一个极好的例子。
若你正确使用防静电鞋，且与ESD地板紧密连接，那么你身上的电荷泄入到地。
因此，你与地之间构成的网络在电压上是相同的，但你一抬起穿有防静电鞋的脚，你就会再次充电，要么从你的衣服感应，要么因为摩擦和抬脚而产生摩擦电。
若你穿有两只防静电鞋，你就会进一步大大减小比几伏电压高得多的净电荷的机会（典型值为2 000—5000V），因为你处于接地状态时间延长了，所以建议在靠近运动物体时，务必穿一双防静电鞋。
3、问：需要在机器与地间连接1M电阻吗？答：不需要。
参照生产厂商在机器或设备方面接地的要求可知，1M电阻是用于保护人体的，参考以下的问题。
旁注：将所有靠近ESD敏感工作站的孤立导体接地都是有好处的。
可使意外的电场或电荷积累减至最小。
4、问：1M电阻在半导体装配过程中的作用是什么？答：假设1：我们正谈论ESD控制问题；假设2：人体与半导体及带有半导体的器件接触，在防静电腕、防静电鞋、拉链、地线等地方均可发现1M串联电阻，其作用是限制可通过人体的电流量，保护人体安全。
1M电阻的主要限定要求是：在250V交流有效值时，电流被限制到250微安，正好是大多数人的感知水平（神经系统发生反射的临界值）。
电流在休表及体内物理感知的不同取决于人体大小、重量、水份、皮肤条件等。
静电防护ESD问题幻灯演示
5、 ESD 危害与防患措施（续四）
5．3 车间 ESD 环境要求
工作环境
地面 工作台、凳子 工作服、工作鞋、防静电手环
测试机台 包装
5、 ESD 危害与防患措施（续五）
5．4 静电的消除
增加空气湿度（加湿器） 局部静电处理（使用交流磁场、喷涂 ESD 涂料） 离子中和法：在静电电荷密集处引入带电离子
1、静电成因与放电模式有几种？ 2、静电的危害表现在哪些方面？ 3、防静电有哪些相应的措施？ 4、如何防止雷电入侵造成设备仪器损坏？ 5、保护接地和接零的基本原理？
谢 谢！
电场感应模式（FIM） 器件触于外电场环境，感应电荷类类追认CDM模式放电
4、IC. MOS.FET.GaN LED失效分析（续）
4．2 ESD 放电表现形式
静电放电（ESD）引起器件失效 Ⅰ电压式击穿 （串联式元器件与 LED）
引起器件或 PN 结短路
Ⅱ功率式击穿 （并联式元器件与 LED）
<250V 250 TO <500V 500 TO <1000V 1000 TO 2000V 2000 TO <4000V 4000 TO <8000V >=8000V
GJB548A静电放电灵敏度等级
一级 二级 三级
0-1999V 2000-3999V 4000V以上
4、IC. MOS.FET.GaN LED失效分析（续）
PCB、电子线路间距小至几十微米，尘埃大于10微 米，被吸附后容易造成短路放电。
4、IC. MOS.FET.GaN LED失效分析（续）
表五：半导体器件 ESD 敏感电压值
器件类型 ESD电压值（V） 器件类型
VMOS MOSFET GaAsFET
如何防止洁净实验室中产生静电？
如何防止洁净实验室中产生静电？在洁净实验室环境设计中，静电问题是一个严重的障碍，如果处理不好，静电可能会对实验室的研发工作产生非常严重的负面影响，甚至引起设备故障、事故等。
例如电子实验室、洁净实验室等，随着实验室内越来越多的使用自动化机械设备、机械手和高度敏感的精密电子仪器设备等，对意外情况下的静电控制变得越来越重要。
下面介绍几种有有效控制静电产生的方法，从实验室设计方面着手，防患于未然。
一、相对湿度控制特定环境的相对湿度可能是控制静电能量释放的最佳方式，通常情况下，相对湿度应保持在30％RH以上。
这个湿度水平不能彻底消除静电荷，但能有效阻止其从一种材料排放到另一种材料上。
当湿度水平增加到60％到70％之间时，它们也可能会导致实验室内材料的腐蚀，霉菌的生长和实验室工作者的身体不适。
因此需要做到平衡，紧密配合实验室内的机械系统和建筑环境。
高静电放电控制区域可能需要实时监测管控相对湿度水平。
二、地板根据适当的实验室使用和维护协议，有效使用ESD地板或垫子可以在地板和要接地的对象之间提供适当的连接点，以确保手推车与导电地板完全接触。
根据制造商的指示，ESD地板的正确安装和定期维护也是至关重要的，包括从地板到楼层的低阻力通道。
三、实验台台面实验室工作台面在满足静电放电要求方面可能存在一些挑战。
环氧树脂、酚醛树脂和木材等材料是绝缘材料，其电荷消散非常缓慢，并将静电电荷转移的可能性降低到非常低的水平。
但在某些情况下，这些材料可能需要解决耐久性问题。
金属台面或静电放电层压板可以提供低电阻和导电性。
试验台材料的选择应根据项目目标和实验室要求确定。
无论您选择哪种材料，您都可以使用垫子来提供静电防护。
洁净厂房夹层电击防护措施的应用探讨
洁净厂房夹层电击防护措施的应用探讨洁净厂房是一种高要求的生产环境，对产品质量和环境卫生要求非常严格。
在洁净厂房中，为了保障职工的安全和生产设备的稳定运行，夹层电击防护措施是必不可少的措施之一。
本文将从洁净厂房的定义、夹层电击的危害、夹层电击防护措施的分类和应用等方面进行探讨。
一、洁净厂房的定义洁净厂房是一种具备严格要求的工业和实验室环境，应用于制造高精密设备、敏感仪器或特殊产品的生产过程。
洁净厂房的具体要求包括空气质量、空气洁净度、温度、湿度、静电控制等多个方面。
二、夹层电击的危害夹层电击是指在空气中形成的两个不同电位的物体之间，当人接触到电势差，电流通过人体而引起的电击现象。
夹层电击对职工的危害主要有以下几个方面。
1.危害人体健康。
当人体接触到较高电势差时，会引起电流通过人体，造成电击伤害。
电击可以引起心悸、疼痛、呼吸困难等症状，严重的情况下甚至会导致心脏骤停、呼吸麻痹等危险。
2.影响生产设备。
在洁净厂房中，工作台、操作台、生产设备等都是高精密设备，对于静电敏感。
当职工发生电击时，可能会影响到周围的设备，导致设备故障或工艺不稳定。
三、夹层电击防护措施的分类夹层电击防护措施主要包括以下几个方面。
1.接地系统。
接地是夹层电击防护的基础，通过将设备的金属壳体等导电部分与地面相连接，实现电势的均衡，避免电势差产生。
接地系统的设计应符合国家标准，包括接地电阻的要求、接地线的布设等。
2.静电防护。
静电是引起夹层电击的重要因素之一。
通过静电防护措施，可以减少静电的积累，并保证电势的均衡。
常用的静电防护措施包括增加空气湿度、使用导电地板、穿戴合适的防静电服装等。
3.绝缘措施。
绝缘是夹层电击防护的重要手段之一。
对于高电压设备和线路，应采取绝缘措施，避免电流通过人体。
绝缘措施包括使用绝缘材料、设置绝缘墙和绝缘门等。
四、夹层电击防护措施的应用在实际生产中，夹层电击防护措施的应用非常重要。
以下是几个常见的夹层电击防护措施的应用实例。
洁净厂房夹层电击防护措施的应用探讨
洁净厂房夹层电击防护措施的应用探讨随着科技的不断进步，现代工业在制造产品的同时，越来越注重环境的保护和员工的安全。
洁净厂房夹层电击防护措施就是在这种背景下应运而生的。
在本文中，我将浅谈关于洁净厂房夹层电击防护措施的应用探讨，以期为广大工业从业者提供参考。
洁净厂房是指用于生产高科技电子产品、光电产品、医疗设备、食品等高洁净度的生产厂房。
在生产过程中，夹层是必不可少的一个环节。
但由于夹层涉及到电力和电路，电击事故是存在的，因此防护措施就变得尤为重要。
一、静电的形成和危害在讲述夹层电击防护措施前，必须先了解静电的形成及危害。
静电是指物体表面的电荷在物体表面积分不等于0的情况下，形成的由正电荷和负电荷所组成的电荷分布。
在工业产品生产过程中，静电可能产生的地方包括：输送带、加工机器、印刷设备、挤出机等。
静电对工业生产带来的危害主要有以下几个方面：（1）静电所造成的火灾爆炸；（2）静电对人员的伤害；（3）静电所产生的电子故障和电信干扰。
二、防止夹层电击的措施在夹层电击防护方案中，首要问题是要建立正确的静电防护意识，遵循夹层电安全规定，正确使用静电防护装置。
其次，还需要采取以下措施：1、接地接地是防护静电的基础，夹层内的静电防护线必须有地线焊接，对于接地不良的，及时维护和更换。
2、外露金属部分进行静电处理夹层内的外露金属部分必须进行静电处理。
可采用增加导体数量，在金属间增加耐磨橡胶塞之类的方法来解决。
3、妥善处理水份尽量避免夹层湿度过高，同时在需要的情况下，加设加热器将湿度降低。
4、选择合适的防护材料在制定夹层电击防护方案时，应选择符合相关国家标准的防护材料，例如防静电高耐压胶带、防静电型软管等，以防止夹层中静电电位的过快放电。
5、对于必要机器建立静电屏障对于夹层中必要的机器，应在其周围建立静电屏障，防止静电泄漏。
三、结论通过以上几种措施，能大致防范一些夹层电击事件的发生。
当然，静电防护方案也要因地制宜，根据实际情况制定。
洁净室调试测试常见问题及解决方案
空调机组系统总风量过小或过大
d.当机组满足设计工况但无余量，可定义为施工管道走向或安装制作问题或设计考虑欠缺。 解决措施： 根据以上症状可分为厂商问题、施工问题和设计问题三类来考虑，可根据以上相应症状进行处理。 问题：若风量过大超过额定值要求 原因分析： 1）操作人员对机组的运行状态操作不当。 2）机组选型偏大，无变频器调节。 3）系统各功能段阻力未达到终阻力要求，余量很大。 解决措施： 1）在系统总风管处增设风量调节阀或增加机组变频器控制即可；
照度计 HIKO3422 0～20000Lx
常规测试装备
名称： 型号： 技术参数：
风速仪 KA-22 0～50m/s
名称： 型号： 技术参数：
温湿度计 HM-141 -40～100℃，0～100%
名称： 型号： 技术参数：
多点风速仪 EBT720 0～20m/s
名称： 型号： 技术参数：
光度计 ATI-2H 0.3μm
过滤器安装过程中 安装位置不到位
4
房间压差问题
➢ 泄漏危害 ➢ 原因分析 ➢ 解决措施
2020年9月7日
房间压差问题
问题4：房间压差问题 危害： a.当房间压差产生倒灌乱流时，将会使洁净室环境被污染，生产工艺的先决条件被破坏。 原因分析：
回（排）风口 的设计及选择
不合理
回（排）风上 阀门设计及选
3 高效过滤器检漏存在
泄漏问题
➢ 泄漏危害 ➢ 原因分析 ➢ 解决措施
2020年9月7日
高效过滤器检漏存在泄漏问题
问题3：高效过滤器检漏存在泄漏问题 泄漏危害： a.洁净室房间高效过滤器泄漏将会降低房间生产工艺产品的合格率及洁净度也不满足要求。 原因分析：
产品问题
张家界洁净室百级洁净室 君信达 静电放电损伤的失效分析工作
静电放电损伤的失效分析工作一般来说，静电具有高电位、强电场的特点，在静电起电-放电过程中，有时会形成瞬态大电流放电和电磁脉冲(EMP)，产生频谱很宽的电磁辐射场君信达千级洁净室另外，与常规电能量相比，静电能量比较小，在自然君信达千级洁净室起电-放电过程中，静电放电(ESD)参数是不可控制的，是一种难于重复的随机过程，因此它的作用往往被人们所忽视君信达千级洁净室尤其在微电子技术领域，它给我们造成的危害却是惊人君信达千级洁净室的，据报道每年因静电造成直接经济损失高达几亿元人民币，静电危害以成为发展微电子工业的重大障碍君信达千级洁净室在半导体器件生产车间，由于尘埃吸附在芯片上，IC尤其是超大规模集成电路(VLSI)的成品率会大大下降君信达千级洁净室IC生产车间操作人员都穿洁净工作服，若人体带静电，则极易吸附尘埃、污物等，若这些尘埃、污物被带到操作现场的话，响产品质量，恶化产品性能、大大降低Ic成品率君信达千级洁净室如果吸附的灰尘粒子的半径大于100μm线条宽度约100μm时，薄膜厚度在50μm下时，则最易使产品报废君信达千级洁净室君信达千级洁净室再次，静电对IC的损害具有一定的特点君信达千级洁净室(1)隐蔽性除非发生静电放电，人体不能直接感知静电，但发生静电放电人体也不一定能有电击的感觉，这是因为人体感知的静电放电电压为2~3kv，所以静电具有隐蔽性君信达千级洁净室(2)潜在性有些汇受到静电损伤后的性能没有明显的下降，但多次累加放电会给IC器件造成内伤而形成隐患君信达千级洁净室因此静电对IC的损伤具有潜在性君信达千级洁净室(3)随机性IC什么情况下会遭受静电破坏呢?可君信达千级洁净室以这么说，从一个IC芯片产生以后一直到它损坏以前，所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机性，其损坏也具有随机性君信达千级洁净室(4)复杂性静电放电损伤的失效分析工作，因微电子IC产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费财，要求较高的技术并往往需要使用高度君信达千级洁净室精密仪器，即使如此，有些静电损伤现象也难以与其它原因造成的损伤加以区别；使人误把静电放电损伤的失效当作其它失效，这在对静电放电损害未充分认识之前，常常归因于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉地掩盖了失效的真正原因君信达千级洁净室所以分析静电对IC的损伤具有复杂性君信达千级洁净室总而言之，在IC的加工生产和封装过程中建立起静电防护系统是很有必要的!IC封装生产线对静电的要求更为严格君信达千级洁净室为了保证生产线的正常运行，对其洁净厂房进行防静电建筑材料的整体装修，对进出洁净厂房的所有人员配备防静电服装等采取硬件措施外，封装企业可根据国家有关标君信达千级洁净室准和本企业的实际隋况制定出在防静电方面的企业标准或具体要求，来配合IC封装生产线的正常运转君信达千级洁净室随着我国IC封装线的扩建、封装能力的逐年提高、封装品种的增加以及对产品质量和成品率的更高要求，相应地对各种软、硬件要求和对全体从业人员的静电防护意识的加强就显得更为重要，而这也正扮演和充当着影响我们产品质量的"主要角色"和"无形杀手"君信达千级洁净室所以说，静电防护将是目前和今君信达千级洁净室后摆在我们整个IC行业的一大课题君信达千级洁净室4 结束语综上所述，环境诸多因素和静电因素始终对IC的封装加工过程起着很重要的作用，这也是IC的发展趋势和封装加工过程的固有特性所决定的，微电子半导体IC的超前发展，就势必要求我们在环境与静电方面紧紧跟君信达千级洁净室上IC的发展，使之不要成为制约IC封装加工发展的障碍和"绊脚石"君信达千级洁净室。
洁净车间的静电问题需要重视
洁净车间中由于静电引起的事故屡有发生，因此洁净车间的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。
所谓静电，是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，故称静电。
在洁净车间内静电导致的事故有以下几方面；
1．静电引起的静电电击，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒，由摔倒又致伤)；
2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等破坏和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；
3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作；
4．静电放电的发光可导致照相胶片等感光破坏；
5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；
静电事故的产生主要在于静电的产生和积累，而气流的流动，气流和管道、风口、过滤器等摩擦，人体和衣服的摩擦，衣服之间的摩擦，工艺上的研磨，喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作，所以这些都可能产生静电，在一般
情况下，越是电导率小的非导体（绝缘体），由于电荷产生后不易流动，因此表现为越容易带电。
静电问题所以在洁净车间中特别严重，是因为不但在洁净车间中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净车间中的许多材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率，都容易产生静电和集聚静电，在洁净车间的静电灾害未被重视以前。
洁净厂房夹层电击防护措施的应用探讨
洁净厂房夹层电击防护措施的应用探讨洁净厂房夹层电击防护措施的应用探讨随着科技的不断进步，电子产业得到了广泛的发展和应用，洁净厂房也随之应运而生。
洁净厂房是一种净化级别高、精度要求高、温度控制精度高、通风控制准确的关键制造环境，其主要应用于半导体、电子元器件、医药、食品等高端制造行业。
但是，在洁净厂房的建设过程中，难免会出现各种安全隐患，其中之一就是夹层电击的问题。
因此，本论文旨在探讨洁净厂房夹层电击防护措施的应用。
一、洁净厂房夹层电击的原因及影响洁净厂房夹层是为了便于管理和维护，在厂房中间建造起来的一层，一般由金属框架和金属板组成。
由于夹层内部空气干燥，温度较高，同时还存在大量金属构件，因此，夹层电击的隐患较大，一旦电击发生，不仅会伤及工人的生命安全，还有可能造成机器设备和产品的损坏，对整个生产线的正常运行造成巨大影响。
在洁净厂房中，夹层电击的主要原因有两个。
一是由于静电的积累，其中包括设备运行、人员进出、设备接触、金属接触等因素造成的电荷积累；二是由于夹层之间的跨步电压，即由于电势差造成的电流流动。
这些因素可能会导致夹层电击事件的发生。
二、洁净厂房夹层电击防护措施的应用为了防止洁净厂房夹层电击的发生，必须采取一定的防护措施。
目前，常用的夹层电击防护措施主要有以下几种：1、接地保护接地保护是夹层电击防护的基本措施，通过将金属构件与地面连接，形成一个绝缘的安全通道，使夹层内部的电荷能够被及时地放电。
2、静电消除装置静电消除装置是对静电能量的释放和导出，通过在洁净厂房内部安装专门的静电消除器，调整静电电荷的分布，保持静电力平衡，实现静电的安全控制。
3、跨步电压控制洁净厂房内的设备和人员经常穿梭于夹层之间，如果在走路过程中出现步幅过大，就会产生跨步电压，因此，控制洁净厂房内的跨步电压是夹层电击防护的重要措施之一。
常用的跨步电压控制措施包括增加地线和接地模块、增加引向电极、负载中心变压器调节、增加电与电的麻花线等。
洁净室的静电危害
洁净室的静电危害
提要:洁净室是一个超洁净环境，它是通过控制风量、过滤、湿度、温度、气压、电离以及室内材料和其它参数而得到的。
因静电会减少产品优率,电磁干扰会中断自动设备运行,静电吸附会增加表面微
粒收集的难度,因此对静电的产生进行控制也是必要的。
因为静电电荷事实上会把污染物吸附在产品或工具表面,静电吸附正变为洁净室观注的焦点。
例如,将4英寸晶片充电至1KV时,对直径为1微米的微粒的吸附力将达到830000英磅/平方英寸。
因此,与重力、空气动力和粘附力相比,带电物体与微粒间的静电吸附将更强。
在电子工业洁净厂房中的静电危害主要表现在:
◆吸附灰尘。
由于静电吸附作用，洁净室内空气微粒吸附在电子元器件表面和墙壁
表面，影响产品质量和洁净度。
静电也成为洁净室新的发尘源。
◆诱发火灾与爆炸。
电子工业洁净室中会大量使用易燃易爆气体、液体和有机溶剂，
静电会成为这些气（液）体和溶剂的引火源，引起火灾或爆炸。
◆电晕放电，或火花放电，发出噪声，干扰电子设备和电子元器件。
产生静电电场，使电子元器件短路、疲劳或破损。
洁净技术--防静电知识之EOS与ESD的区别
洁净技术--防静电知识之EOS与ESD的区别一、什么是EOS？EOS为Electrical Over Stress的缩写，指所有的过度电性应力。
当外界电流或电压超过器件的最大规范条件时，器件性能会减弱甚至损坏。
EOS通常产生于1.电源(AC/DC) 干扰、电源杂讯和过电压。
2.由于测试程序切换（热切换）导致的瞬变电流/峰值/低频干扰。
其过程持续时间可能是几微秒到几秒（也可能是几纳秒），很短的EOS 脉冲导致的损坏与ESD损坏相似。
3.闪电。
4.测试程序开关引起的瞬态/毛刺/短时脉冲波形干扰。
5.测试设计欠佳，例如，在器件尚未加电或已超过其操作上限的情况下给器件发送测试信号。
再比如在对器件供电之前加入测试信号，或超过最大操作条件。
6.来自其它设备的脉冲信号干扰，即从其它装置发送的脉冲。
7.不恰当的工作步骤，工作流程不甚合理8.接地点反跳（由于接地点不够导致电流快速转换引起高电压）二、什么是ESD？ESD是英文Electrical Static Discharge的缩小，中文释为静电放电。
电荷从一个物体转移到另一个物体。
静电是一种客观的自然现象，产生的方式多种，如接触、摩擦等。
静电的特点是高电压、低电量、小电流和作用时间短的特点。
人体自身的动作或与其它物体的接触，分离，摩擦或感应等因素，可以产生几千伏甚至上万伏的静电。
静电在多个领域造成严重危害。
摩擦起电和人体静电是电子工业中的两大危害。
生产过程中静电防护的主要措施为静电泄露、耗散、中和、增湿，屏蔽与接地。
人体静电防护系统主要有防静电手腕带，脚腕带，工作服、鞋袜、帽、手套或指套等组成，具有静电泄露，中和与屏蔽等功能。
静电防护工作是一项长期的系统工程，任何环节的失误或疏漏，都将导致静电防护工作的失败。
三、对比区别四、静电防护1.设定静电区域说明:在生产现场设定静电敏感区域，并且要做明显警示，使到现场的每个人都能注意。
2、静电区域内注意事项a.操作者应该佩戴防静电腕带，应该穿着防静电服装，鞋，围巾，椅子应该套防静电套。
洁净室静电防护
洁净室静电防护
洁净室是一个超洁净环境,它是通过控制风量、过滤、湿度、温度、气压、电离以及室内材料和其它参数而得到的.在电子制造业,由于静电的原因,它会减少产品的忧率,不利于企业的成本维护.
控制洁净室的ESD应从多方面进行考虑.通常,一个完整的ESD控制程序应包括:人衣服鞋离子风机湿度控制地板作业台面包装.对任何人来说,只针对某一部分进行静电控制,是不现实的.洁净室胡具体防静电措施如下:
◆建立标准的接地系统.
◆人员的静电防护(工作在洁净室内的人是最大胡静电源)
①洁净室内操作人员须穿戴防静电洁净服防静电手套和手腕带
②操作人员须进行有关在静电敏感器件周围的行为控制的培训
◆洁净室围护结构的防静电,围护结构包括墙、壁、门窗、天花板、地面..使用高导电率材
料
◆生产和操作区域采用防静电地面.
①地面面层具有导电性能,并保持长时间性能稳定
②表层采用静电耗散材料
③采取铺设接地网等静电泄放措施
◆湿度水平应得到控制,相对湿度应控制在40~70%较合适
◆生产区域送风管道内送风管口安装离子风机
◆工作台、坐椅、推车、存放架、周转箱、工具等的材料都要求具备防静电功能
◆用以包装静电敏感器件的胶袋须具有防静电功能
◆元器件、半成品、产品的转运过程要求符合防静电要求
◆可能产生的防静电危害的设备流动液体(气体)管道应采取防静电接地措施
◆减少摩擦作业,以减少静电的发生
◆定期对防静电系统进行检测和日常审核。
洁净室的ESD问题
洁净室的ESD问题（1）自从洁净室的静电放电（ESD）问题被提出后，微电子产品生产行业和生物医药制造行业，ESD标准和控制受到广泛的关注。
背景洁净室是一个超级洁净的环境，它不但要控制通风、过滤、温度、湿度、气压以及离子化等，还要同时对环境内的材料和其他参数进行控制。
洁净室的洁净度决定于空气中的悬浮微粒数量，微粒的首要计量单位是微米，即10-6米，大致相当于0.000039英寸。
洁净室级别划分最为通行使用的方法来自ISO14644标准。
该标准以每立方米空气中0.1微米的微粒来划分洁净室级别，它取代了过去的美国国家标准209-1992（详见表1），而后者是以每立方英尺空气中0.5微米的微粒数来划分洁净级别的。
按照这两个标准规定，209标准中的100级洁净室中每立方英尺空气中大于等于的0.5微粒数不能超过100个，此级别相当于ISO14644标准中的5级洁净室。
后者的含义是每立方米空气中大于等于0.5微米的微粒数不超过3520个。
控制静电荷产生在洁净室是非常必要的。
静电可能影响生产，也可能使自动化设备受到电磁干扰而失灵，静电产生的静电引力（ESA）还会减少表面的粒子粘附数量。
静电荷与产品和工具表面污染密切相关，这一点让ESA越来越受到重视。
例如，一个4英寸的晶片带1000V的静电后，对一个直径1微米的粒子的静电引力强度高达830000磅力/平方英寸。
可以看出，带电体的静电引力要比重力、气流力和粘着力相比要高得多。
广泛使用的绝缘材料，如玻璃、特氟纶（聚四氟乙烯）和高分子聚合物会产生高电位的静电。
解决此问题首先考虑工作站接地，如使用不锈钢工作台台面取代使用静电耗散材料的工作台面。
但从安全的角度和静电敏感器件的防护角度看，这样做是有害的。
洁净室的划分见表2。
美国法律规定，209E标准可以为国际新的标准所取代，因此它将逐步为ISO14644所淘汰。
ISO8级ISO8级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于3,520,000个，相当于Fed Std. 209E的100000级。
洁净室的ESD问题
洁净室的ESD问题（1）自从洁净室的静电放电（ESD）问题被提出后，微电子产品生产行业和生物医药制造行业，ESD标准和控制受到广泛的关注。
背景洁净室是一个超级洁净的环境，它不但要控制通风、过滤、温度、湿度、气压以及离子化等，还要同时对环境内的材料和其他参数进行控制。
洁净室的洁净度决定于空气中的悬浮微粒数量，微粒的首要计量单位是微米，即10-6米，大致相当于0.000039英寸。
洁净室级别划分最为通行使用的方法来自ISO14644标准。
该标准以每立方米空气中0.1微米的微粒来划分洁净室级别，它取代了过去的美国国家标准209-1992（详见表1），而后者是以每立方英尺空气中0.5微米的微粒数来划分洁净级别的。
按照这两个标准规定，209标准中的100级洁净室中每立方英尺空气中大于等于的0.5微粒数不能超过100个，此级别相当于ISO14644标准中的5级洁净室。
后者的含义是每立方米空气中大于等于0.5微米的微粒数不超过3520个。
控制静电荷产生在洁净室是非常必要的。
静电可能影响生产，也可能使自动化设备受到电磁干扰而失灵，静电产生的静电引力（ESA）还会减少表面的粒子粘附数量。
静电荷与产品和工具表面污染密切相关，这一点让ESA越来越受到重视。
例如，一个4英寸的晶片带1000V 的静电后，对一个直径1微米的粒子的静电引力强度高达830000磅力/平方英寸。
可以看出，带电体的静电引力要比重力、气流力和粘着力相比要高得多。
广泛使用的绝缘材料，如玻璃、特氟纶（聚四氟乙烯）和高分子聚合物会产生高电位的静电。
解决此问题首先考虑工作站接地，如使用不锈钢工作台台面取代使用静电耗散材料的工作台面。
但从安全的角度和静电敏感器件的防护角度看，这样做是有害的。
洁净室的划分见表2。
美国法律规定，209E标准可以为国际新的标准所取代，因此它将逐步为ISO14644所淘汰。
ISO8级ISO8级的洁净室是每立方米大于等于0.5微米的微粒数量少于3,520,000个，相当于Fed Std. 209E的100000级。
生产部门污染控制及ESD知识了解
Class 100
Class “XXX” 意味 着什么？
Class 10
Class 1
SS Quality Institute
必须有一系列净化室纪律规定，以维持达到净化室的特殊环境要求 在净化室内的所有时间太空服必须完全穿好 % 不露出鼻子 % 不露出头发 % 不露出皮肤 % 讲话时不能把口罩从脸上拉下来 % 穿有正确颜色标志太空服 % 衣服没有肮脏，破损 % 不得在净化间拉下拉链
不能拉下口罩
SS Quality Institute
金属碎片
带入CR之前必须用净化间指定的清洁 溶液(70％酒精和30％DI水)进行清洁
SS Quality Institute
Page 3
污染的尺寸
小于12 um的微粒将会划伤磁盘 用肉眼是无法看到12 um 以下的微 粒的
对 Head/Disc 的污染
烟雾
人的头发
读 飞行高度 尘埃微粒 写 (0.3-0.35 u”) 头 手指印 Disc 表面
SS Quality Institute
Page 4
净化室级别
返回 空气 返回 空气
在净化室地板上 形成交叉区域
什么是 Class 100, 10 环境所需求的?
HEPA 过滤器 80% to 100% 覆盖 空气流速 = 70 到 110 FPM
HEPA
空气转换 = 每小时 200 到 600
Page 23
ESD控制-人体接地及监控
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深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd 洁净室的 ESD 问题深圳市华诺丰源科技有限公司刘斌 自从洁净室的静电放电（ESD）问题被提出后，微电子产品生产行业和生物医药制 造行业，ESD 标准和控制受到广泛的关注。
背景 洁净室是一个超级洁净的环境，它不但要控制通风、过滤、温度、湿度、气压以 及离子化等，还要同时对环境内的材料和其他参数进行控制。
洁净室的洁净度决定于 空气中的悬浮微粒数量， 微粒的首要计量单位是微米， 10-6 米， 即 大致相当于 0.000039 英寸。
洁净室级别划分最为通行使用的方法来自 ISO14644 标准。
该标准以每立方米空 气中 0.1 微米的微粒来划分洁净室级别，它取代了过去的美国国家标准 209-1992（详 见表 1） ，而后者是以每立方英尺空气中 0.5 微米的微粒数来划分洁净级别的。
按照这 两个标准规定，209 标准中的 100 级洁净室中每立方英尺空气中大于等于的 0.5 微粒 数不能超过 100 个，此级别相当于 ISO14644 标准中的 5 级洁净室。
后者的含义是每 立方米空气中大于等于 0.5 微米的微粒数不超过 3520 个。
控制静电荷产生在洁净室是非常必要的。
静电可能影响生产，也可能使自动化设 备受到电磁干扰而失灵， 静电产生的静电引力 （ESA） 还会减少表面的粒子粘附数量。
静电荷与产品和工具表面污染密切相关，这一点让 ESA 越来越受到重视。
例如，一 个 4 英寸的晶片带 1000V 的静电后，对一个直径 1 微米的粒子的静电引力强度高达 830000 磅力/平方英寸。
可以看出，带电体的静电引力要比重力、气流力和粘着力相 比要高得多。
广泛使用的绝缘材料，如玻璃、特氟纶（聚四氟乙烯）和高分子聚合物会产生高 电位的静电。
解决此问题首先考虑工作站接地，如使用不锈钢工作台台面取代使用静 电耗散材料的工作台面。
但从安全的角度和静电敏感器件的防护角度看，这样做是有 害的。
地址：深圳市福田区深南大道 6007 号安徽大厦创展中心 1906 邮编：518040 E-mail: hnfw@ 电话：+86-755-89808081 传真：+86-755-83867927 1深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd 洁净室的划分见表 2。
美国法律规定，209E 标准可以为国际新的标准所取代，因 此它将逐步为 ISO14644 所淘汰。
ISO8 级 ISO8 级的洁净室是每立方米大于等于 0.5 微米的微粒数量少于 3,520,000 个， 相当 于 Fed Std. 209E 的 100000 级。
10000 级（ISO8 级）对于抗静电材料中铵基抗静电剂和炭粉的使用没有特别的限 制。
真空吸塑容器、 普通服装、 足跟接地式鞋是可以经常看见在此级别的洁净室出现。
100000 级洁净室算不上严格控制的洁净环境， 防尘面罩和手套没有配备的要求。
进入 ISO8 级洁净室的物品没有进行洁净和袋装处理的要求。
地址：深圳市福田区深南大道 6007 号安徽大厦创展中心 1906 邮编：518040 E-mail: hnfw@ 电话：+86-755-89808081 传真：+86-755-83867927 2深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd ISO 7 级 (Fed Std. 10,000 级) ISO7 级的洁净室是每立方米大于等于 0.5 微米的微粒数量少于 352,000 个，相当 于 Fed Std. 209E 的 10000 级。
此级别的洁净室不要求佩戴口罩， 但要求穿着抗静电的 净化服、靴和头套，并佩戴橡胶手套，允许使用抗静电产品和混炭粉材料。
Extensive use of ionization is concentrated in specific areas.特别区域需要使用离子风机应当予以 集中。
车间内足跟接地带和靴可以接受，同样耦合洁净室用品也可以接受。
抗静电聚 乙烯泡沫有时也在抗静电周转容器中一同使用。
ISO6 级 (Fed Std. 1,000 级) ISO6 级的洁净室是每立方米大于等于 0.5 微米的微粒数量少于 35,200 个， 相当于 Fed Std. 209E 的 1,000 级。
此级别的洁净室必须身着带有防静电靴的洁净服，防静电靴有接地结构或通过足 跟、辅助接地带实现接地。
车间需要时可以使用静电耗散材料的套服。
除非经过粒子 计数器、除气和化学兼容性等系列测试，填炭的材料的物品不可以在此级别的洁净室 中使用。
进入此级别的洁净室的物品必须先在同级别的洁净室中进行清洗，并使用双 层包装。
必须配戴手套、口罩。
服装使用一次，必须经过清洗才能再次进入 ISO 6 级 洁净室。
新的或经过清洗后的服装在进入更衣室前，必须用袋子封装。
经过测试不会 产生污染的抗静电用品方能够使用。
可以使用离子静电消除器减少粒子吸附，和减少 ESD 损伤。
ISO 5 级(Fed Std. 100 级) ISO5 级的洁净室是每立方米大于等于 0.5 微米的微粒数量少于 3,520 个，相当于 Fed Std. 209E 的 100 级。
ISO 5 级洁净室中，建议使用广泛使用离子静电消除器消除静电；洁净室中人员 须穿戴无尘服，无尘服覆盖其身体、头部、面部、手和眼睛。
在工作站和生产场地， 所有添置的离子设备能够被观察到。
在洁净室内尽可能不使用可能产生污染的混炭物 质和含有铵基的抗静电剂。
由于具有不依赖吸湿和非极性溶剂中清洗不丧失防静电特 性的优点，固有导电性的聚合物在洁净室中广泛使用。
物品必须先进行清洗，并使用 双层包装，通过风淋室进入 ISO 5 级洁净室。
手套覆盖手臂，无裸露皮肤。
使用氨基 抗静电剂的材料中的氨基物可能污染器件表面，除非不含有此类抗静电剂，否则限制地址：深圳市福田区深南大道 6007 号安徽大厦创展中心 1906 邮编：518040 E-mail: hnfw@ 电话：+86-755-89808081 传真：+86-755-83867927 3深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd 使用乙烯基的抗静电台垫。
不能够使用非净化的普通纸张和笔。
厂家需要设有一名或 多名专职净化控制工程师，处理 ESD 问题和净化问题。
体积过大不能用双层包装袋 包装的设备必须使用 70%非极性清洁剂擦拭或用去离子水清洗后才能进入洁净室。
ISO 4 级(Fed Std. 10 级) ISO4 级的洁净室是每立方米大于等于 0.5 微米的微粒数量少于 352 个， 相当于 Fed Std. 209E 的 10 级。
在 ISO 4 级洁净室中必须穿戴带有空气微循环装置的邦尼服（无 尘服） 。
所有工作站和生产制造中心的工作标准中必须配置离子化设备内容。
厂家必 须配备多名专职净化控制和 ESD 控制工程师。
物料必须经过 70%非极性清洗剂或去 离子水清洗后才可进入工作场地。
ISO 5 级的操作要求在 ISO 4 级中也必须执行。
. ISO 4 级中的用品的 ESD 要求和无污染要求更加严格。
ISO 3 级(Fed Std. 1 级) ISO3 级的洁净室是每立方米大于等于 0.5 微米的微粒数量少于 35 个， 相当于 Fed Std. 209E 的 1 级。
人员不直接在 ISO3 级的洁净室工作。
在 ISO3 级的洁净室中使用低粒子产生的特 殊离子化设备或放射型等新型离子化设备消除静电。
新型的离子化设备主要解决 ESA 问题，它不能产生污染，并且配备实时粒子计数器监测设备运行状况。
标准的离子化设备由于电极变化在这个最高净化级别的环境中会造成污染。
α粒子或 X 射线式的离子化设备经过严格的质量审核后方可使用。
一般设备容易产生微粒，因 此须注意减少或消除这些可能的污染源。
如果有静电场的问题话，厂家必须配备一名 或多名专职净化控制工程师和一名 ESD 控制工程师。
物料必须经过 70%非极性清洗剂或蒸馏水清洗后才可进入工作场地。
采购部门在 制定采购订单时必须保证供应商在净化和 ESD 方面与自己的产品保持一致。
ESD 和 ESA 控制工具 洁净室的分级以及 ESD 和 ESA 问题，不但是净化控制的问题，更重要的是静电 相关的问题。
ESD 控制的测量最早用于国防、电子组装线、半导体、晶片生产和硬盘 驱动制造等行业。
在 ESA 控制领域，光纤、医药、晶片制造和硬盘驱动公司都已逐地址：深圳市福田区深南大道 6007 号安徽大厦创展中心 1906 邮编：518040 E-mail: hnfw@ 电话：+86-755-89808081 传真：+86-755-83867927 4深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd 步建立了洁净室 ESA 控制体系。
在这些行业无论是静电还是 ESD（静电放电）的控 制室都是至关重要的。
虽然，取决于敏感组件和磁头的静电敏感程度，ESD 受到广泛 的关注，但是在晶片制造行业，由于净化控制的成为首要问题，ESA 比 ESD 得到更 多的重视。
不断进步的 ESD 标准和拥有静电控制技术的 ESD/ESA 测量仪器提供了测量材 料、设备、人体和其他 ESD、ESA 场的工具。
洁净室中 ESD 控制的测量 我们现在讨论在 ESD 标准中和工业评估 ESD 控制物品实际操作。
以下是常见的 物品和材料： 1. 地板 2. 工作站 3. 传输工具 4. 货架 5. 树脂玻璃或聚碳酸酯光栅 Plexiglas or Polycarbonate Enclosures 6. 货车 7. 椅子 8. 工衣 9. 离子静电消除器 10. ESD 监控仪 11. ESD 材料： 1) 塑料袋 2) 真空托盘 3) 手套 4) 真空泵 5) 静电屏蔽袋 7) 胶片 8) 真空吸管 9) 晶片盒地址：深圳市福田区深南大道 6007 号安徽大厦创展中心 1906 邮编：518040 E-mail: hnfw@ 电话：+86-755-89808081 传真：+86-755-83867927 5深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd 表面阻值和相对湿度地址：深圳市福田区深南大道 6007 号安徽大厦创展中心 1906 邮编：518040 E-mail: hnfw@ 电话：+86-755-89808081 传真：+86-755-83867927 6深圳市华诺丰源科技有限公司 Shenzhen RUNESD Technology Co.,Ltd 按照 ANSI/ESD S541-2003 标准（ESD 包装及材料标准） ，表面阻值率大于 1011 欧姆的材料属于绝缘材料。