能谱仪结构及工作原理

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此外,还有去掉探测器窗口的无窗口型(windowless type)探测器,它可以探测B(Z=5)以上的元素。但是,为了避免背散射电子对探测器的损伤,通常将这种无窗口型的探测器用于扫描电子显微镜等低速电压的情况。

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