硅行业国家标准大全

序号标准号标准名称

5GB/T 1551-2009硅单晶电阻率测定方法

6GB/T 1553-2009硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法

7GB/T 1554-2009硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

8GB/T 1555-2009半导体单晶晶向测定方法

9GB/T 1558-2009硅中代位碳原子含量 红外吸收测量方法

15GB/T 4058-2009硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法

16GB/T 4061-2009硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法

33GB/T 6616-2009半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

34GB/T 6617-2009硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

35GB/T 6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法

36GB/T 6619-2009硅片弯曲度测试方法

37GB/T 6620-2009硅片翘曲度非接触式测试方法

38GB/T 6621-2009硅片表面平整度测试方法

39GB/T 6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法

67GB/T 13387-2009硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法

68GB/T 13388-2009硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

70GB/T 14139-2009硅外延片

71GB/T 14140-2009硅片直径测量方法

72GB/T 14141-2009硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

73GB/T 14144-2009硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

74GB/T 14146-2009硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法

76GB/T 14600-2009电子工业用气体 氧化亚氮

77GB/T 14601-2009电子工业用气体 氨

78GB/T 14603-2009电子工业用气体 三氟化硼

79GB/T 14604-2009电子工业用气体 氧

81GB/T 14851-2009电子工业用气体 磷化氢

88GB/T 15909-2009电子工业用气体 硅烷(SiH4)

116GB/T 16942-2009电子工业用气体 氢

117GB/T 16943-2009电子工业用气体 氦

118GB/T 16944-2009电子工业用气体 氮

119GB/T 16945-2009电子工业用气体 氩

241GB/T 24574-2009硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

242GB/T 24575-2009硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

243GB/T 24576-2009高分辩率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法244GB/T 24577-2009热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

245GB/T 24578-2009硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

247GB/T 24580-2009重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

248GB/T 24581-2009低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中III、V族杂质含量的测试方法

249GB/T 24582-2009酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质

代替标准号批准日期修订日期实施日期GB/T 1551-1995,GB/T 151979-5-262009-10-302010-6-1

GB/T 1553-19971979-5-262009-10-302010-6-1

GB/T 1554-19951979-5-262009-10-302010-6-1

GB/T 1555-19971979-5-262009-10-302010-6-1

GB/T 1558-19971979-5-262009-10-302010-6-1

GB/T 4058-19951983-12-202009-10-302010-6-1

GB/T 4061-19831983-12-202009-10-302010-6-1

GB/T 6616-19951986-7-262009-10-302010-6-1

GB/T 6617-19951986-7-262009-10-302010-6-1

GB/T 6618-19951986-7-262009-10-302010-6-1

GB/T 6619-19951985-6-172009-10-302010-6-1

GB/T 6620-19951986-7-262009-10-302010-6-1

GB/T 6621-19951986-7-262009-10-302010-6-1

GB/T 6624-19951986-7-262009-10-302010-6-1

GB/T 13387-19921992-2-192009-10-302010-6-1

GB/T 13388-19921992-2-192009-10-302010-6-1

GB/T 14139-19931993-2-62009-10-302010-6-1

GB/T 14140.1-1993,GB/T1993-2-62009-10-302010-6-1

GB/T 14141-19931993-2-62009-10-302010-6-1

GB/T 14144-19931993-2-62009-10-302010-6-1

GB/T 14146-19931993-2-62009-10-302010-6-1

GB/T 14600-19931993-8-262009-10-302010-5-1

GB/T 14601-19931993-8-262009-10-302010-5-1

GB/T 14603-19931993-8-262009-10-302010-5-1

GB/T 14604-19931993-8-262009-10-302010-5-1

GB/T 14851-19931993-12-302009-10-302010-5-1

GB/T 15909-19951995-12-202009-10-302010-5-1

GB/T 16942-19971997-8-132009-10-302010-5-1

GB/T 16943-19971997-8-132009-10-302010-5-1

GB/T 16944-19971997-8-132009-10-302010-5-1

GB/T 16945-19971997-8-132009-10-302010-5-1

2009-10-302010-6-1

2009-10-302010-6-1的试验方法2009-10-302010-6-1

2009-10-302010-6-1

2009-10-302010-6-1

2009-10-302010-6-1含量的测试方法2009-10-302010-6-1