美国ASTMD电子及半导体工业用纯水水质要求
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美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求
项目
TypeE-1
TypeE-1．1
TypeE-1.2
TyPeE-2
TyPeE-3
TyPeE-4
线宽(μm)
1.0-0.5
0.5-0.25
0.25-0.18
5-1
>5
-
电阻率
18.2
18.2
18.2
17.5
12
0.5
热源(EU/ml)
0.03
0.03
-
-
-
Ba
0.05
0.02
0.001
-
-
-
B
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0.02
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-
-
-
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0.02
0.002
-
-
-
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0.02
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-
-
-
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2
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-
-
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-
-
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5
2
1
50
300
1000
溶解氧DO(μg／L)
1
1
1
-
-
-
蒸发残渣(μg／L)
1
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-
-
-
微粒(μm)(SEM检测)
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1000
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-
-
-
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20
20
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4
4
1
细菌
100mlSample
1
1
1
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1
1
0.1
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10000
100000
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3
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0.5
10
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-
-
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TypeE-1
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TypeE-1.2
TyPeE-2
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线宽(μm)
1.0-0.5
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电阻率
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