2018年电子级双氧水与电子级氨水项目可行性研究报告

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本项目生产的超纯电子级双氧水与氨水系微电子级化学品材料，有其自身的特殊性，对生产设备的要求很高。项目产品纯化过程主要是物理过程，生产中常用设备为塔、槽、过滤器等。主要设备大多为特氟隆衬里，工艺过程中接触高纯物料的管道多采用PFA或PDVF衬里的管道，输送高纯水的管道均采用PVDF塑料管道，以确保项目产品的品质。
离子交换树脂主要是去除离子杂质和残留有机物，过滤去除微颗粒物，必要时物料会在装置单元内进行多次循环过滤。过滤器不清洗，定期更换滤芯。
生产不对树脂进行再生，废树脂返回供应商回收再生。树脂浸润、取样箱清洗、更换滤芯排水等废水收集至废水槽，送厂内废水站处理。
过程所有储槽采用氮封，隔离空气中杂质。储槽和交换树脂柱排出含双氧水雾沫废气，收集去尾气洗涤单元的洗涤塔处理。
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本项目排放废气主要是电子级氨水单元贮槽和灌装排放，处理措施为：采用引入尾气吸收塔进行鼓泡吸收，使其达到《恶臭污染物排放标准》后排放。
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本项目排放的64m3/d（2.67m3/h）废水（含双氧水0.22%）与1.44m3/d（0.06m3/h）废水（含氨0.1%）送至公司废水处理装置统一处理。
超纯水制备过程离子交换树脂再生排放的Ro浓水与反洗水，其处理措施为：反洗水（3.29m3/h）回收利用，送尾气处理单元作补充水使用；少量的Ro浓水（2.5m3/h）集中回收送公司原有纯水站统一处理。
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五
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35%双氧水原料由公司双氧水车间的产品槽泵通过管道送入本系统，经原料预过滤器过滤微粒后，进入原料储槽。在储槽中加入超纯水调节至30%左右浓度，再依次通过阳离子树脂、阴离子树脂、有机碳树脂交换、净化后进入中间储槽，加入超纯水进一步调整浓度，过滤后送至成品储槽。取样质检分析后，合格产品再经成品过滤器组过滤后进行灌装或包装外运。不合格物料进入缓冲槽，有泵返回原料储槽，重新纯化处理。
2018年电子级双氧水与电子级氨水项目可行性研究报告
2018年10月
目录
一、项目建设内容3
二、项目必要性与可行性3
1、必要性3
2、可行性4
（1）符合国家产业政策4
（2）技术实施可靠4
（3）ห้องสมุดไป่ตู้售渠道有保证5
三、项目投资概算5
四、项目设备投资计划5
1、电子级双氧水生产单元6
2、电子级氨水生产单元6
3、产品灌装包装单元7
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液氨储槽内的无水液氨经泵压送至油过滤系统循环过滤以避免油在蒸发器内积聚。蒸发器坡度、进出口管道、泵的安装等设计均考虑促进油类等污染物向纯化器低端的运动。蒸发器底部通热水使得氨气以一定的速率被蒸发出来而不含雾沫夹带，蒸发出来的氨气气体经亚微米级微粒过滤器进一步去除杂质。
经处理的氨气以一定的流量与超纯水在分布器内混合，制成的氨水送入氨水中间槽。氨水中间槽的氨水用泵经分布器、冷却器循环吸收蒸发器过来的氨气直到浓度符合要求。循环吸收过程中取样送试验室分析，合格产品送灌装外运。
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本项目系技改项目，主要原材料工业级双氧水与液氨系公司已有产品，可以由公司生产直接供应，原材料生产工艺已经发展成熟，产品质量处于同行业领先水平。本项目建在公司大洋基地厂区内，可充分利用基地内原有的水电汽配套供应条件，有利于减少项目建设投资。
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本项目超纯电子级双氧水与氨水产品，系目前国内进口替代的重点领域；同时，公司现有客户体系及销售渠道为上述产品新增产能消化提供了有力保障。
五、项目工艺流程7
1、电子级双氧水生产单元7
2、电子级氨水生产单元8
六、环境保护9
1、废气处理9
2、废水处理9
3、固废处理10
4、噪声控制措施10
七、项目实施规划10
一
本项目建设的年产2万吨电子级双氧水与8千吨电子级氨水。本项目产品方案为：30%双氧水（超纯电子级）及29%氨水（超纯电子级）。
二、项目必要性与可行性
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作为新兴的电子信息产业基础，世界上集成电路制造业一直是一个高速发展的行业，也带动了包括微电子化学品的相关配套行业的快速增长。在国家系列政策密集出台的环境下，在国内市场强劲需求的推动下，我国集成电路产业迎来发展的加速期，在可以遇见的未来，集成电路将成为支撑自主可控信息产业的核心力量。我国集成电路市场已成为全球第二大市场，随着集成电路和光电产业的不断发展增长，对超净高纯的电子化学品需求量呈现不断上升的态势。2000年至2017年期间，其生产产量均以二位数的增长率在发展。从以上市场分析可以得出，本项目具有现实市场需求，而且会随着中国尤其是长三角地区、珠三角地区电子制造业的不断发展，其市场会不断持续扩大。在电子信息产业使用的湿电子化学品中，超高纯的双氧水与氨水、是使用量较大的品种。为此，国内配套建设高纯电子级双氧水、氨水项目是有十分重要意义的。
本项目选用国内外先进的工艺技术建设超纯电子级双氧水与氨水生产装置，项目建成后将成为国内提供超纯电子级双氧水与氨水的生产基地，填补浙江省内空白。项目所生产高附加值的产品提供给国内、特别是长三角地区及浙江省周边地区快速增长的超大规模集成电路生产行业所用，对长期以来依赖进口的局面将会有较大改观，本项目具有以国产替代进口的重要意义。
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《石油和化学工业“十三五”发展指南》提出了“十三五”我国石化行业发展的主要任务，包括“围绕产品质量档次提升加快技术升级，基础化工产品从工业级向电子级、医药级、食品级方向发展”、“加快发展新能源电池、集成电路等领域配套的电子化学品”等。公司建设年产2万吨电子级双氧水与8千吨电子级氨水项目，符合国家《石油和化学工业“十三五”发展指南》重点发展新材料、电子化学品的方向。
电子化学品是精细化工的重要领域，体现了物资资源消耗少、附加价值高的特点。随着我国经济的快速增长与产品及能源结构的调整，为了推进公司的发展，调整公司的产品结构，增强公司抗风险能力及市场竞争能力，逐步走向精细化工和高科技产业的发展道路。公司建设年产2万吨电子级双氧水与8千吨电子级氨水项目具有十分重要的意义。
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本项目的固废主要是失效的废离子交换树脂（~4.8m3/a）与废过滤器滤芯（23kg/a），集中回收后由公司委托有资质单位处理。
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为了防止噪声污染，本项目设计时采取的控制噪声措施如下：选用低噪声设备，如低噪声风机、水泵和空调机等；对产生高噪声的设备区域，均设隔声、隔音措施；对风机和空调机等设有隔振措施，与风管连接设柔性接头；风机和空调机的风管上设消声器和消声弯头。