重氮萘醌酚醛树脂光刻胶

重氮萘醌-酚醛树脂体系光刻胶

感光性基团邻重氮萘醌基有机化合物+线型甲酚醛树脂+溶剂

特点：特性：分辨率高、台阶覆盖好、对比度好；粘附性差、抗蚀刻能力差、高成本。

原理：使用酯缩醛聚合物（线性酚醛树脂）为感光树脂，以重氮萘醌磺酸酯为光致产酸剂，光解产生磺酸，而酯缩醛聚合物具有高酸解性，在酸的作用下，室温即可分解为小分子片段，该体系用碱水显影时，具有更高的溶解速度和酸解活性，可进一步提高光致蚀刻剂的分辨率。

溶剂可选用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA)，乙二醇乙醚，乙二醇乙醚乙酸酯等，其沸点大约在130℃左右，这有利于预烘工艺中溶剂的快速挥发。

原材料：

（1）光刻胶用线性甲酚-甲醛树脂（本产品是甲酚与甲醛在催化剂作用下缩聚而成的热塑性聚合物，以反应工艺配方的严格设计控制树脂的分子量大小和分布、甲酚异构体比例以及甲撑连接方式。）

基本参数：

应用领域：本品是g-line、i-line光刻胶的关键组分之一，因其优异的热稳定性与抗蚀性，可用于制备高分辨率的树脂图像。

供应商：北京金介特新材料科技有限公司

（2）WL-8014（光刻胶专用酚醛树脂，红棕色）

供应商：濮阳蔚林化工股份有限公司

（3）光致产酸剂（化学增幅型如硫鎓盐，二砜化合物）及重氮萘醌磺酸酯2,1,4-重氮萘醌磺酸酯和2,1,5-重氮萘醌磺酸酯。

供应商：邯郸开发区立业化工有限公司

另一家公司的重氮萘醌磺酸酯（2,3,4,4’-四羟基二苯甲酮-2,1,4-重氮萘醌磺酸酯、2,3,4-三羟基二苯甲酮-2,1,4-重氮萘醌磺酸酯、2,3,4-三羟基二苯甲酮

-2,1,5-重氮萘醌磺酸酯、2,3,4,4’-四羟基二苯甲酮-2,1,5-重氮萘醌磺酸酯）

供应商：常熟市常吉化工有限公司

曝光区域的酸向非曝光区域迁移，解决办法，引入适量的碱添加剂。