洁净室介绍ppt课件
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最新第五章洁净室设计介绍课件ppt
通 过 调 节 表 冷 器 的 冷 冻 水 量
舒适性空调简介
室 外 温 度 补 偿 控 制 原 理
舒适性空调简介
机 器 露 点 温 度 控 制 喷 水 室 喷 水 温 度
舒适性空调简介
风 机 盘 管 控 制 系 统 原 理 图
舒适性空调简介
送 风 温 度 补 偿 控 制
舒适性空调简介
组 合 式 空 调 机 组 夏 季 工 况
常见排风处理设备
普 通 旋 风 除 尘 器
常见排风处理设备
三 种 振 打 清 灰 方 式
常见排风处理设备
系 统 局 部 送 风 系 统
常见排风处理设备
局 部 排 风 系 统
常见排风处理设备
接 受 罩
常见排风处理设备
热 源 上 部 的 接 受 罩
常见排风处理设备
工 作 台 上 的 侧 吸 罩
排风系统常用管材
室内排风系统的处理设备、风管、 附件均依《洁净厂房设计规范》
➢排风系统的风管应采用不燃材料。 ➢排除腐蚀性气体的风管，应采用耐腐
蚀的难烧材料或难燃材料。 ➢附件、保温材料、消声材料和涂料等
均采用不燃材料或难燃材料。
洁净室新风处理系统
✓新风系统处理和分配方法。 ✓新风进行多级过滤处理。 ✓常用的是新风三级过滤，即新风经
舒适性空调简介
定 风 量 露 点 送 风 单 风 道 空 调 系 统
舒适性空调简介
单 风 道 定 风 量 系 统 的 控 制 系 统
舒适性空调简介
变 风 量 单 风 道 空 调 系 统
舒适性空调简介
双 风 道 定 风 量 集 中 空 调 系 统
舒适性空调简介
变 风 量 系 统 的 风 量 控 制 原 理
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室 外 温 度 补 偿 控 制 原 理
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机 器 露 点 温 度 控 制 喷 水 室 喷 水 温 度
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风 机 盘 管 控 制 系 统 原 理 图
舒适性空调简介
送 风 温 度 补 偿 控 制
舒适性空调简介
组 合 式 空 调 机 组 夏 季 工 况
常见排风处理设备
普 通 旋 风 除 尘 器
常见排风处理设备
三 种 振 打 清 灰 方 式
常见排风处理设备
系 统 局 部 送 风 系 统
常见排风处理设备
局 部 排 风 系 统
常见排风处理设备
接 受 罩
常见排风处理设备
热 源 上 部 的 接 受 罩
常见排风处理设备
工 作 台 上 的 侧 吸 罩
排风系统常用管材
室内排风系统的处理设备、风管、 附件均依《洁净厂房设计规范》
➢排风系统的风管应采用不燃材料。 ➢排除腐蚀性气体的风管，应采用耐腐
蚀的难烧材料或难燃材料。 ➢附件、保温材料、消声材料和涂料等
均采用不燃材料或难燃材料。
洁净室新风处理系统
✓新风系统处理和分配方法。 ✓新风进行多级过滤处理。 ✓常用的是新风三级过滤，即新风经
舒适性空调简介
定 风 量 露 点 送 风 单 风 道 空 调 系 统
舒适性空调简介
单 风 道 定 风 量 系 统 的 控 制 系 统
舒适性空调简介
变 风 量 单 风 道 空 调 系 统
舒适性空调简介
双 风 道 定 风 量 集 中 空 调 系 统
舒适性空调简介
变 风 量 系 统 的 风 量 控 制 原 理
洁净室设计培训教程ppt课件
度和湿度， 确保符合设计要求。
照明检测
采用照度计测量洁净室内的照度，确保满足 生产和工作需求。
验收标准与流程
验收标准
根据洁净室的设计要求和相关标准，制定具体的验收标准，如洁净度、温湿度、 噪音、照明等指标的允许范围。
验收流程
首先进行预验收，检查洁净室各项设施是否齐全、运行是否正常；然后进行正 式验收，对洁净室的各项指标进行全面检测，确保符合验收标准；最后出具验 收报告，对洁净室的使用和维护提出建议和要求。
适用于一般洁净室，具有较低的 投资和运行成本。
非单向流
适用于洁净度要求不高的场所， 如辅助用房等。
送风系统设计
送风量确定
根据洁净室级别、面积、高度等因素计算送风量。
送风方式选择
可采用集中式或分散式送风方式，根据实际需求 进行选择。
送风口设计
送风口的位置、形状、尺寸等需根据气流组织形 式进行合理设计。
照明不足
可能原因包括灯具选型不当、灯具布置不合理等。解决方案 包括选用合适的灯具、优化灯具布置、增加辅助照明等。
07
洁净室运行管理与维护保养
运行管理制度建立
1 2
制定洁净室运行管理规范 明确洁净室运行管理的目标、原则、流程和要求， 确保洁净室运行的稳定性和安全性。
建立洁净室运行管理团队 组建专业的洁净室运行管理团队，负责洁净室的 日常运行、监控和维护工作。
洁净室设计培训教程ppt课件
• 洁净室设计概述 • 洁净室环境参数控制 • 洁净室布局与空间规划 • 洁净室气流组织与空气处理 • 洁净室材料选择与装修施工 • 洁净室检测与验收标准 • 洁净室运行管理与维护保养
01
洁净室设计概述
洁净室定义及分类
洁净室定义
照明检测
采用照度计测量洁净室内的照度，确保满足 生产和工作需求。
验收标准与流程
验收标准
根据洁净室的设计要求和相关标准，制定具体的验收标准，如洁净度、温湿度、 噪音、照明等指标的允许范围。
验收流程
首先进行预验收，检查洁净室各项设施是否齐全、运行是否正常；然后进行正 式验收，对洁净室的各项指标进行全面检测，确保符合验收标准；最后出具验 收报告，对洁净室的使用和维护提出建议和要求。
适用于一般洁净室，具有较低的 投资和运行成本。
非单向流
适用于洁净度要求不高的场所， 如辅助用房等。
送风系统设计
送风量确定
根据洁净室级别、面积、高度等因素计算送风量。
送风方式选择
可采用集中式或分散式送风方式，根据实际需求 进行选择。
送风口设计
送风口的位置、形状、尺寸等需根据气流组织形 式进行合理设计。
照明不足
可能原因包括灯具选型不当、灯具布置不合理等。解决方案 包括选用合适的灯具、优化灯具布置、增加辅助照明等。
07
洁净室运行管理与维护保养
运行管理制度建立
1 2
制定洁净室运行管理规范 明确洁净室运行管理的目标、原则、流程和要求， 确保洁净室运行的稳定性和安全性。
建立洁净室运行管理团队 组建专业的洁净室运行管理团队，负责洁净室的 日常运行、监控和维护工作。
洁净室设计培训教程ppt课件
• 洁净室设计概述 • 洁净室环境参数控制 • 洁净室布局与空间规划 • 洁净室气流组织与空气处理 • 洁净室材料选择与装修施工 • 洁净室检测与验收标准 • 洁净室运行管理与维护保养
01
洁净室设计概述
洁净室定义及分类
洁净室定义
《洁净室设计》课件
照明设计： 采用合适的 照明方式， 如LED照明、 荧光灯照明 等，保证生 产环境的舒 适度和安全 性
安全设施： 设置必要的 安全设施， 如消防设施、 安全通道等， 保证生产环 境的安全性
环保要求： 满足环保要 求，如废气 处理、废水 处理等，保 证生产环境 的环保性
物流通道设计：合理规划物流通道，确保物流畅通 物流设备选择：选择合适的物流设备，提高物流效率 物流管理：建立完善的物流管理体系，确保物流安全 物流监控：设置物流监控系统，实时监控物流情况
人员管理：制定严格的人员管理规定，确保人员进出洁净室不会对环境造成污染
功能分区： 将洁净室划 分为不同的 功能区域， 如生产区、 检验区、仓 储区等
气流组织： 采用合理的 气流组织方 式，如单向 流、非单向 流等，保证 洁净室的洁 净度
设备布置： 根据生产工 艺和设备要 求，合理布 置设备，保 证生产效率 和产品质量
● 洁净度：指空气中悬浮粒子的浓度 ● 温度：指洁净室内的温度范围 ● 湿度：指洁净室内的湿度范围 ● 压力：指洁净室内的压力范围 ● 气流速度：指洁净室内的气流速度 ● 噪音：指洁净室内的噪音水平 ● 照明：指洁净室内的照明要求 ● 静电控制：指洁净室内的静电控制要求 ● 防火：指洁净室内的防火要求 ● 防震：指洁净室内的防震要求 ● 防尘：指洁净室内的防尘要求 ● 防辐射：指洁净室内的防辐射要求 ● 节能：指洁净室内的节能要求 ● 环保：指洁净室内的环保要求 ● 安全：指洁净室内的安全要求
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汇报人：
洁净室的空气净化 系统
空气过滤器：过滤 空气中的颗粒物和 微生物
空气净化器：去除 空气中的有害气体 和异味
空气加湿器：调节 空气湿度，保持室 内舒适
空气循环系统：确 保空气流通，防止 污染物聚集
无尘车间知识详解ppt课件
24
人的污染—发菌量：
1、人员产生的污染：
（1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片
皮肤（平均大小为30*60*3微米）
（2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。
（3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。
（4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。
躯体一般活动时的发菌量为 150~1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900~2500个/min.人
CR
HEPA filter
FAN Filter HEPA/ ULPA
工作区域
1μm
0.5μm
比色法效率测试: 比色法效率也称ASHRAE（美国采暖、制
冷与空调工程师协会标准）效率，试验尘源为 高浓度标准人工尘，测量尘源为大气尘。“量 “为测量阶段采样滤纸的通光量。每经过一段 发尘试验，测量不发尘时过滤器前后采样滤纸 通光量的差别，用特定计算方法得出所谓”过 滤效率“。比色法效率是试验全过程各测量阶 段效率依发尘阶段发尘量的加权平均值。
40
13
≥1000 ～〈2000
400
100
32
2000
800
200
63
23
洁净人员管理
发尘源及量：
1、产品及设施 无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流
入室内； 产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，
可忽略； 由于金属墙壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，
冷 却 盘 管
加 送 初中 Ｈ 逆 热 风 级级 Ｅ 止 盘 机 滤滤 Ｐ 风 管 组 网网 Ａ 门
人的污染—发菌量：
1、人员产生的污染：
（1）皮肤：人类通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，人类每分钟脱落约1000片
皮肤（平均大小为30*60*3微米）
（2）头发：人类的头发（直径约为50~100微米）一直在脱落。
（3）口水：包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。
（4）日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。
躯体一般活动时的发菌量为 150~1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900~2500个/min.人
CR
HEPA filter
FAN Filter HEPA/ ULPA
工作区域
1μm
0.5μm
比色法效率测试: 比色法效率也称ASHRAE（美国采暖、制
冷与空调工程师协会标准）效率，试验尘源为 高浓度标准人工尘，测量尘源为大气尘。“量 “为测量阶段采样滤纸的通光量。每经过一段 发尘试验，测量不发尘时过滤器前后采样滤纸 通光量的差别，用特定计算方法得出所谓”过 滤效率“。比色法效率是试验全过程各测量阶 段效率依发尘阶段发尘量的加权平均值。
40
13
≥1000 ～〈2000
400
100
32
2000
800
200
63
23
洁净人员管理
发尘源及量：
1、产品及设施 无尘室内的发尘量，来自设备的可考虑通过局部排风排除，不流
入室内； 产品，材料等在运送过程中的发尘与人体发尘量相比，一般极小，
可忽略； 由于金属墙壁（彩钢夹心板）的应用来自建筑表面的发尘也很少，
冷 却 盘 管
加 送 初中 Ｈ 逆 热 风 级级 Ｅ 止 盘 机 滤滤 Ｐ 风 管 组 网网 Ａ 门
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热溶胶
.
过滤器去除灰尘的效率如何呢？（举例）
名称 HEPA高效 ULPA超高效
灰尘粒径 0.30μm 0.15μm
捕集率 99.97～99.999％
99.9995%以上
.
灰尘又是如何产生的呢？
人员因素造成
空气中漏入 原料中带入
78 35
25 设备运转产生
25
生产过程产生 ——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》
对生产设备的发热、排热进行 循环风量较少 分别处理，可以降低运行成本 运行成本最低
设备费用
高
中
低
.
洁净室的洁净度是如何确定的？
1000000
Class1 Class10 Class100 Class1000
100000
颗粒数量（个）
10000
1000
100
10
1
0
0
Class 1：大于0.5微米的粒子少于1个 Class 10：大于0.5微米的粒子少于10个 Class 100：大于0.5微米的粒子少于100个 Class 1000：大于0.5微米的粒子少于1000个
.
高架地板 架子格
22 m (74 ft)
排风扇
半导体工厂洁净室示意图
独立过滤风扇 天花吊顶系统
水泥覆盖 防水保温 镀锌浪板
静压箱
钢结构
微环境
（Class 1,SMIF
排风扇
4.8 m 1.3 5.5 m
5.2 m
5.2 m
Cl. 100 turbulent
Level 3
楼梯间
0.6 m
回风
Level 2
易为 利 控非 用 制单 风 大向 管 范流 上 围洁 送 的净 侧 空室 排 气 流 动
Cleanroom洁净室
但较适为利
必大合混用
须热有合风
确负较流管
保荷高洁和
架要洁净地
空求净室板
地的度 上
板洁和 送
高净
下
度室
回
Cleanroom洁净室
但适易 利 必合形 用 须 有成 确 较垂 保高直 和 架洁单 地 空净向 板 地度流 上 板要 送 高求 下 度的 回
Duct 风管
AHU 空调机
灰尘是如何去除的呢？
波浪型隔离体 过外框
HEPA Filter高效过滤器——
High Efficiency Particulate Air Filter
热溶胶（多处加工）
外框 褶皱状滤纸
ULPA Filter高效过滤器—— Ultra Low Penetration Air Filter
• 如果，我们把自己置身于微米世界之中，我想大家就不 难亲身感受到在世界第一大洋——“太平洋中游弋的一 条鲣鱼”是一种什么样的感觉了吧。
.
尘埃粒子直径的示意图
0.0001 0.001
0.5 μm
0.01
0.1
1.0
10
100 1000 10000
香烟的烟 颜料
水泥 人的头发
烟
植物孢子
重工业发出的粒子
硅砂
花粉
病毒
细菌
化学物质
尘埃粒直径（单位：μm） .
洁净室的洁净度是如何维持的？
Chamber 回风静压室
Fan Filter Unit 风机过滤单元
Fab 生产层
Sub-Fab 下技术层
Cleanroom 洁净室
Chamber 回风静压室
Shaft 回风井道
Cooling Coil 干式冷盘管
.
0 0.01
0.1
0.5 1
颗粒直径（μm）
1立方英尺为单位空间
Class 10000：大于0.5微米的粒子少于10000个
直径0.5微米的尘埃粒子为比较标准
.
Class10000 10
在太平洋中游弋的一条鲣鱼
• 在某一次研讨会上，讲师说到净化厂房的净化度时，举 了 “在太平洋中游弋的一条鱼”的例子来比喻“浮游在 空气中的灰尘”，其寓意是要让大家亲身感觉到半导体 洁净室方面的那种极其洁净的程度。那么，不妨以ISO 1 级的洁净度为例来计算一下就知道了。
洁 净 室
.
FFU
适不直 合能接 洁形利 净成用 度同空 要一调 求方箱 不向侧 高气送 的流侧 洁，回 净是 室乱
流
洁净室的构造是怎样的？
比较项目
全面垂直层流方式
部分层流方式
乱流方式
洁净室
气流方式 流程图
洁净度
1～1000级
室内全部为高洁净度区域
易受作业人员的活动而导 致洁净度下降
换气次数
400－500次/h、 下降风速0.45m/s
.
洁净室的四原则
不将灰尘带入 不让灰尘产生 不让灰尘堆积 迅速排除灰尘
1、过滤器本身及外框无漏风 2、洁净室需保持一定的正压 3、作业人员需穿洁净服并经风淋 4、带入的工具、材料等必须擦洗干净
1、正确穿着洁净服 2、不使用容易发尘的物品及材料 3、减少不必要的人员走动 4、不用的物品严禁带入
什么是洁净室？
洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它 的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内 其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
——摘自GB50073-2001《洁净厂房设计规范》
由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越 小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器 件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染 源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这 些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率 和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的 环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。
• 洁净度1级的上限是1m3空气中0.1μm粒子＜10个，即 浮游粒子在空气中的体积比为5.24×1/1021。根据世界 地理知识，可查到太平洋的面积为16500万km2、平均 深度为4282m、体积为70700万km3。
• 因此，如果用与ISO 1级洁净度相同的粒子比例进行换算， 70700万km3的5.24×10-21仅3.7ℓ , 3.7ℓ也就大约相当 于一条鲣鱼的体积。
1～10,000级
洁净通道内为高洁净度区域
可以减少作业人员对洁净度的 影响
10,000～100,000级
室内洁净度不高
易受作业人员的活动而导 致洁净度下降
通道内200－400次/h， 下降风速0.25-0.45m /s； 其它区域100－200次/h
20－50次/h
运行成本
生产设备的发热即为空调 的热负荷，运行成本最高
0.0m
Lower Subfab
Level 1
10 m (33 ft)
补充气体
特殊气体气柜 回风区
72 m (236,2 ft)
工艺真空管路
工艺原料主供应系统
人员操作区 （Class 100)
.
工艺原料供应主管路
10 m (33 ft)
洗涤塔
钢结构
无尘电梯
洁净室的空调系统及其气流组织形式
Cleanroom洁净室