朱荻——微纳加工技术-3
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
6
AFM lithography: grooves in Si with a width of about 30nm and a depth of 45nm
掩膜、光栅
7
8
9
四 结论与展望
Fra Baidu bibliotek
10
制造技术的精密化与微细化
微细放电 (Micro EDM) 微细电解 (Micro ECM) 精密电铸 (Micro Electroforming) LIGA和UV-LIKE ELID精密磨削 微细快速成型 (Micro Rapid Prototyping) 微细铣削 (Micro Milling) 挤压珩磨 (Extrude Hone)
基于SPM的纳米加工
11
罗雷尔，1993年，7th STM SYMP
许多人认为纳米科技仅仅是遥远的未来基础科学的事情， 而没有什么实际意义。但我确信纳米科技现在已具有与 150年前，微米科技所具有的希望和重要意义。150年前， 微米作为新的精度标准、并成为工业革命的技术基础，最 早和最好学会并使用微米技术的国家都在工业发展中占据 了巨大的优势。同样，未来的技术将属于那些明智地接受 纳米作为新标准、并首先学习和使用它的国家。不幸的是， 目前对这一技术新领域保持和怀疑态度的还大有人在。我 们应当记住，微米技术曾同样地被认为对使用牛耕地的农 民无关紧要。的确，微米与牛和耕犁毫无关系，但它却改 变了耕作方式，带来了拖拉机。
5
STM deposit This lithographic capability was related to a phenomena that occurred when a gold tip had a short (µ sec voltage pulse applied to it. This would deposit a small mound of gold atoms on the substrate. The mounds each contain 100-200 atoms and can be deposited in a pattern (a globe showing the western hemisphere) 西半球：4V600纳秒脉冲，原子从金针 尖发射，在金样品留下直径10纳米高 1-2纳米小丘。地图直径1微米。
12
敬请提出宝贵意见
13
AFM工作原理 通过隧道电流检 测力敏元件的位 移来实现力敏元 件探针尖端与表 面原子之间的排 斥力（10-8-10-6 牛顿）的监测， 进而得到表面型 貌像。
1
2
调节针尖位置和偏压，将氙原子吸附后移动，每个字母长 5纳米。（超高真空，超低温）
3
4
在石墨表面通过搬迁碳原子绘制 出的世界上最小的中国地图
AFM lithography: grooves in Si with a width of about 30nm and a depth of 45nm
掩膜、光栅
7
8
9
四 结论与展望
Fra Baidu bibliotek
10
制造技术的精密化与微细化
微细放电 (Micro EDM) 微细电解 (Micro ECM) 精密电铸 (Micro Electroforming) LIGA和UV-LIKE ELID精密磨削 微细快速成型 (Micro Rapid Prototyping) 微细铣削 (Micro Milling) 挤压珩磨 (Extrude Hone)
基于SPM的纳米加工
11
罗雷尔，1993年，7th STM SYMP
许多人认为纳米科技仅仅是遥远的未来基础科学的事情， 而没有什么实际意义。但我确信纳米科技现在已具有与 150年前，微米科技所具有的希望和重要意义。150年前， 微米作为新的精度标准、并成为工业革命的技术基础，最 早和最好学会并使用微米技术的国家都在工业发展中占据 了巨大的优势。同样，未来的技术将属于那些明智地接受 纳米作为新标准、并首先学习和使用它的国家。不幸的是， 目前对这一技术新领域保持和怀疑态度的还大有人在。我 们应当记住，微米技术曾同样地被认为对使用牛耕地的农 民无关紧要。的确，微米与牛和耕犁毫无关系，但它却改 变了耕作方式，带来了拖拉机。
5
STM deposit This lithographic capability was related to a phenomena that occurred when a gold tip had a short (µ sec voltage pulse applied to it. This would deposit a small mound of gold atoms on the substrate. The mounds each contain 100-200 atoms and can be deposited in a pattern (a globe showing the western hemisphere) 西半球：4V600纳秒脉冲，原子从金针 尖发射，在金样品留下直径10纳米高 1-2纳米小丘。地图直径1微米。
12
敬请提出宝贵意见
13
AFM工作原理 通过隧道电流检 测力敏元件的位 移来实现力敏元 件探针尖端与表 面原子之间的排 斥力（10-8-10-6 牛顿）的监测， 进而得到表面型 貌像。
1
2
调节针尖位置和偏压，将氙原子吸附后移动，每个字母长 5纳米。（超高真空，超低温）
3
4
在石墨表面通过搬迁碳原子绘制 出的世界上最小的中国地图