06气体及化学品供应系统
实验室常用系统分析-供气、供水和综合智能(标准版)
实验室常用系统分析-供气、供水和综合智能（标准版）
实验室是进行科研和教学活动的重要场所，其设备和环境对实验结果具有直接影响。
为了确保实验室的正常运行，实验室供气、供水和综合智能系统的设计与分析至关重要。
一、供气系统
1. 实验室供气系统主要包括：压缩空气、氮气、氧气、氢气等。
2. 供气系统的设计应满足实验室设备对气体的需求，同时考虑气体的安全性、稳定性及经济性。
3. 供气系统应配备压力表、流量计、气体分析仪等检测设备，以确保气体质量和供应量的准确性。
4. 实验室应定期对供气系统进行检查和维护，确保供气系统的安全运行。
二、供水系统
1. 实验室供水系统主要包括：饮用水、实验用水、冷却用水等。
2. 供水系统的设计应满足实验室设备对水的需求，同时考虑水质、水压及经济性。
3. 供水系统应配备水表、水质分析仪等检测设备，以确保水质质量和供应量的准确性。
4. 实验室应定期对供水系统进行检查和维护，确保供水系统的安全运行。
三、综合智能系统
1. 综合智能系统包括实验室环境监控、实验设备控制、实验室安全监控等。
2. 综合智能系统应具备实时监测、数据处理、报警等功能，以保证实验室的正常运行。
3. 综合智能系统应能对实验室内的气体、水质、温度、湿度等环境参数进行监测和控制。
4. 实验室应定期对综合智能系统进行检查和维护，确保系统的安全、稳定、高效运行。
实验室供气、供水和综合智能系统的分析与设计是实验室建设的重要环节。
只有充分考虑实验室的需求和特点，才能确保实验室的正常运行，为科研和教学活动提供有力支持。
实验室供气系统
实验室供气系统一、实验室用气体种类实验室常用气体有精密仪器使用的高纯气体、化学反应实验使用的实验气体（氯气）及辅助实验使用的煤气、压缩空气等，气相色谱、气质联用、原子吸收、ICP等精密仪器使用的高纯气体主要有不然气体（氮气、二氧化碳）、惰性气体（氦气、氩气）、易燃气体（氢气、乙炔）、助燃气体（氧气）等。
实验室用气主要由气体钢瓶提供，个别气体可有气体发生器提供。
常用钢瓶外部颜色区分及标志：氧气瓶（天蓝色黑字）、氢气瓶（深绿色红字）、氮气瓶（黑色黄字）、压缩空气瓶（黑色白字）、乙炔瓶（白色红字）二氧化碳瓶（绿白色黑字）、氩气瓶（灰色绿字）、氦气瓶（棕色）。
二、实验室供气方式实验室供气系统按其供应方式可分为分散供气与集中供气。
（1）分散供气是将气瓶或气体发生器分别放在各个仪器分析室，接近仪器用气点，使用方便，节约用气，投资少；但由于气瓶接近实验人员，安全性欠佳，一般要求采用防爆气瓶柜，并待报警功能与排风功能。
报警器分为可燃性气体报警器及非可燃性气体报警器。
气瓶柜应设有气瓶安全提示标志，气瓶安全固定装置。
（2）集中供气是将各种实验分析仪器需要使用的各类气体钢瓶，全部放置在实验室以外独立的气瓶间内，进行集中管理，各类气体从气瓶间以管道输送形式，按照不同实验仪器的用气要求输送到每个实验室不同的实验仪器上。
整套系统包括气源集合压力控制部分（汇流排）、输气管线部分（EP级不锈钢管）、二次调压分流部分（功能柱）以及与仪器连接的终端部分（接头、截止阀）。
整套系统要求具有良好的气密性、高洁净度、耐用性和安全可靠性，能满足实验仪器对各类气体不间断连续使用的要求，并且在使用过程中根据实验仪器工作条件对整体或局部气体压力、流量进行全量程调整以满足不同的实验条件的要求。
集中供气可实现气源集中管理，远离实验室，保障实验人员的安全；但供气管道长，导致浪费气体，开启或关闭气源要到气瓶间，使用欠方便。
三、气瓶间及气瓶的安全规范（1）气瓶应专瓶专用，不能随意改装其他种类的气体。
气体动力专业知识08-化学品供应系统的介绍及应用
化学品供应及回收系统
目录
1、化学品系统综述 2、化学品系统的流程介绍
中型和小型的储罐供给直接由磁力泵(MAGNETIC PUMP)加压经终端过滤 （FINAL FILTER）后送至厂房内经TB(Tee Box)、EB(End Box)、VMB（Valve Multifold Box）、送至化学品的各个使用点（POU）。
见下图：
划
SPARE
POU-1
TB
TB
EB
化学品输送P&ID图（Storage Tank）
划
1、化学品系统综述：
2）化学品回收系统：光刻胶Resist、STRIPPER剥离液(EKC、SST-A2、ORP、 N311、T106、PGMEA、PGME)、异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等
酸、碱液体的供给系统管路采用双套管：内管和外套管。内管采用PFA管， 用于输送化学药品；外套管采用透明的PVC（CLEAR-PVC）管套于内管外部，用于 保护、承托内管和防止药液自内管泄漏时产生的危害。
供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂质、微粒子 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案 供应高纯度化学品以显影芯片图案 供应高纯度化学品以为化学气相沉积前置反应物 供应高纯度化学品以研磨芯片 供应高纯度化学品以清洗制程设备零配件
划
1、化学品系统综述：
化学品系统包括化学品供应系统和化学品回收系统，具体使用的化学品种类 根据每个FAB产品的不同而不同: 1） Chemical Dispensing System化学品供应系统：
化学实验室集中供气系统SICOLAB
化学实验室集中供气系统SICOLAB
集中供气系统是一种被人们越来越普遍使用的一种供气方式。
它主要是由气源，切换装置，调压装置，终端用起点，监控及报警装置组成。
大多数实验室中的各种分析仪器如色谱仪或质谱仪都需要连续使用载气和
燃料气，因此实验室集中供气系统成为实验室设备中高纯气体的可靠连续的供
应源。
将主要的气体源如钢瓶、杜瓦瓶和液体储槽放置在工作区外的指定区域，然后将气体通过管道系统输送至厂房内，并可通过安装在工作台上的使用点二
级减压器方便地调节压力和流量。
1、人体工程学：集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处，这
样的话可以更合理的设计工作场所。
2、安全性：钢瓶储存区的合理布置可以保持可燃性容器和助燃性容器间
的安全间距。
3、纯度：可以保持气体的指定纯度，钢瓶更换频率的减少导致杂质进入
系统的机率降低。
4、经济性：建一个集中的气瓶间可以节省有限的实验室空间，更换钢瓶
时不需要切断气体，保证气体的连续供应。
此种供应方式最终会减少运输费用，减少退还给气体公司的空瓶中的余气量，以及良好的钢瓶管理。
浅谈气体化学品系统的设计
换钢瓶时,Pigtail 还要有一些PN 2流出。
第三,在整个盘面构造上,应降低污染和腐蚀情况的出现几率。
第四,整个管路构造需要与ASTM 标准相符。
第五,需要对标准结构的部件进行使用,避免死角问题出现。
另外,在气瓶柜设计上,需要遵循以下原则,首先是整个气瓶柜面的厚度要大于2.7mm,而且所有材料必须具备非易燃特性。
其次,整个气瓶柜表面不能出现震动情况,锋利的边缘也可能误伤操作人员。
在气瓶柜的门以及管路线通道设计上,还要避免泄露情况发生。
最后,整个气瓶柜在设计上需要保持一个良好的密封特性[2]。
2.2 化学品供应系统的设计要求化学品供应系统一般主要包括:槽车、CCB、Storage Tank、Day Tank、CDU、VMB,最后供应给车间内机台使用。
化学品供应单位(CDU)有如下要求:第一,柜子顶部装设高效空气过滤器,并应与单元门有自动联动功能,还应设排气连接口并与相应的排气处理系统连接;第二,应设有清洗和吹扫槽车快速接头的纯水枪和氮气枪;第三,可燃溶剂化学品供应单元应设防静电接地,补充化学品时,静电接地线应与化学品桶或槽车连接; 第四,供应单元的桶槽应设计氮气密封;第五,供应单元的出口应设有自动和手动阀,自动阀的信号应连接监控系统,并应根据工艺设备的需求而开关,同时应设有联动的紧急按钮装置;第六,供应单元的桶槽应设置液位探测计和高低液位报警装置,同时宜设置可目视的液位计;第七,应设紧急停止按钮,当系统流量过大或不符合工艺要求时,系统应自动停机,并应在启动时发出警报声及红光闪烁;第八,可燃溶剂化学品单元应设有热感应及火焰探测器,探测器信号应与消防系统连接。
化学品的储存、分配间的液体储罐(Storage Tank、Day Tank),应设置溢出保护设施,并应符合规范设置防火堤、隔堤。
2.3 化学品回收系统设计要求2.3.1 一般规定在化学品回收系统构建过程中,需要将气体排放物的性质明确出来,决不能将发生反应的两种或两种以上的物质放在一个系统之中进行回收。
最新化学品供应系统介绍全解课件PPT
脾阴虚证
证同
大便秘结
候 异 小便频数，饮食如常 形体消瘦，皮肤干
燥，肌热，口舌干
燥，饮食不消化。
病同 机异
脾阴不足
胃热脾津伤
脾阴不足
治法
泄热润燥通便
滋养脾阴
脾约证
阳明腑实证
证同
大便秘结
候 异 小便频数，虽数日不 腹胀满疼痛，潮热或
大便，却仅腹微满而 谵语，或热结旁流
不痛，或者无所苦
病同 机异
五脏病
• 一、肺病 • 肺中风者，口燥而喘，身运而重，冒而肿胀。（1） • 肺中寒，吐浊涕。（2） • 肺死藏，浮之虚，按之弱如葱叶，下无根者，死。
（3） • 论述肺中风、中寒的症状和肺死脏的脉象。
五脏病
• 二、肝病
• 肝中风者，头目目闰，两胁痛，行带伛，令人嗜甘。 （4）
• 肝中寒者，两臂不举，舌本燥，喜太息，胸中痛， 不得转侧，食则吐而汗出也（5）。
黄灯闪烁 STANDBY
更换酸桶
按下 SILENCE 消音键
更换完毕点击屏幕 “更换确认”
红灯闪烁 警报声响
DRUM EMPTY
完毕
单 桶 更 换 步 骤
5. 系统的操作和维护
双 桶 更 换 步 骤
详见操作说明书(以下为酸桶更换步骤 )
按下 POWEN ON 送电
设备红灯闪烁
点击屏幕 “切换配置”菜单
五脏病
• 四、脾病（13－15） • 脾中风者，翕翕发热，形如醉人，腹中烦重，皮目瞤
瞤而短气。 • 脾死藏，浮之大坚，按之如覆杯洁洁，状如摇者，死 • 趺阳脉浮而涩，浮则胃气强，涩则小便数，浮涩相搏，
大便则坚，其脾为约，麻子仁丸主之。 • 论述脾中风症状、脾死脏脉象和脾约的病机与证治。
化学品供应系统介绍
化学品供应系统介绍首先，化学品供应系统包括化学品生产环节。
生产环节主要包括原材料采购、生产过程控制、质量检测等。
在原材料采购环节，系统需要与供应商建立合作关系，确保原材料的质量符合要求。
生产过程中，系统需要进行严格的控制，确保产品的稳定性和一致性。
质量检测环节是确保产品质量的重要环节，需要进行产品的成分分析和性能测试，确保符合相关要求。
其次，化学品供应系统还包括化学品储存和运输环节。
储存环节需要提供合适的储存设施，确保化学品的安全储存。
储存设施需要具备防火、防爆和防泄漏等功能，以减少事故发生的可能性。
运输环节需要选择合适的运输方式和工具，确保化学品的安全运输。
运输过程中，需要进行适当的包装、标识和分类，以确保运输过程中的安全性。
此外，化学品供应系统还包括销售和使用环节。
销售环节需要与客户建立良好的合作关系，确保及时供应化学品，并提供技术支持和售后服务。
使用环节需要提供化学品使用的指导和安全操作规程，以确保用户正确使用化学品，并防止事故发生。
在化学品供应系统中，安全是最重要的考虑因素之一、系统需要采取一系列措施，确保化学品在生产、储存、运输和使用过程中的安全性。
这包括制定和执行安全管理制度，培训化学品操作人员，建立事故应急预案等。
对于危险化学品，还需要进行特殊的管理和控制，包括极易燃、易爆、腐蚀等危险特性的化学品，需要在储存和运输过程中采取额外的安全措施。
此外，系统还需要负责化学品的废弃物处理，确保其对环境的影响最小化。
综上所述，化学品供应系统是一个涉及多个环节的系统，包括化学品生产、储存、运输和销售等。
该系统需要确保化学品的质量安全，满足用户需求，并保护环境和人类健康。
安全管理、信息化管理和追溯体系是化学品供应系统的重要组成部分。
随着科技的进步，化学品供应系统将更加完善，提高化学品的生产、运输和使用的安全性和效率。
化学品供应系统介绍
PLC/模块
PLC S7-200
3.化学品供应系统功能简介绍
4. 系统的通讯和控制
系统的通讯和控制分为内部和外部：内部即触摸屏和PLC的通讯连接,液位侦测 器/泄漏侦测器和PLC的通讯连接.电磁阀和PLC的通讯连接.VMB继电器和PLC的 通讯连接.
外部通讯主要是VMB继电器及端子和Tool设备控制盘相连接. 当Tool设备需要供液会发出Demand需液信号,VMB继电器和CDS接收到信号 会通过PLC控制将化学品自动供应的Tool 设备.
5. 系统的操作和维护
详见操作说明书(以下为酸桶更换步骤 )
按下 POWEN ON 送电
设备红灯闪烁
按下 RESET 复位键
黄灯闪烁 STANDBY
更换酸桶
按下 SILENCE 消音键
更换完毕点击屏幕 “更换确认”
红灯闪烁 警报声响
DRUM EMPTY
完毕
单 桶 更 换 步 骤
5. 系统的操作和维护
完毕
6. 安全操作与注意事项
安全操作需要注意以下几点: 1. 对设备的构造和操作必须熟悉和了解,特别是更换酸桶的步骤. 2. 操作人员需要了解每种化学品的化学和物理性质,可要求化学品供应商提供 MSDS资料. 3. 配备齐全的防护装置如:化学品防护服、过滤器、防护镜、PVC手套、靴子、 防护头盔、吸酸棉、PH试纸、葡萄糖酸钙、 塑料袋(主要对HF)等防护用品. 4. 操作人员需要定期进行培训和教育训练,强化安全防护意识. 5. 制订紧急应变流程,如有紧急情况可依照紧急应变流程进行处理.
化学品供应系统介绍
目录
▲ 1、化学品供应系统概述 ▲ 2、系统的组成和配件介绍 ▲ 3、化学品供应系统功能简介 ▲ 4、系统的通讯和控制 ▲ 5、系统的操作和维护 ▲ 6、安全操作与注意事项
化学品供应系统介绍
点击屏幕 “切换配置”菜单
双 桶 更 换 步 骤
按下 POWEN ON 送电 按下 SILENCE 消音键 设备红灯闪烁 输入密码 按”ENT”键
按下 RESET 复位键
红灯闪烁 警报声响
点击液桶切换 按下”是”或”否”
黄灯闪烁 STANDBY
DRUM EMPTY
按是将会在1号桶 和2号桶之间切换
完毕
6. 安全操作与注意事项
安全操作需要注意以下几点: 1. 对设备的构造和操作必须熟悉和了解,特别是更换酸桶的步骤. 2. 操作人员需要了解每种化学品的化学和物理性质,可要求化学品供应商提供 MSDS资料.
3. 配备齐全的防护装置如:化学品防护服、过滤器、防护镜、PVC手套、靴子、 防护头盔、吸酸棉、PH试纸、葡萄糖酸钙、 R
PLC/模块
PLC S7-200
3.化学品供应系统功能简介绍
4. 系统的通讯和控制
系统的通讯和控制分为内部和外部：内部即触摸屏和PLC的通讯连接,液位侦测 器/泄漏侦测器和PLC的通讯连接.电磁阀和PLC的通讯连接.VMB继电器和PLC的 通讯连接. 外部通讯主要是VMB继电器及端子和Tool设备控制盘相连接. 当Tool设备需要供液会发出Demand需液信号,VMB继电器和CDS接收到信号 会通过PLC控制将化学品自动供应的Tool 设备.
化学品供应系统介绍
目录
▲ 1、化学品供应系统概述
▲ 2、系统的组成和配件介绍
▲ 3、化学品供应系统功能简介
▲ 4、系统的通讯和控制 ▲ 5、系统的操作和维护 ▲ 6、安全操作与注意事项
1. 化学品供应系统概述
本化学品供应系统共有5套及VMB 9个,TEE BOX 4个,分别是:
实验室供气系统和气体储存安全
实验室供气系统和气体储存安全实验室供气系统和气体储存是实验室运行中至关重要的环节。
正确使用和维护供气系统以及储存气体的安全是保证实验室工作顺利进行的基础。
本文将就实验室供气系统和气体储存安全进行探讨，提供一些实用的建议。
一、供气系统的设计与安装实验室供气系统应符合一定的设计与安装标准，以确保气体的安全供应。
以下是供气系统设计和安装的几个关键要点：1. 管道材质选择：供气系统常用的管道材质包括不锈钢、铜和塑料等。
针对不同气体，选用不同的管道材质，以确保其与气体之间的兼容性。
2. 管道布局设计：合理的管道布局能够减少过长的管道长度，降低气体压力损失和泄漏的风险。
确保管道直线、无折角，避免过多的分支和连接。
3. 安全阀与减压器：在供气系统中设置安全阀和减压器能够避免管道过高的压力，确保供气系统的安全工作。
4. 气体泄漏检测装置：在供气系统中安装气体泄漏检测装置，能够及时发现和处理气体泄漏情况，有效防止潜在的安全隐患。
二、气体储存的安全管理实验室中的气体储存需要进行一系列的安全管理措施，以确保气体的储存和使用过程中不发生意外事故。
以下是气体储存的几点安全管理建议：1. 储存容器的选择与标识：选择符合标准的储存容器，并在容器上正确标识气体的名称、性质和储存压力等信息，以防止混淆和误用。
2. 储存环境的安全控制：确保储存气体的环境通风良好，避免气体积聚和开放火源接触，防止气体瓶发生爆炸或泄漏。
3. 定期检查与维护：定期对储存容器进行检查，确保其完好无损；检查压力表和安全装置，确保其正常工作；及时更换老化或损坏的储存容器。
4. 安全储存区域划分：将气体储存区域划分为不同的区域，根据气体的性质和危险级别进行分类储存，并设置相应的安全措施和防护设施。
三、气体使用的注意事项实验室中的气体使用过程中需要注意一系列的安全事项，以确保实验人员和设备的安全。
以下是气体使用的几点注意事项：1. 使用前的检查：在使用气体之前，检查气体管道和设备是否正常运行，确保接口无泄漏，阀门关闭情况下进行连接。
气体动力专业知识38-化学品供应系统施工技术
划
3、化学品供应管道安装技术
d.阀门粘接：PVC阀门粘接时慎防胶水流入密封面，影响止阀密封，损坏泵浦。 e.预留阀口：须安装盲板，防止泄漏发生。 f.地排口：做好防腐防渗，安装地漏，防止堵塞。 3）管架： a.管架布设：管架尽可能系统整体设计，弯头处须有可靠固定； b. 管架安装须拉线定位，以保证水平及中心在同一轴线上。 c. 管架涂装：厂区管道：碳钢型材制作，红丹底漆两道，酚醛面漆两道；
a. 配药与储存部分的主要设备有储药槽、输送泵和搅拌设备等， 其主要功能 是配药和储存药。
b. 配药与存储部分：依照化学品特性，将本系统分成酸性溶液、碱性溶液、氧 化性溶液，将三类溶液分房间隔离防治。以免酸碱溶液挥发混合。 3)输送部分 输送系统主要是泵和管道、阀门及相应的控制部分，以完成药剂从一处到达另一 处的功能。设计的目标是实现自动供药，防止管路振动与泄露。当发生紧急情况 时，能及时地、就近地关停输送泵，切断管路系统。
防腐涂装: a.设备底架为碳钢涂环氧树脂； b.平台钢架 c.支架补油漆时，已安装标签贴胶带防止油漆污染。
划
3、化学品供应管道安装技术
1）管道布置： a.管路间距：在满足阀门安装及保温操作的前提下，尽可能紧凑。 b.管路走向：尽量集中，利于固定，减少交叉，防止虹吸，不影响动线。 2） 管道安装： a.不锈钢管：用氩弧焊，并防止焊接变形；采用电焊的用白垩粉阻止焊碴烫伤管 外壁。 b.PP、PVDF管：热熔焊接，直管联接对焊，管件承插焊。焊接操作须按G+F技术 规范进行。 c.PVC管：压力管粘接后焊接。直管扩口应和介质流向相逆；焊接速度不宜过慢， 以避免PVC管受热弯曲。可利用管件增加短管处的刚性。
实验室气体供应流程
实验室气体供应流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!实验室气体供应流程一、准备工作阶段在进行实验室气体供应的安排之前，有一系列关键的准备工作必须完成。
化学品供应系统简介
------------------
-----------------H2SO4+H2O2 ? H2SO4+ H2O
------------------
------------------
系统之基本要求
? 操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑 ? 化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品
Provided By NOVA
1.箱体以PP制成 2.CPVC外盖 3.箱体与外盖间以
O-Ring密合 4.管件以PFA制成
一般酸碱类适用
VMB之构造
inlet
To Tools
For The Future Use
手动阀
Exhaust
气动阀
1 234
CDA inlet From OCP to 气动阀
–消化道食入
1. 喊叫，打电话求救，请求支持 2. 催吐( 若昏迷，意识不清或误食腐蚀性物质，则不得催吐) 3. 确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医
–眼睛接触
1. 迅速翻开眼睑，清水轻洗15分钟以上，立刻送医
Trouble
1.当机台需求化学品时 ,传送Request 讯号给 OCP． 2.OCP 收到讯号后 ,会先检查 CDU是否 Ready供应
若是，则回传 Ready 讯号．若否，则回传 Trouble 讯号 3.机台端 EMO被压下时，则停止供应化学品．
CCB之流程图
GN2 inlet
充填槽车
Storage Tank
兼容 ? 微粒子控制：过滤器循环过滤 ? 满足最大需求流量：高浓度化学品如 H2SO4、
H3PO4 ? 自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化 ? 取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子含量
06气体及化学品供应系统
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 化學品供應種類
清洗 微影 蝕刻
製程步驟 Particle 金屬離子 有機物 自然氧化層 乾燥 顯影 去光阻 稀釋 SiO2 Si Si3N4 Al
– 缺點
• 擴充不易、施工困難、建製成本昂貴 • 洩漏源位置難以確認、維護困難且經費高
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 雙套管設計比較
設計方式 負壓設計 正壓設計
優點
缺點
1.靈敏度較高 2.若洩漏，不會影響製程
1.需要抽真空 2.若洩漏，易造成外管腐蝕
1.以PN2保壓方便
1.靈敏度較差
1.測試前，以PN2 purge 2.一般以2 bar壓力purge持續3hrs以上 3.測試時間至少30 min 4.每5 min一張紀錄，30 min後得出平均表 5.平均微粒子數量 ≤ 5 EA/ft3 at 0.1μm
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 實體相片
Gas Yard
氮氣產生機
• 表面處理等級常用可分兩種，BA (Bright Anneal)是經過表面研 磨處理其Rmax≦4.5μm，EP (Electro Polish)除了表面研磨外， 再加以電解研磨其Rmax≦0.7μm，AP管為未經表面研磨處理 之素管。
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 管路材質等級
簡稱
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
IC高純度製程用化學品 使用化學品
NH4OH / H2O2 / H2O H2SO4 / H2O2, HCL / H2O2 / H2O, HNO3 / HF / H2O H2SO4 / H2O2, NH4OH / H2O2 / H2O HF / H2O, HF / NH4F / H2O (BHF) IPA TMAH NMP, DMSO PGMEA, EL, ECA, MEK HF / H2O, HF / NH4F / H2O (BHF)系 HF / HNO3 / CH3COOH系 H3PO4 H3PO4 / HNO3 / CH3COOH系
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 分歧閥盤 (Valve Manifold Panel, VMP)
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 氣瓶櫃與氣瓶架比較
功能 防護箱體 強制抽氣 安全防護 自動化
氣瓶櫃 Gas Cabinet
有
氣瓶架 Gas Rack
無
有
無
有
無
有
有/無(可選購)
0.3-0.8
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 雙套管設計說明
– 設計重點
• 外/內管材質為SUS 304 AP/SUS 316L EP • 外管可抽成負壓或灌氮氣維持正壓 • 外管接壓力錶或壓力警報器 • 外管接氣體偵測器
– 優點
• 可避免內管直接受到撞擊 • 可將洩漏氣體阻隔於外管內
– 公用管路Utility Piping (DI, Drain, CDA, N2,Exhaust)
– 訊號控制盤
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 名稱說明
– 槽車對接機台
• CCB (CLEAN COUPLING BOOTH) • 將槽車原液CHEMCAL 輸送至桶槽儲存的供應機台。
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 氣體偵測系統架構
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 氣體監控系統架構
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 管路設計
– 依氣體之特性
• 單套管：惰性氣體 • 雙套管：腐蝕性/可燃性/毒性
– 依製程需求之材料選擇
• 材料主要區分為SUS 304/SUS 304L及SUS 316/SUS 316L，其差 異在於SUS 316增加鉬(Mo)金屬，改善其機械性質，L則表示材 料降低含碳(C)量，增加含鎳(Ni)量。
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 系統示意圖
化學原液 •槽車 •藥桶
化學供應設備
分歧閥箱
Clean Chemical
Tool
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 系統分類
– 供應系統Supply System : 將化學品自儲存設備，利用供酸機 台及管線供應給製程機台使用。
– 混酸系統Mixing System : 將化學品自儲存設備，先經過稀釋 或混合之程序，再供應給製程機台使用。
• 系統組成
– 供酸機台(CCB/CTU/CDU)
Hale Waihona Puke – 混酸機台(CMU)– 儲槽Storage Tank & Day Tank
– 閥箱VMB/T-BOX/FT-BOX
– 主管路Main Piping
氣體及化學品供應系統
以客為尊的全方位科技服務領導者
大綱
• 氣體供應系統 • 化學品供應系統
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 氣體供應系統功能
– 在晶圓製造或液晶面板廠，使用各式各樣的氣體，其功能在於：
• 氣動元件的驅動氣源 • 吹淨 (Purge) • 參與製程反應 • 形成隔離層 • 雷射氣體 • ……等
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 名稱說明
– VMB (Valve Manifold Box) – 因安全考量，將分岐管路的開關閥件集中放置於一箱體。
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 供應系統示意圖
CCB
Storage Tank
CTU
Day Tank
Tool
CDU
T-Box
– 缺點
• 擴充不易、施工困難、建製成本昂貴 • 洩漏源位置難以確認、維護困難且經費高
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 雙套管設計比較
設計方式 負壓設計 正壓設計
優點
缺點
1.靈敏度較高 2.若洩漏，不會影響製程
1.需要抽真空 2.若洩漏，易造成外管腐蝕
1.以PN2保壓方便
1.靈敏度較差
VMB 分歧閥箱
Tool
Tool
VMB 分歧閥箱
Tool Tool Tool
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 混酸系統示意圖
DI
CCB
Storage Tank
CTU
– 因應不同性質、種類的氣體，而有不同的供應及輸送方式。
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 氣體供應種類
類別
特性
高壓、劇毒 A 高壓、可燃
B 高壓、氣態、腐蝕
特殊氣體 Specialty Gas
C 低壓、液態、腐蝕、毒 D 氣態微毒
E 惰性
F 窒息性
G 大宗氣體
氣體種類 PH3, AsH3, B2H6, NF3 SiH4, SiH4/He, Si2H6 HBr, Cl2, NH3, HCl BCl3, SiH2Cl2, WF6 CF4, CHF3, C2F6, N2O Ar, He, He/O2, Ar/H2, SF6, CF4, CO2, CH3F N2, CO2 N2, H2, O2, Ar, He
1.測試前，以PN2 purge 2.一般以2 bar壓力purge持續3hrs以上 3.測試時間至少30 min 4.每5 min一張紀錄，30 min後得出平均表 5.平均微粒子數量 ≤ 5 EA/ft3 at 0.1μm
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 實體相片
Gas Yard
氮氣產生機
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 實體相片
氣瓶櫃
氣瓶架
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 實體相片
VMP
VMB
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 化學品供應系統功能
– 在晶圓製造或液晶面板廠，其產品製程中均須經過多層化學處理 過程方能完成功能完整之產品。
– 化學品的供應早期是由人工倒入製程機台之化學槽中。 – 人工供應方式不僅危險且化學品易受外界環境汙染。
氣體供應系統
• 大宗氣體供應系統示意圖三
Generator 產生機 Filter
Purifier 純化器
Bulk Gas
Tool
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 特殊氣體供應系統示意圖
Tool
Gas Rack 氣瓶架
VMP 分歧閥盤
Tool
Tool
Gas Cabinet 氣瓶櫃
Tool
以中央自動供酸系統取代傳統供酸方式 (Central Chemical Supply System, CCSS) (Chemical Dispensing System, CDS)
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 化學品供應種類
清洗 微影 蝕刻
製程步驟 Particle 金屬離子 有機物 自然氧化層 乾燥 顯影 去光阻 稀釋 SiO2 Si Si3N4 Al
2. 若 洩 漏 ， 較 不 易 造 成 外 管 腐蝕
2.若洩漏，會污染製程
抽真空
Gas Detector
以PN2保壓
P
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 管路測試
測試項目
測試內容
保壓氣密測試 H2O含量測試 O2含量測試
1.以PN2加壓達到使用壓力的1.2倍，持續24hr 2.無明顯之壓降現象(壓降 ≤ 1%)
經過純化器之氣體 純度較高，一般於 氣體名稱前加『P』 作為區別，如PN2
Bulk Gas Tool
以客為尊的全方位科技服務領導者
氣體供應系統
• 大宗氣體供應系統示意圖二
Cylinder 氣體鋼瓶 Filter
Bundle
Filter
Trailer
Filter
Bulk Gas
Tool
以客為尊的全方位科技服務領導者
– 化學品傳送機台
• CTU (CHENICAL TRANSFER UNIT) • 將儲槽內之原液CHEMCAL 輸送至其他桶槽混合或儲存。
– 化學混酸機台
• CMU (CHEMICAL MIXING UNIT) • 將原液混合稀釋的機台，稀釋後輸送至儲槽儲存。
– 化學供應機台
• CDU (CHEMICAL DISPENSE UNIT) • 將製程機台使用之化學品直接供應至製程端之機台
以客為尊的全方位科技服務領導者
化學品供應系統
• 化學品供應分類
– 酸性 ACID
• HF, HCl, H2SO4 ,HNO3, HNO3
– 鹼性 CAUSTIC
• NH4OH, KOH, NaOH
– 有機 SOLVENT
• Thinner-1, IPA, PGMEA
– 有機鹼 CORROSIVE SOLVENT
• ACT 690, OK-73, ST-250
以客為尊的全方位科技服務領導者