化学品供应系统简介
化学品采购管理系统使用说明
化学品采购管理系统使用说明一、注册、登录说明进入东南大学实验室与设备管理处网站“”，点击“化学品采购管理系统”，出现登录窗口，以一卡通号为用户名进行注册，填写院系、电话、邮箱等信息后提交，待管理员审核通过后，即可进行登录。
二、角色定义根据不同使用人员的需求及管理职责，系统共设定七种不同的角色：（1）T 老师——各院系正式在岗、有一卡通号的教师，有化学品采购需求的，均可使用本系统；（2）L 院系领导——负责对本院系使用教学经费购买化学试剂进行审批；（3）G 保卫处——负责对易制毒化学试剂的审批，由保卫处指定专人；（4）D 设备处——设备处负责对一次性购买量大的采购单进行审批，该角色由设备处指定专人担任；（5）C 化学品办公室——行使学校对化学药品采购的具体审批手续；（6）P 供应商——招标准入制，确定2-3家供应商为我校供应化学药品；（7）A 管理员——系统管理的功能。
三、采购单申报已批准的注册用户可以登录使用本采购系统。
普通化学品和易制毒化学品由于审批流程不同，分别填写采购单。
1、非易制毒（普通化学试剂）采购单申报普通化学品的采购请点击功能菜单中的“非易制毒采购单申报”，出现“化学试剂购买申请表”的界面，点击右上角的“添加化学试剂”按钮，弹出对话框（见下图），根据需要填写要购买的化学试剂品名、计量单位、规格、数量、单价、生产厂家等信息，填好后点击“添加”按钮，该试剂即被列入采购清单。
如需继续添加其他试剂，再次点击“添加化学试剂”按钮，重复以上操作。
每份采购单可同时包含多种化学试剂，试剂按添加的先后顺序排列，在采购单提交前可进行修改或者删除。
从教学经费支出的采购单，需在“用于教学”前的方框内打勾，科研经费购买的采购单不需要此操作。
科研采购单需选择经费支出的账户，然后根据需要填写送货时间（从弹出的日历中选择日期）、送货地点、联系人、联系电话、邮箱，从下拉列表中选择合适的供应商，可以指定也可不指定供应商，申请人默认为登录用户本人，申请地点由系统通过IP地址进行识别、联系人和联系邮箱默认为用户本人，可根据实际情况进行修改。
全国易制毒化学品管理信息系统
全国易制毒化学品管理信息系统设备租赁清单和有关要求为方便易制毒化学品企业通过互联网上报数据，公安部组织开发了全国化学品管理信息系统。
在系统有关设备采购前，先用设备租赁方式在互联网上部署系统开展应用，设备采购到位后，有关设备经双方协商可以变更为托管方式。
一、系统的运行环境和系统网络拓扑图1、化学品企业用户通过VPN虚拟专网拨号到数据中心，上报数据。
2、数据中心将化学品企业上报数据汇集，然后通过同城网专线传输到公安部。
二、设备需求2.1 企业级数据库服务器2台配置参数：CPU:4核* 4颗；内存8G；硬盘146G*2块；千兆网卡*2；冗余电源；支持RAID 1；操作系统：RedHat Enterprise Linux 5.0或以上；数据管理系统：Oracle 10g或以上；数据库服务器要求实现双机热备份。
2.2 应用服务器6台配置参数：CPU:4核* 2颗；内存4G；硬盘146G*2块；千兆网卡*2；冗余电源；支持RAID 1；操作系统：Windows Server 2008或Windows Server 2003；用于系统应用程序部署、认证、核查、数据交换等。
2.3 存储阵列，充分满足租赁期间数据存储要求，估计系统初始化要达到存储空间1TB，以后每天预计增量约1.2G，可以根据需要动态扩充。
2.4 VPN网关2台配置参数：3个10/100/1000BASE-T，可扩展一个两口GBIC 接口卡，最大支持5个接口；支持TCP/IP、IPSec、PPTP协议；机架式；要求相互备份。
2.5 标准机柜1台，20M独享。
2.6 专线1条带宽参数：同城专线一条，10M；三、机房需求3.1 享受独立的网端、网段、独立的IP；3.2 提供双线路接入；3.3 安全防护要求硬件健全，如硬件防火墙、IPS等，能主动监测网络安全，扫描独享客户的IP，做漏洞监测和非法信息挂网监测；3.4 两路市电、自备发电机及UPS多路电源保证；3.5 专业空调上送风技术、独立温控区保证通风、恒温、恒湿，烟雾探测报警系统、气体灭火保证设备完好；3.6 门禁系统，密码锁，钥匙锁和感应式门卡。
危险化学品登记信息管理系统
危险化学品登记信息管理系统危险化学品（Dangerous Chemicals）是指具有毒性、易燃、易爆、腐蚀性、放射性、氧化性或其他危险性质的化学物质。
由于危险化学品的存在，运输、使用和处理都会带来潜在的危险，一旦出现事故，则可能对人类、环境和财产造成不可估量的损失。
为了有效防范和减少危险化学品事故的发生，我国建立了危险化学品登记信息管理系统，本文将对其进行详细介绍。
一、危险化学品登记信息管理系统的概述危险化学品登记信息管理系统是以我国危险化学品的生产企业、经营单位、储存单位、使用单位和运输单位为主体，采用计算机技术和网络技术，建立集中、统一的信息管理平台，实现对全国危险化学品的登记、审核、备案、查询和统计等管理工作的规范和标准化。
通过该系统，能够及时获取危险化学品的品种、数量、储存量、使用情况、产生的危险物质和安全事故等信息，为有关部门和单位提供科学、可靠的数据支持。
二、危险化学品登记信息管理系统的功能（一）登记功能危险化学品登记信息管理系统可以对危险化学品的生产、经营、储存、使用和运输单位进行登记，登记的信息包括单位名称、法定代表人、联系方式、地址、注册资本、经营范围、申请事项、申请时间等。
登记可分为初次登记和变更登记，初次登记是指对新建、扩建、改建危险化学品生产、经营和使用单位进行登记；变更登记是指对危险化学品生产、经营和使用单位发生重大变动时进行修正、补充或变更登记。
（二）备案功能危险化学品生产、经营、储存、使用和运输单位在开展相关业务之前，必须在危险化学品登记信息管理系统备案，备案后方可进行相关业务。
备案信息包括备案单位、备案资质、备案产品、备案时间等。
（三）审核功能系统主要负责对危险化学品的交易、运输、储存、使用进行审核，判断交易对象是否合规，判断危险化学品是否符合标准，判断危险化学品是否存在安全隐患等。
（四）查询功能危险化学品登记信息管理系统具备查询功能，可以查询某单位是否有备案，查询危险化学品生产、经营、储存、使用和运输单位信息，查询危险品名称、危化品货名、CAS号、危险物质属性、危险类别等信息。
化学品采购管理系统使用说明
化学品采购管理系统使用说明一、注册、登录说明进入东南大学实验室与设备管理处网站“”，点击“化学品采购管理系统”，出现登录窗口，以一卡通号为用户名进行注册，填写院系、电话、邮箱等信息后提交，待管理员审核通过后，即可进行登录。
二、角色定义根据不同使用人员的需求及管理职责，系统共设定七种不同的角色：（1）T 老师——各院系正式在岗、有一卡通号的教师，有化学品采购需求的，均可使用本系统；（2）L 院系领导——负责对本院系使用教学经费购买化学试剂进行审批；（3）G 保卫处——负责对易制毒化学试剂的审批，由保卫处指定专人；（4）D 设备处——设备处负责对一次性购买量大的采购单进行审批，该角色由设备处指定专人担任；（5）C 化学品办公室——行使学校对化学药品采购的具体审批手续；（6）P 供应商——招标准入制，确定2-3家供应商为我校供应化学药品；（7）A 管理员——系统管理的功能。
三、采购单申报已批准的注册用户可以登录使用本采购系统。
普通化学品和易制毒化学品由于审批流程不同，分别填写采购单。
1、非易制毒（普通化学试剂）采购单申报普通化学品的采购请点击功能菜单中的“非易制毒采购单申报”，出现“化学试剂购买申请表”的界面，点击右上角的“添加化学试剂”按钮，弹出对话框（见下图），根据需要填写要购买的化学试剂品名、计量单位、规格、数量、单价、生产厂家等信息，填好后点击“添加”按钮，该试剂即被列入采购清单。
如需继续添加其他试剂，再次点击“添加化学试剂”按钮，重复以上操作。
每份采购单可同时包含多种化学试剂，试剂按添加的先后顺序排列，在采购单提交前可进行修改或者删除。
从教学经费支出的采购单，需在“用于教学”前的方框内打勾，科研经费购买的采购单不需要此操作。
科研采购单需选择经费支出的账户，然后根据需要填写送货时间（从弹出的日历中选择日期）、送货地点、联系人、联系电话、邮箱，从下拉列表中选择合适的供应商，可以指定也可不指定供应商，申请人默认为登录用户本人，申请地点由系统通过IP地址进行识别、联系人和联系邮箱默认为用户本人，可根据实际情况进行修改。
化学品系统培训资料
主管道
TEE-BOX
主管道
主管道
END-BOX
预留扩 充阀
LEAK SENSOR
连接至 VMB
LEAK SENSOR
连接至 VMB
一、化学品系统基础知识
主管道
2.5 VMB
用途:主管道连接至VMB后，通过支
路阀门分别连接至对应生产机台。
材质:根据供应化学品的性质分为
酸碱类:外壳PP,内部阀件管路PFA
PTFE板材
PTFE法兰垫片
管配件内衬PTFE
不锈钢储罐内衬PTFE G8.6 HNO3、ITO-Rework腐蚀性 较高的药液采用NEW-PEFE内衬
PTFE阀门
PTFE接头
一、化学品系统基础知识
化学品系统常用材料
3.3 不锈钢材质 AP&BA&EP内表面对比
AP 酸洗钝化，不会降低内表面粗糙 度，但可以去除残存的颗粒，内表面 粗糙度不得＞12μM
BA 光辉回火 改善结构，降低内表 面粗糙度，内表粗糙度＜0.3μM （ 放大200倍照片）
EP 电解抛光 氧化铬封闭保护，更 平滑、抗蚀性高、 粗糙度小于 0.1μM（放大500倍照片）
中央化学品系统中供应有机溶剂介质的高纯、洁净管道系统一般都采用SUS316L BA、EP材质,有机废液管 道采用SUS304材质。G8.6 Stripper、NMP、N321、N403采用BA材质，EBR采用EP材质（产线对EBR药液颗粒 度要求更高）
化学品供应系统介绍
PLC/模块
PLC S7-200
3.化学品供应系统功能简介绍
4. 系统的通讯和控制
系统的通讯和控制分为内部和外部：内部即触摸屏和PLC的通讯连接,液位侦测 器/泄漏侦测器和PLC的通讯连接.电磁阀和PLC的通讯连接.VMB继电器和PLC的 通讯连接.
外部通讯主要是VMB继电器及端子和Tool设备控制盘相连接. 当Tool设备需要供液会发出Demand需液信号,VMB继电器和CDS接收到信号 会通过PLC控制将化学品自动供应的Tool 设备.
5. 系统的操作和维护
详见操作说明书(以下为酸桶更换步骤 )
按下 POWEN ON 送电
设备红灯闪烁
按下 RESET 复位键
黄灯闪烁 STANDBY
更换酸桶
按下 SILENCE 消音键
更换完毕点击屏幕 “更换确认”
红灯闪烁 警报声响
DRUM EMPTY
完毕
单 桶 更 换 步 骤
5. 系统的操作和维护
完毕
6. 安全操作与注意事项
安全操作需要注意以下几点: 1. 对设备的构造和操作必须熟悉和了解,特别是更换酸桶的步骤. 2. 操作人员需要了解每种化学品的化学和物理性质,可要求化学品供应商提供 MSDS资料. 3. 配备齐全的防护装置如:化学品防护服、过滤器、防护镜、PVC手套、靴子、 防护头盔、吸酸棉、PH试纸、葡萄糖酸钙、 塑料袋(主要对HF)等防护用品. 4. 操作人员需要定期进行培训和教育训练,强化安全防护意识. 5. 制订紧急应变流程,如有紧急情况可依照紧急应变流程进行处理.
化学品供应系统介绍
目录
▲ 1、化学品供应系统概述 ▲ 2、系统的组成和配件介绍 ▲ 3、化学品供应系统功能简介 ▲ 4、系统的通讯和控制 ▲ 5、系统的操作和维护 ▲ 6、安全操作与注意事项
化学品供应系统介绍
点击屏幕 “切换配置”菜单
双 桶 更 换 步 骤
按下 POWEN ON 送电 按下 SILENCE 消音键 设备红灯闪烁 输入密码 按”ENT”键
按下 RESET 复位键
红灯闪烁 警报声响
点击液桶切换 按下”是”或”否”
黄灯闪烁 STANDBY
DRUM EMPTY
按是将会在1号桶 和2号桶之间切换
完毕
6. 安全操作与注意事项
安全操作需要注意以下几点: 1. 对设备的构造和操作必须熟悉和了解,特别是更换酸桶的步骤. 2. 操作人员需要了解每种化学品的化学和物理性质,可要求化学品供应商提供 MSDS资料.
3. 配备齐全的防护装置如:化学品防护服、过滤器、防护镜、PVC手套、靴子、 防护头盔、吸酸棉、PH试纸、葡萄糖酸钙、 R
PLC/模块
PLC S7-200
3.化学品供应系统功能简介绍
4. 系统的通讯和控制
系统的通讯和控制分为内部和外部：内部即触摸屏和PLC的通讯连接,液位侦测 器/泄漏侦测器和PLC的通讯连接.电磁阀和PLC的通讯连接.VMB继电器和PLC的 通讯连接. 外部通讯主要是VMB继电器及端子和Tool设备控制盘相连接. 当Tool设备需要供液会发出Demand需液信号,VMB继电器和CDS接收到信号 会通过PLC控制将化学品自动供应的Tool 设备.
化学品供应系统介绍
目录
▲ 1、化学品供应系统概述
▲ 2、系统的组成和配件介绍
▲ 3、化学品供应系统功能简介
▲ 4、系统的通讯和控制 ▲ 5、系统的操作和维护 ▲ 6、安全操作与注意事项
1. 化学品供应系统概述
本化学品供应系统共有5套及VMB 9个,TEE BOX 4个,分别是:
11半导体厂房化学品供应系统
Chemical Supply System 化学品供应系统简介类别流程图备注小型系统(原料桶充填式)§使用量 : 80~200L/天§用户点 : 很少§输送动力为泵或气体压力§使用量 : 300~4000L/充填及供应模块储藏槽罐充填模块储藏槽罐供应模块快速连接器储藏槽罐输送模块供应模块FMCSOCPHUBCDUVMBToolTee BoxProvided By Systems Chemistry,INCTroubleStopRequest EMO1.当机台需求化学品时,传送Request 讯号给OCP ．2.OCP 收到讯号后,会先检查CDU 是否Ready 供应若是，则回传Ready 讯号．若否，则回传Trouble 讯号3.机台端EMO 被压下时，则停止供应化学品．+24V+24V +24VGN2inletStorageTank充填槽车CDUProvided By NOV AProvided By NOV AOutletPumpTransfer FilterSupply FilterGN2inletCDA inletDrumDay TankTankProvided By Systems Chemistry,INCOutletDrumTank PumpTrans/Rec FilterSupply FilterDrain Port手动阀箱体内侧下方装设泄漏侦测器Provided By NOV 箱体以PP 制成2.CPVC 外盖箱体与外盖间以 O-Ring 密合管件以PFA 制成一般酸碱类适用箱体内侧下方装设泄漏侦测器Drain PortinletCDA inlet From OCP to 气动阀Purge inletDrain PortExhaust气动阀手动阀保养管路时需先以PN2将化学品 Purge 至机台端 Drain4132Provided By NOV PP 制成外盖箱体与外盖间以 O-Ring 密合PFA 制成一般酸碱类适用1. 2. 3. 4. 5.按钮手动阀箱体内侧下方装设泄漏侦测器Drain Portinlet系统完全性1. 使用碳钢TANK,内衬PTFE，可保证其在高压压力下的安全性。
化学品系统简介
化学品供应系统工程
1．系统简述
本系统由一套HF供应系统和一套HF回收系统组成。
两套系统均采用全自动供应方式进行，采用可编程控制器与人机触控屏幕的控制模式，非常人性化设计操控简易。
HF供应系统采用双Drum和双桶槽模式，先用气动隔膜泵将Drum中的药液输送到存贮桶槽中，再利用气动隔膜泵将存贮桶槽中的药液供应给机台使用。
其中双Drum和双桶槽均采用自动切换功能，系统也将和使用机台进行通讯，进行联动控制。
HF回收系统采用双桶槽模式，废液回收时，两桶槽能够自动切换，可利用气动隔膜泵将桶槽中的药液外运到槽车中。
2．设计参数
3.系统原理图
A. HF供应系统（HIS-CCS-121N）
B HF回收系统(HIS-CCSS-11)。
化学品供应系统简介
Trouble
1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP．
2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应
若是，则回传Ready讯号．若否，则回传Trouble讯号
3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品．
11
CCB之流程图
GN2 inlet
充填槽车
Storage Tank
CDU
200L
Drum
Tee Box
T
VMB
Tool-1
T
CDU
T
将化学品经循环 过滤,再经N2或 Pump加压输送 至有需求之生产
机台内
将化学品经管路分 配至不同生产机台
VMB
Tool-2
VMB
Tool-3
VMB
Tool-4
S
Sampling Box
8
系统之流程图(二)
OCP Tool
FMCS
HUB
Tee Box
2
系统之目的
• 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂 质、微粒子
• 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案 • 供应高纯度化学品以显影芯片图案 • 供应高纯度化学品以为化学气相沉积
前置反应物 • 供应高纯度化学品以研磨芯片 • 供应高纯度化学品以清洗制程设备零
配件
3
化学品之种类与用途(一)
• 酸性:
–腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4... –毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...
芯片表面之氧化膜清洁 清洗石英管制品
去除 POLY
清洗石英管制品
NH4F 35.7-36.7% HF 4.6-5.0%
化学蚀刻用
化学集中供应系统CDS介绍
用量：
4000L/Day 以上 利用壓送的方式
2011/1/22 7
配置規範
Pump Type – Pump A
2011/1/22
8
Pump Type –Pump B With Day Tank
2011/1/22
9
Pressure Type –Pump A
2011/1/22
10
Pressure Type –Pump B With Day Tank
2011/1/22
11
Tank Lorry Type 4000L/Day以上
2011/1/22
12
CDS 簡介
主講人：林晏彤
@ 系統結構
流程示意圖 系統配置 元件說明
2011/1/22
2
1.流程示意圖
CCSS Room：
(中央供酸系統) Center Chemical Supply System
無塵室下
1. 廠房平面圖 2. 系統裝罝 3. 管路連接
2011/1/22
4. 監控系統 5. 管理室 6. 污水系統
4
2.系統配置
Pump系統 – 日需求TANK
用量：
80~200L/Day 使用量：較少 利用pump或壓送 日需求TANK
用量：
300~4000L/Day 使用量：較多 利用pump或壓送的方式
2011/1/22 6
Pump系統 – 日需求TANK
7. 限定條件 8. 結構 9. 安全及管理規章
3
無塵室、潔淨室
1. 使用點 2. VMB(閥分支箱)~POU(使用點) 機台操作控制介面 電控程式連結
高架地板
1. 2. 3. 4. CCSS~VMB管路 VMB 需求 監控線路 洩漏感應器
化学系统介绍
运转操作注意事项(一)
•充份阅读MSDS，认识化学品之物质特性，危 害性，危害标示，危害途径及防护措施
•工作前，先行思考及演练各细节后，再行动 •工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认 •正确选用及使用适当防护器具 •正确处理化学品废弃物，避免造成后续伤害 •良好个人安全卫生环保习惯 •认知工作安全”意外”意识
Provided By NOVA
1.箱体以PP制成 2.CPVC外盖 3.箱体与外盖间以
O-Ring密合 4.管件以PFA制成
一般酸碱类适用
VMB之构造
inlet
To Tools
For The Future Use
手动阀 Exhaust
气动阀
1 23 4
CDA inlet From OCP to 气动阀
Trouble
1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP． 2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应
若是，则回传Ready讯号．若否，则回传Trouble讯号 3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品．
CCB之流程图
GN2 inlet
充填槽车
Storage Tank
CDU
运转操作注意事项(四)
•熟知化学品吸入/食入/眼睛接触之处理
–原则
1.维持呼吸，血液循环，维持患者生命 2.减轻患者病痛，促使其能早日康复
–呼吸道吸入
1.离开污染区(避免自己或其它人再受污染) 2.喊叫，打电话求救，请求支持 3.确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医
–消化道食入
1.喊叫，打电话求救，请求支持 2.催吐(若昏迷，意识不清或误食腐蚀性物质，则不得催吐) 3.确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医
特殊化学品系统介绍
2002.9.26
• 單 位：廠務處液化部特化課 • 報告者：宋狄堂 TFT-QA Thomas
特化系統安全說明
藥供室區域 充填回收作業 特化設備 化學品性質 安全防護系統 漏液緊急處理
2002.9.26 TFT-QA Thomas
藥供室區域
廠務特化藥液供應室
微酸味
刺激眼睛、皮膚且引發炎症。誤入 眼睛則恐有失明之慮
71.5% 磷酸 AL-Etchant 10% 醋酸 1.9% 硝酸 ITO-Etchant H3PO4 （磷酸） HNO3 （硝酸） 3.4% 草酸 85% 無色 液體 無味 無 無色 液體 微酸味 8 (腐蝕性液體)
造成黏膜、呼吸道、皮膚、眼睛灼 傷。 蒸氣長期吸入，引起口腔、支氣管 炎。 皮膚眼睛接觸具刺激性；吞食造成 胃痛、嘔吐、發炎，損害血液神經 與金屬接觸釋放易燃性氫氣，腐蝕 眼睛、皮膚、呼吸道 吸入會引起窒息感及刺激眼睛，接 觸易造成灼傷
安全防護
灑水系統
全區消防洒水
有機室：具有耐火2小時以上之
火災阻隔設計 酸室：具有耐火1小時以上之火 災阻隔設計 可供應20分鐘以上之消防系統 2002.9.26
TFT-QA Thomas
安全防護
個人沖淋設施
緊急沖淋洗眼設備 （室內外均設）
2002.9.26
TFT-QA Thomas
安全防護
L1棟
L2棟
L1A 藥供室
L2 藥供室
2002.9.26
TFT-QA Thomas
藥供室區域
L1藥品供應室
L1 棟 混酸室
無機室
有機室
華南三路
2002.9.26
TFT-QA Thomas
易制毒化学品信息服务系统
易制毒化学品信息服务系统一、引言易制毒化学品是指可用于制造毒品的化学物质。
由于易制毒化学品的滥用和非法使用，对社会造成严重的危害。
因此，为了减少恶劣影响并保护公众，许多国家都实施了严格的法规和监管措施来控制易制毒化学品的生产、销售和使用。
为实现对易制毒化学品的更有效监管和管理，易制毒化学品信息服务系统应运而生。
本文将介绍易制毒化学品信息服务系统的功能、设计和应用。
二、功能易制毒化学品信息服务系统旨在提供一个集中管理和共享易制毒化学品信息的平台。
系统的主要功能包括：1.易制毒化学品登记和管理：系统允许管理机构对易制毒化学品进行登记和管理。
通过登记系统，管理机构可以追踪易制毒化学品的流通和使用情况，确保其合法使用。
2.易制毒化学品管控：系统可以根据法规和政策对易制毒化学品进行管控。
通过设置不同级别的管控措施，比如许可证制度、进出口管理等，系统能够确保易制毒化学品在合法使用范围内。
3.易制毒化学品信息查询：系统提供易制毒化学品信息的查询功能，让政府机构、执法部门和相关行业能够快速有效地获取所需信息。
通过系统，用户可以查询易制毒化学品的基本信息、用途和管控措施等。
4.信息共享和协作：系统允许不同机构之间共享易制毒化学品的信息。
这样，相关部门可以更好地协作，共同应对易制毒化学品滥用问题。
5.风险预警和监测：系统通过监测和分析易制毒化学品的流通情况，提供风险预警和监测功能。
这有助于尽早发现潜在风险和不合法行为，及时采取相应措施。
三、设计易制毒化学品信息服务系统的设计应考虑以下方面：1.界面友好性：系统应具有简洁、直观的用户界面，方便用户快速上手使用。
2.安全性：系统应具有安全措施，确保易制毒化学品信息的安全和机密性。
3.可扩展性：系统应具备良好的扩展性，可以根据需求进行功能的扩展和升级。
4.数据准确性：系统应确保易制毒化学品信息的准确性和更新性，避免错误和冗余。
5.数据共享和交换：系统应支持与其他系统的数据共享和交换，以提高信息的整合性和使用效率。
2023年全国化学品生产使用环境信息管理系统使用手册
2023年全国化学品生产使用环境信息管理系统使用手册2023年全国化学品生产使用环境信息管理系统使用手册一、前言2023年全国化学品生产使用环境信息管理系统是一项重要的举措，旨在加强对化学品生产使用过程中环境信息的管理和监控。
本系统使用手册旨在帮助用户全面了解系统的功能和使用方法，以便更好地使用和管理环境信息。
二、系统概述1. 系统背景2023年全国化学品生产使用环境信息管理系统是在全国范围内推行的一项重要举措，旨在建立起针对化学品生产使用过程中环境信息的全面管理和监控系统。
通过系统的建立和使用，可以更好地掌握化学品生产使用过程中的环境信息，及时发现和处理环境问题，保障人民生活和生态环境的安全。
2. 系统功能（1）信息录入功能：用户可以将化学品生产使用过程中的环境信息及时录入到系统中，包括产生的污染物种类、排放量、处理情况等。
（2）信息管理功能：系统可以对录入的环境信息进行分类、整理和管理，便于用户进行查询和分析。
（3）监控预警功能：系统可以对环境信息进行实时监控，一旦发现异常情况，可以及时预警并提示用户处理。
（4）数据分析功能：系统可以对录入的环境信息进行数据分析，输出相关报表和图表，帮助用户更好地了解环境情况。
三、系统使用1. 系统登录用户首先需要通过账号和密码登录系统，进入系统后可以根据自己的权限进行相关操作。
2. 信息录入用户可以根据实际情况，将化学品生产使用过程中的环境信息录入到系统中，包括污染物种类、排放量、处理情况等。
3. 信息管理系统会对录入的环境信息进行分类、整理和管理，用户可以通过相关功能进行查询和管理。
4. 监控预警系统会对录入的环境信息进行实时监控，一旦发现异常情况，会及时发出预警，并提示用户处理。
5. 数据分析系统可以对录入的环境信息进行数据分析，输出相关报表和图表，帮助用户更好地了解环境情况。
四、个人观点2023年全国化学品生产使用环境信息管理系统的推行，对于加强对化学品生产使用过程中环境信息的管理和监控具有重要意义。
危险化学品登记信息管理系统
危险化学品登记信息管理系统危险化学品是一种具有潜在危害的化学品，它们在生产、运输、储存和使用过程中可能会对人体健康、生态环境等造成威胁。
为了保障良好的社会安全和经济发展，各国都制定了危险化学品的管理法规和标准，其中包括危险化学品登记信息管理系统。
本文将对危险化学品登记信息管理系统进行详细介绍。
一、什么是危险化学品登记信息管理系统危险化学品登记信息管理系统是指旨在收集、管理和分析危险化学品生产、运输、储存、使用等方面的数据和信息的一种统一管理平台。
该系统具有监控和预警的功能，能够对危险化学品的生产、储存和运输等方面进行监测和管理，实现对危险化学品流程全程的掌控。
二、危险化学品登记信息管理系统的主要功能1. 危险化学品的监控管理危险化学品登记信息管理系统能够通过对危险化学品的生产、运输、储存等环节进行监测，及时发现和掌握危险化学品的信息，并对危险化学品的管控情况进行评估和分析，以保障人民的生命安全和健康。
2. 危险化学品的统一登记危险化学品登记信息管理系统实现了危险化学品的全生命周期管理，对危险化学品的生产、运输和储存等过程进行统一登记和管理，确保危险化学品的流程可视化、信息全面化。
3. 危险化学品的信息查询危险化学品登记信息管理系统能够提供危险化学品的信息查询服务，包括危险化学品种类、性质、用途、储存位置、生产日期、有效期等信息，可以为政府管理部门、企业和公众提供科学的信息支持，规范危险化学品的生产、储存和使用等活动。
4. 危险化学品的预警和风险评估危险化学品登记信息管理系统能够对危险化学品的生产、运输和储存等环节进行监测，及时预警危险化学品可能存在的环境和健康风险，以及给予相应的控制措施的建议。
5. 危险化学品的统计及分析危险化学品登记信息管理系统能够对危险化学品的相关数据进行统计和分析，提供数据支持和决策参考，制定出科学的危险化学品管理政策和管理措施。
三、危险化学品登记信息管理系统的优势1. 实时监测，及时预警危险化学品登记信息管理系统能够对危险化学品的生产、运输和储存等过程进行实时监测，及时预警可能存在的风险，防止事故的发生。
化学品供应系统介绍
化学品供应系统介绍首先，化学品供应系统包括化学品生产环节。
生产环节主要包括原材料采购、生产过程控制、质量检测等。
在原材料采购环节，系统需要与供应商建立合作关系，确保原材料的质量符合要求。
生产过程中，系统需要进行严格的控制，确保产品的稳定性和一致性。
质量检测环节是确保产品质量的重要环节，需要进行产品的成分分析和性能测试，确保符合相关要求。
其次，化学品供应系统还包括化学品储存和运输环节。
储存环节需要提供合适的储存设施，确保化学品的安全储存。
储存设施需要具备防火、防爆和防泄漏等功能，以减少事故发生的可能性。
运输环节需要选择合适的运输方式和工具，确保化学品的安全运输。
运输过程中，需要进行适当的包装、标识和分类，以确保运输过程中的安全性。
此外，化学品供应系统还包括销售和使用环节。
销售环节需要与客户建立良好的合作关系，确保及时供应化学品，并提供技术支持和售后服务。
使用环节需要提供化学品使用的指导和安全操作规程，以确保用户正确使用化学品，并防止事故发生。
在化学品供应系统中，安全是最重要的考虑因素之一、系统需要采取一系列措施，确保化学品在生产、储存、运输和使用过程中的安全性。
这包括制定和执行安全管理制度，培训化学品操作人员，建立事故应急预案等。
对于危险化学品，还需要进行特殊的管理和控制，包括极易燃、易爆、腐蚀等危险特性的化学品，需要在储存和运输过程中采取额外的安全措施。
此外，系统还需要负责化学品的废弃物处理，确保其对环境的影响最小化。
综上所述，化学品供应系统是一个涉及多个环节的系统，包括化学品生产、储存、运输和销售等。
该系统需要确保化学品的质量安全，满足用户需求，并保护环境和人类健康。
安全管理、信息化管理和追溯体系是化学品供应系统的重要组成部分。
随着科技的进步，化学品供应系统将更加完善，提高化学品的生产、运输和使用的安全性和效率。
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------------------
-----------------H2SO4+H2O2H2SO4+ H2O
------------------
------------------
系统之基本要求
• 操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑 • 化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品
T-BOX VMB
泄漏警报
CHEMICAL LINE GN2 LINE SIGNAL LINE
系统之流程图(四)
Electric Signal Interface Between BCDS & Tool
OCP Side
Tool Side
Request Stop
+24V
EMO
+24V
Ready
+24V
兼容 • 微粒子控制：过滤器循环过滤 • 满足最大需求流量：高浓度化学品如H2SO4、
H3PO4 • 自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化 • 取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子含量
取样分析 • 泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统(EMO) • 系统诊断：Pump、Filter 、Valve运转时数 • 维修保养管路 Auto Purge/Flush 功能 • 化学品用量统计
Trouble
1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP． 2.OCP收到讯号后,会先检查CDU是否Ready供应
若是，则回传Ready讯号．若否，则回传Trouble讯号 3.机台端EMO被压下时，则停止供应化学品．
CCB之流程图
GN2 inlet
充填槽车
Storage Tank
CDU
4 盐酸 HCl
5 磷酸 H3PO4
6 硫酸 H2SO4
成分比例 -----99.9 28-30 35-37 85-87
用途 将感光过之光阻去除 清洗芯片表面之 EKC-265 去除 PARTICAL 去除金属离子 去除氮化硅
96-97 去除有机物
7 氢氟酸 1 HF-1
8 氢氟酸 2 HF-2
醋酸
Chemical Supply System 化学品供应系统简介
课程大纲
• 系统之目的 • 化学品之种类与用途 • 系统之基本要求 • 化学品供应质量要求 • 系统之流程图 • CDU之流程图 • TEE-BOX之构造 • VMB之构造 • SAMPLING BOX之构造 • 系统设备之材料要求 • 运转操作注意事项
Provided By NOVA
CDU之流程图(型一)
CDA
GN2
inlet
系统之目的
• 供应高纯度化学品以清洗芯片上之杂 质、微粒子
• 供应高纯度化学品以蚀刻芯片图案 • 供应高纯度化学品以显影芯片图案 • 供应高纯度化学品以为化学气相沉积
前置反应物 • 供应高纯度化学品以研磨芯片 • 供应高纯度化学品以清洗制程设备零
配件
化学品之种类与用途(一)
• 酸性:
– 腐蚀性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4... – 毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE...
芯片表面之氧化膜清洁 清洗石英管制品
去除 POLY
清洗石英管制品
NH4F 35.7-36.7% HF 4.6-5.0%
化学蚀刻用
NH4F 38.7-39.7% HF 0.95-1.05%
化学蚀刻用
30-32 H2SO4 之氧化再生剂
14 显影剂 DEVELOPER 15 清洁剂 NBA
16 清洁剂 EBR-10
NMD-W 2.38 光阻图形显影
N-BUTYL-ALCO HOL
去除光阻
CH3C2H3COOH 去除晶背/芯片边缘光阻
REMARK ----------------------------------NH4OH+H2O2+H2O HCl+ H2O2+H2O H3PO4+SiN4 CxHy+H2SO4CO2+H2 O+H2SO4 SiO2+4HFSiF4+H2O SiO2+4HFSiF4+H2O Si+MAESiO2SiF4
VMB
CDU
Provided By Systems Chemistry,INC
系统之流程图(三)
启动CDU 循环过滤后，同时由OCP供应GN2， 打开VMB内气动阀，将化学品供应至TOOL
TOOL 机台
供酸
GN2
OCP
SCADA Computer
循环过滤 25”后 供酸
HUB 加强讯号
CDU
主管路
化学品供应质量要求
Geometry Size Particles/ml
1μ
100
.8μ
100-200
.5μ
50-100
.35μ
＜20
.25μ
＜10
Size 0.5 0.2-0.3 0.2 0.2 0.1
Metallics ＜10 PPb 1-2 PPb
1 PPb ＜1 PPb 100 PPt
系统之流程图(一)
9
混酸 硝酸 MAE 氢氟酸
10 硝酸 HNO3
11
Buffer Oxide Etchant BOE 10:1
12 Buffer Oxide Etchant
BOE 50:1
13 过氧化氢 H2O2
48.9-49.2 48.9-49.2 46.1-48.1 33.2-35.7
1.5-2.5 69.5-71
• 碱性:NH4OH,KOH,Developer... • 有机溶剂
– 易燃液体:IPA,Acetone,NBA,光阻液... – 腐蚀性有机溶剂:EKC,EBR,HMDS...
• 氧化性:HNO3,H2O2...
化学品之种类与用途(二)
NO
名称
1 光阻去除剂 EKC-265
2 异丙醇 IPA
3 氢氧化胺 NH4OH
Drum
Tee Box
T
VMB
Tool-1
T
CDU
T
将化学品经循环 过滤,再经N2或 Pump加压输送 至有需求之生产
机台内
将化学品经管路分 配至不同生产机台
VMB
Tool-2
VMB
Tool-3
VMB
Tool-4
S
Sampling Box
系统之流程图(二)
化学槽车充填衔 接站将化学品由 槽车以N2加压直 接输送至Tank
CCB
6m3
适合使用量较
可 依
大之化学品,如 H2O2,H2SO4等
实
际
用
适合使用量中
量
等之化学品,如
需 求
HF,H3PO4等
选
择
适合使用量较
使 用
小之化学品,如 BOE,HNO3等
Storge Tank 12m3
Tote 1m3
200L