化工厂化学供应系统

T-BOX
VMB 分阀箱
泄漏警报
供酸
化学品供应 信号传输
化学品供应系统
化学控制要点：
1.房內需有UPS 电盘，并將化学品柜的信号连线至中控室。 2.化学房及中控室设置「紧急停止按鈕」于中央监控系統上，在中控室的监控 系統上可以关闭供应机台。 3.化学控制室和FMCS 系統上监控化学系统设备实施运行状态。
化学供应系统介绍
2012年8月16日
目录:
1.系统目的 2.化学品的种类 3.化学系统流程图 4.化学设备PID图 5.CDM外观及构造 6.VMB的构造 7.TEE-BOX的构造 8.辅助系统设计 9.紧急应变介绍
化学品供应系统
1.总述：
化学品供应系统位于G07的酸碱/有机溶剂房中，为G07的生产设备提供生产原料化
化学品供应系统
6.VMB构造
inlet
To Tools
1.箱体以PP/SUS制成 2.CPVC/SUS外盖 3.箱体与外盖间以密封
条密合 4.管件以PFA/SUS316L
-EP材质制成
气动阀
手动阀 Exhaust
CDA inlet
1 23 4
Drain Port
箱体内侧下方装 设泄漏侦测器 Drain Port
化学品供应系统
G07一楼核心区域化学品VMB分布区域图：
化学 实验 室
品质实验 室
测试区
wenku.baidu.com
离子注入 区
HCL H2O2 NH4OH IPA NMP BOE H3PO4
I2+KI DEV EBR
搬运通道
Remover
背面工艺区
H2SO4
DEV EBR
HF+HNO3
晶圆 开始
空 备件 片 清洗 清区 洗 区
照明灯
化学品桶
化学隔膜泵
气液分 离器
取样口
Piping (1)PFA&C-PVC (2)SUS316-EP
过滤器
取样口
取样口
酸碱类：
BOE(HF+NH4F) I2+KI H2O2 H2SO4 H3PO4 HCl HF(HF+HNO3) NH4OH DEV
有机类：
EBR REMOVER NMP IPA
学品。
酸碱/有机溶剂房
化学品按照性质分类：
1） 酸碱液体
2） 有机溶剂 控制系统分为：
1） 化学品供应系统
2） 化学品泄漏报警系统
以上二个系统整合为化学控制系统
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1.系统目的 2.化学品的种类 3.化学系统流程图 4.化学设备PID图 5.CDM外观及构造 6.VMB的构造 7.TEE-BOX的构造 8.辅助系统设计 9.紧急应变介绍
老化实验 室
进料检 验区
出货 检验 区
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化学供应系统
3.化学系统流程图(一)
G07二楼
机台
T-BOX
G07一楼 G07一楼酸碱/有机溶剂房间
化学品供应系统
应急培训
有机溶剂VMB (参考图)
有机溶剂供应柜(参考图)
酸碱VMB (参考图)
T-BOX (参考图)
目录:
1.系统目的 2.化学品的种类 3.化学系统流程图 4.化学设备PID图 5.CDM外观及构造 6.VMB的构造 7.TEE-BOX的构造 8.辅助系统设计 9.紧急应变介绍
中文名称 硫酸 盐酸 氢氟酸+硝酸 磷酸 氢氟酸+氟化铵 碘+碘化钾 双氧水 氨水 显影液（SD-1） N-甲基吡咯烷酮 异丙酮 OK73稀释剂 去除剂
化学品性质 酸性 酸性 酸性 酸性 酸性 酸性 强氧化性 碱性 碱性 有机类 有机 有机 有机
VMB分布区域 背面工艺区 清洗剥离区 背面工艺区 清洗剥离区 清洗剥离区 黄光区 清洗剥离区 清洗剥离区 黄光区/背面黄光 清洗剥离区 清洗剥离区 黄光区/背面黄光 背面工艺区
化学品供应系统
2. 厂务集中供应的化学品种类：
酸碱类化学 品一共有9 种，位于 G07酸碱化 学房间
有机溶剂类 化学品一共 有4种，位 于G07有机 溶剂房间
化学名称 H2SO4 HCL HF+HNO3 H3PO4 BOE I2+KI H2O2 NH4OH DEV NMP IPA EBR Remover
设备种类
化学供应柜 化学VMB
监控电脑
检测项目
控制系统
运行状态、阀门开/关、压力、各种报警、泵 压力、过滤器压差报警 阀门开/关、压力、运行状态、泄漏报警
各种设备运行状态、采集机台数据、与FMCS电
1.采用数据远程传输。 2.声光报警装置 3.数据实时共享上传
脑共享数据
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化学品供应系统
5.酸碱CDM（化学供应柜）外观构造
CDM正面
设备配套管路
酸桶柜内部
三色灯
照明灯
控制柜
酸桶柜
链条挂钩
抽风口 滑轮
波纹管 接头
链条
控制柜正面
空桶状态指 示灯按钮
备用状态指 示灯按钮
蜂鸣器静音按钮
控制柜侧面压力表
触摸屏
PN2气源压力
EMO紧急 停机按钮
隔膜泵气源压力 气动阀气源压力
化学品供应系统
有机溶剂CDM外观构造
CDM正面
控制柜压力表
CDM内部正面
酸桶柜
CDM侧面
化学品取样口
过滤器
控制柜正面
空桶状态指 示灯按钮
备用状态指 示灯按钮
蜂鸣器静音按钮
气动隔膜泵
触摸屏 EMO紧急 停机按钮
化学品供应系统
应急培训
酸碱供应柜（参考图）
有机溶剂供应柜（参考图）
酸碱供应设备（参考图）
I2+KI储罐（参考图）
化学品供应系统
化学系统流程图（二）
I2+KI溶剂供应流程图：
化学供应系统
化学系统流程图（三）控制系统
化学品供液流程： 机台提出供酸需求，启动CDM（化学供应柜）循环过滤后，打开VMB（分阀箱）内气动
阀，将化学品供应至机台。
TOOL 机台
SCADA 计算机
循环过滤25秒 后供酸
主管路
PLC
CDM 化学供应柜
化学品供应系统
4.化学设备PID图 H2SO4/H3P04 PID
化学品供应系统
HCl/BOE/HF/DEV/NH4OH/H2O2 PID
化学品供应系统
I2+KI PID
化学品供应系统
IPA/EBR/NMP/Remover PID
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