一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析

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第２５卷第１期
２１０２年１月
传感技术学报
ＣＮＥＥＪＵＲＬＯＦＳＮＯＮＤＡＴＴＳＨＩＳＯＮＡＥＳＲＳＡＣＵＡＯＲ
Ｖｏ．５Ｎｏ１１２．
Ｊｎ２２ａ．０１
ＤｅｉｎａｄＡｎｌｓｓｏｖｌＤｉｆｒｎｔｌＳ－ｓｄｓｇｎａｙｉｆａＮｏｅｆｅｅｉｉＢａｅａ
一
种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析冰
樊尚春，苗苗，孙李成
ｍａｕａｔｒｇｐｏｅｓｓｒｓｎｅ．ｎｌｉｌｎｎｔｅｅｎｎｌｓ（ＥｍｔｏｓｒａｐｅｐｉｉｅｎｆｃｉｒｃｓｉｐｅｅｔｄＡａｔａａｄｆｉｌｕｎｙｃｉｅｍｅｔａｉＦＡ）ｅｄｅｐｌｄｔｏｔｚｔａｙｓｈａｉｏｍｅｈ