电子元器件防静电工艺规范

电子元器件防静电工艺规范

1范围

本标准规定了科学保护电子元器件，减少静电对产品的损害，提升我们的产品质量。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

ANSI/ESDS2020 静电放电控制程序

IED61340-5-1 电子器件静电的防护——基本要求

GB 12014 防静电服

GB12158 防止静电事故通用导则

GB/T 15463 静电安全术语

GB 21146 个体防护装备职业鞋

GJB/Z 25 电子设备和设施的接地, 搭接和屏蔽设计指南

GJB/Z 105 电子产品防静电放电控制手册

GJB 3007A 防静电工作区技术要求

SJ/T 10694 电子产品制造与应用系统防静电检测通用规范

3术语和定义

下列术语和定义适用于本标准。

3.1名词解释：

3.1.1静电：一种处于相对稳定状态的电荷。由它所引起的磁场效应较之电场效应可以忽略不计。

3.1.2静电放电（ESD）：是指带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时，因介质电离而使带电体上的静电荷部分或全部消失的现象。

3.1.3静电放电敏感器件（SSD或ESDS器件）：易于受静电放电损坏的电子器件（组件）。

3.1.4静电感应：在静电场影响下引起物体上电荷重新分布，并在其表面产生电荷的现象。

3.1.5静电耗散：将电子生产用的各类用品（装备）用ESD防护材料来制备。当因各种原因在其上产生静电时，通过静电消散使其静电不能在用品（装配）的某点或区域积聚，降低单位面积的静电电量，从而降低静电电位作用，防止静电放电的发生。

3.1.6静电泄露：将带电体上的电荷通过内部和其表面等途径，而使之部分或全部消失的现象。

3.1.7静电中和：将带电体上的电荷与其内部和外部相反极性的电荷（电子或离子）的复合而使所带静电荷部分或全部消失的现象。

3.1.8静电屏蔽与接地：对某些高压电源屏蔽与接地，从而避免静电场对SSD和SSD组件的感应及静电放电的产生。

3.1.9防静电工作区（EPA）：配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位，具有确定边界和专门标记的适于从事静电防护操作的场所叫防静电工作区；凡是操作或生产静电放电敏感电子产品（元器件）的场所，都应视为需要防静电的工作区，在该区域内不论是硬件还是软件管理都应符合防静电系统构成的要求。同时在工作区内任一指定空间所允行的对大地（接地）的静电电位值不超

过±100伏（A级），或者不超过±1000伏（B级）。见如下附图1：

1附图1:防静电工作区域

图1

1-防静电接地轮子 2-接地的工作表面 3-防静电仪表

4-鞋祙试验器 5-腕带和腕带接地 6-接地线

7-静电放电接大地装置 8-静电地 9-接地连接点

10-脚跟带（静电鞋） 11-消电器（离子风机） 12-防静电台（桌）垫

13-防静电椅 14-防静电地板 15-防静电工作服（带防静电帽）16-防静电存放架 17-防静电托盘（架） 18-防静电工作区警示标记

19-机器设备

3.1.10表面电阻：在一给定的通电时间后，施加于材料表面上的标准电极之间的直流电压对于电极之间的电流的比值，单位Ω。

3.1.11表面电阻率：沿试样表面电流方向的直流电场强度与该处电流密度之比，单位Ω/阻率：定义为单位宽度、单位长度材料的表面电阻值，即正方形材料两对边间的表面电阻值，单位为Ω，其数值大小与正方形的几何尺寸无关。

3.1.12体积电阻：在一给定的通电时间后，施加于材料的相对两个表面上的接触电极之间的直流电压与流过两电极电流的比值，单位Ω。

3.1.13体积电阻率：沿试样体积电流方向的直流电场强度与该处电流密度之比，单位为Ω·m。

3.1.14静电接地：将带静电物体或有可能产生静电体与大地构成电气回路的接地叫静电接地。

3.2测量仪表:

3.2.1手腕带/脚带/防静电鞋综合检测仪：用于检测手腕带，脚带，防静电鞋是否符合要求，一般设立在车间入口处较明显的位置，以方便测量。

3.2.2除静电离子风机检测仪：用于定期对离子风机平衡度和衰减时间进行检测及校验以确保离子风机工作在安全的指标范围。

3.2.3静电场探测仪：用于测量静电场以反映静电的存在，以电压形式读数，用来测试环境的静电强度。一般受环境影响和静电瞬间特性，很难真实反映实际情况。

3.2.4静电屏蔽袋测试仪：用于检测静电屏蔽袋的屏蔽效果。

3.2.5表面电阻测量仪：用于测量材料表面电阻，体积电阻。

3.3人体静电防护用品：防静电工作服、防静电鞋（鞋束）、手腕带、手套（指套）、帽子、袜子。

生产现场人员配具见附表:岗位作业过程人体防静电配具表。

3.3.1防静电工作服：防静电工作服采用导电纤维和棉等混纺制成，或用渗碳或导电合成纤维布制作。当与其它物体摩擦时，产生的静电通过导电维与人体的接触泄露或通过导电纤维间的电晕放电、耗散，从而防止静电积累。

3.3.2防静电鞋（导电鞋）：该鞋鞋底是用加入导电材料的合成橡胶（橡塑）制成，用以将ESDS器件操作人员所带静电荷泄露大地，防止人体静电积累。3.3.3防静电腕带和脚带：操作ESDS器件的人都应使用防静电腕带和脚带，腕

带和脚带的作用是迅速将人体静电荷泄露到大地。一航的防静电腕带由带扣、带子和接地连接线组成。带子、带扣和接地连接线具有良好的电气接触。为了保证操作人员安全，通常在腕带的接连接线上串有一只1MΩ电阻，以限制人体触电时流过的电流不大于5毫安。

3.3.4防护指套：操作ESDS的器件的人所使用的指套，是用加入抗静电剂的乳胶制成，用以预防ESDS器件因不等电位造成损失。指套的表面和体积电阻应低于1×109Ω。

3.3.5防静电袜子：防静电袜子是在袜底材料中植入导电丝制备而成，用来实现人体和导电鞋的电气接触。袜底电阻不应大于1×108Ω。

3.3.6工作帽：制作帽子材料和工作服一样，不仅用于防静电，而且具有防止操作人员头部尘埃，毛发掉落ESDS器件的防尘作用。

4岗位防静电策略：

4.1静电接地工程：

4.1.1一般情况下，由于静电接地泄放静电有时会产生较高脉冲，对仪器产生干扰；以及仪器设备漏电时，对人体造成安全危险，因此静电接地系统与设备接地系统要分开，其接地地桩应相距至少10m。

4.1.2接地系统选地时应注意土壤电阻率要小于5*104Ω.m，接地体与土壤的接触面积极要大，接触密度要高，接触要紧。静电接地电阻一般要求小于2Ω。4.2电子一般操作岗位了防静电策略：

见附表1：岗位作业过程人体防静电配具表