四探针操作规范

编号：XN/WI021-ZG-2009

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生效日期：2009.08

版本/修改:A/0

四探针操作规程

1．目的

测试薄膜电阻率及方块电阻。

2．范围：

新能研发中心实验室

3．责任

实验室设备负责人，负责设备的使用及日常维护与点检并填写设备使用记录。4．操作流程

4.1 测试前的准备：

4.1.1将电源插头插入仪器背面的电源插座,电源开关置于断开位置；

4.1.2将手动测试架的插头与电气箱的输入插座连接好；

4.1.3将电源开关至开启位置，数字显示，仪器通电预热10分钟；

4.1.4对测试样品进行一定的处理；

4.1.5 测试样品置于样品架上，放下测试架使探针能与样品表面良好接触，并保持一定压力；

4.1.6调节室内温度及湿度使之达到测试要求。

4.2 测试:

4.2.1打开四探针仪，电脑开机，打开四探针操作软件RTS-9操作系统；

4.2.2放置样品在测试台，操作探针太下压探针和待测表面接触良好，使用过程中注意保护探头，样品接通后通电流；

4.2.3选择测试方阻还是电阻率，若是对样品电阻率以及方阻没有大致的估计，则进入自动测量；

4.2.4自动测量，按照提示调节界面上的电流量程为10μA，调节测试仪主机右上角旋钮，显示电流为10.000μA；

4.2.5点击【自动测量】进入测量，【统计测试数据】窗口显示样品测试点的测量数据；

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4.2.6手动测量，若是知道大致的数据或者已经进行了自动测量以后进行精确验证，可以进行手动测量，根据量程决定电流大小；

4.2.7点击【测量】开始输出结果，【统计测试数据】窗口显示样品测试点的测试数据；

4.2.8调整测试点的位置，重复测试步骤；

4.2.9然后对测量的数据进行打印，保存，生成EXCEL文件；

4.2.10测量完毕，升起测试架，套上探针保护套，关断电源，清洁整理。

5．注意事项:

5.1 电阻率、方块电阻测量时选择合适的电流量程。

5.2压下探头时,压力要适中,以免损坏探针。

5.3由于样品表面电阻可能分布不均,测量时应对一个样品多测几个点,然后取平均值。

5.4样品的实际电阻率还与其厚度有关,还需查附录中的厚度修正系数,进行修正。6．设备日常维护点检

按照《实验室设备周点检表》中的项目进行检查。

7．相关记录

《实验室设备周点检表》

拟制：审核：批准：

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附图：四探针操作流程图