元器件抗ESD基础知识

目录

1.1 引

什么是电子元器件？1.1 引

电子元器件为什么要防静电放电（ESD）损伤？

1.1 引 1.1 引

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电子制造过程的静电防护及检测技术

1.2 1.21.2 1.21.3 静电的产生 1.3 静电的产生静电是怎样产生的？

1.3 静电的产生

1.3 静电的产生

与电子元器件行业相关的产生静电的方式有哪些？中国赛宝

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1.3.1 摩擦产生静电 1.3.1 摩擦产生静电

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1.3.2 感应产生静电

感应是怎样产生静电的？有什么特点?

显然，非导体不能通过感应产生静电。

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1.3.3例如：

自动化生产中非常常见；包装袋,文件夹等IPC:撕扯胶带的动作能产生20000V的电压

1.3.4

1.4 静电的来源1.4.1 人体静电人体是最重要的静电源:

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1.4.1 人体静电

图1.2 操作者手上的静电return

1.4.1 人体静电

1.4.2 仪器和设备的静电

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1.4.3 器件本身的静电

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电子元器件的外壳(主要指陶瓷、玻璃和塑料 1.4.4 其它静电来源

⏹服装1.5 静电放电的三种模式 1.5 静电放电的三种模式

1.5 静电放电的三种模式电子制造过程的静电防护及检测技术

1.5.1 带电人体的放电模式

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图1.3 人体放电模拟

1.5.2 带电机器的放电模式

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1.5.3 充电器件的放电模型

带电器件模型(Charged-Device Model，CDM)来描述。

图1.4 充电器件放电实例

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1.5.3 充电器件的放电模型

图1.7 带电器件的静电放电模型（a ）双极型器件（b ）MOS 器件

双极型器件的CDM等效电路如下图1.7(a)所示，Cd为着的Rd、Cd和Ld等效于带电器件。

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1.6 静电放电失效

失效模式失效机理

1.6.1 失效模式

电子元器件由静电放电引发的失效可分

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1.6.1 失效模式

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突发性失效是指元器件受到静电放电损伤后，突然完集成电路的金属化互连或键合引线的熔断MOS电容介质击穿短路等。

1.6.1 失效模式

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1.6.1 失效模式

1.6.2 失效机理 1.6.2 失效机理

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1.6.2 失效机理---⏹1.6.2 失效机理---

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（1）静电能量－静电电荷的能量表示

（2）功率－单位时间释放的能量

（3）功率密度－通过单位面积释放的功率

1.6.2 失效机理--- 1.6.2 失效机理---1.6.2 失效机理--- 1.6.2 失效机理