MF系列工业用气体质量流量计

产品特点
采 用 微 机 电 系 统 芯 片 加 工 技 术 和 大 规 模 集 成 电 路 的 生 产 技 术 及 材 料 生 长 技 术 ，传 感 器 的 尺 寸 缩 小 到 了 微 米 量 级 ，使 该 流 量 计 的 灵 敏 度 大 大 提 高 。 在 单 个 芯 片 上 实 现 了 多 传 感 器 集 成 ，使 该 流 量 计 的 量 程 比 （范 围 度 ）大 大 提 高 。 传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。 结 合 二 次 仪 表 的 微 电 脑 智 能 技 术 ，使 流 量 计 重 复 性 好 ，实 现 了 计 量 准 确 可 靠 。 技 术 进 步 带 来 的 结 构 简 化 ，使 流 量 计 较 之 传 统 的 机 械 式 仪 表 ，压 力 损 失 大 幅 度 减 小 ，极 大 地 降 低了能源消耗。 采 用 LCD显 示 瞬 时 流 量 和 累 计 流 量 ，清 晰 直 观 ，读 数 方 便 。 产 品 融 合 了 电 磁 兼 容 设 计 技 术 ，具 有 更 高 抗 干 扰 能 力 。 本 流 量 计 带 有 RS485通 讯 模 块 ，配 合 上 位 计 算 机 网 络 可 实 现 集 中 管 理 。 可 以 选 配 4~20mA标 准 电 流 信 号 输 出 和 脉 冲 输 出 。 通 过 国 家 防 爆 认 证 ，标 志 为 ExiaIICT4，可 用 于 易 燃 易 爆 气 体 。
数据存储
可自动存储数据，1000条实时流量，500条日总流量
输出（选项）
RS485; 4～20mA; 脉冲
用户控制（选项） 用户界面软件
防护等级
IP65
防爆等级
ExiaIICT4
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矽 翔MEMS流 量 产 品 系 列
五、安装说明 5.1 外形尺寸
（ 图 5-1） 流 量 计 外 形 尺 寸
二、产品分类形式及选型说明
选型方式按照如下规则确定： MF
气体介质（A-空气；N-氮气；O-氧气；R-氩气；C-二氧化碳； H-氢气；其它气体与厂商联系。）
输出（A-4~20mA；B-RS485；D-脉冲；可选B, AB, BD, ABD）
最大工作压力（XXMPa；例：06-0.6MPa）
3
3
最大流量（Nm /h；例：450-450Nm /h）
本 流 量 计 主 要 由 电 源 模 块 、MEMS流 量 传 感 芯 片 、信 号 处 理 模 块 、A/D转 换 模 块 、EEPROM存 储 器 、 RTC实 时 时 钟 模 块 以 及 显 示 模 块 组 成 。见 流 量 计 原 理 框 图 3-2。
用户设备 （计 算 机 或 仪 表 ）
5.2 流量计安装尺寸
型 号 规 格 连 接 方 式 通 径 （mm） L H D d K n-L
参考标准
MF25
F
25
300 309 115 25 85 4 -φ14
MF32
F
32
300 323 140 32 100 4 -φ18
MF40
F
40
300 331 150 40 110 4-φ18
MF50
铭牌
用户界面连接插头
累计流量 瞬时流量
总量
88888888
Nm3 888
流量 888888 888 Nm3/h
传感器连接部件
智 能 表 头 （检 控 部 件 ） 测量管体
标准法兰
气流方向 表体站立稳定楔
（ 图 3-1）微 机 电 气 体 质 量 流 量 计 结 构 图 注 ：（用 户 界 面 连 接 插 头 ： 包 括 外 部 供 电 接 口 、RS485、4~20mA、脉 冲 输 出 ）
4~20mA 信号
转换模块
脉冲 输出模块
+5V
电源 +6.5V 模 块
+8~24VDC
总量
88888888
Nm3
888
流量 888888 888 Nm3/h
液晶显示 驱动模块
RS485 通讯接口
微控制器
EEPROM 存储器
MEMS流 量 传感芯片
信号处理 模块
A/D 转换器
RTC 实时时钟
模块
四、技术指标
免强行旋转带来的产品损坏。管道的连接和检漏应按相应的操作规程进 行。 4. 在产品使用过程中，或在在线情形下，清洗管道或其他可能引入大量杂质 的操作将可能对产品带来损坏。 5. 在产品安装过程中，严禁实施在线电焊作业。 6. 本产品有一定的自重，安装和搬运应按操作规程进行，以免带来伤害。
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矽 翔MEMS流 量 产 品 系 列
目录
使用需知
1
注意事项
1
目录
2
一、概述
3
二、产品分类形式及选型说明
3
三、产品结构与工作原理
4
四、技术指标
5
五、安装说明
6
六、功能说明
8
七、检定
9
八、本安防爆
10
九、维修和故障排除
10
十、运输及储存
11
十一、开箱及检查
11
十二、客户服务及技术支持
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附录：体 质 量 流 量 计
一、概述
微 机 电 气 体 质 量 流 量 计 是 矽 翔 微 机 电 系 统 有 限 公 司 结 合 微 机 电 系 统 （MEMS） 流 量 传 感 芯 片 技 术 和 计 算 机 自 适 应 技 术 历 经 多 年 ，开 发 出 的 智 能 化 全 电 子 式 气 体 质 量 流 量 仪 表 。主 要 技 术 性 能 处 于 国 际 领 先 水 平 ，具 有 高 灵 敏 度 、高 精 度 、大 量 程 比 等 特 点 ；针 对 工 业 环 境 ，融 合 了 多 种 抗 干 扰 措 施 的 电 磁 兼 容 设 计 ；且 具 有 多 种 信 号 输 出 ，能 通 过 通 讯 接 口 实 现 网 络 管 理 功 能 ；本 产 品 在 性 能 、安 装 、维 护 方 面 也 具 有 其 独 特 的 优 越 性 ，可 广 泛 应 用 于 石 油 、燃 气 、化 工 、冶 炼 、能 源 等 各 个 领 域 。 本 系 列 流 量 计 执 行 标 准 为 ：Q/77453766-1·1-2009。参 照 执 行 标 准 : ISO14511；GB/T 20727-2006。 本 系 列 流 量 计 生 产 许 可 证 号 ： 川 制 00000360号 ； 沪 制 01150240号 。防 爆 许 可 证 ：GYB06443。
不为任何因不当使用本产品带来的损害负责。其它事宜以销售合同为准。
注意事项
1. 本产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常工作。 2. 在具有爆炸性气体的环境中使用本产品时，产品应安装在具有上下游阀门
的管道中，并严防因其它气体的渗入带来的安全隐患。 3. 本产品带显示的表头可单方向旋转180度。安装时，应按旋转方向旋转，避

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M F系 列 气 体 质 量 流 量 计
3.2 工作原理
微 机 电 系 统 (MEMS)芯 片 传 感 技 术 ，是 在 硅 芯 片 上 集 成 了 具 有 机 械 和 电 子 特 征 的 微 米 级 传 感 器 。它 并 不 是 简 单 地 将 机 械 和 电 子 功 能 微 缩 在 芯 片 上 ，而 是 采 用 了 现 代 材 料 制 作 技 术 与 大 规 模 集 成 电 路 技 术 相 结 合 获 得 新 的 机 电 特 性 。微 机 电 系 统 芯 片 可 获 得 某 些 宏 观 机 电 器 件 所 不 能 达 到 的 功 效 。 MF系 列 质 量 流 量 计 采 用 了 本 公 司 生 产 的 热 质 量 气 体 流 量 传 感 芯 片 ，属 于 质 量 流 量 传 感 方 式 的 流 量 计 ，它 是 通 过 气 体 流 动 产 生 的 热 场 变 化 来 测 量 气 体 流 量 的 。由 于 不 同 质 量 的 气 体 对 热 场 的 变 化 具 有 不 同 的 影 响 ，因 而 ，它 所 测 量 的 流 量 为 质 量 流 量 。 不 同 于 传 统 的 “热 丝 ”方 式 采 用 单 一 热 传 感 器 及 热 源 来 测 量 气 体 的 质 量 流 量 （风 速 式 热 质 量 流 量 原 理 ），微 机 电 系 统 芯 片 热 质 量 流 量 传 感 器 采 用 了 多 个 热 传 感 器 及 一 个 微 热 源 （量 热 式 热 质 量 流 量 原 理 ），大 大 减 少 了 环 境 对 测 量 的 影 响 。微 机 电 系 统 芯 片 热 质 量 流 量 传 感 器 的 热 源 十 分 微 小 ，采 用 插 入 式 在 相 对 大 的 流 场 中 ，在 无 气 体 流 动 时 ，传 感 器 的 热 源 对 环 境 无 影 响 ，不 会 像 传 统 的 “热 丝 ”式 质 量 流 量 计 那 样 造 成 气 体 的 对 流 。因 而 ，微 机 电 系 统 芯 片 热 质 量 流 量 传 感 器 具 有 优 良 的 零 点 稳 定 性 和极短的响应时间。
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最小流量（Nm /h；例：05-0.5Nm /h）
防爆（E-防爆型；e-非防爆型）
连接方式（N-NPT；B-BSPT；F-GB法兰）
规格代号（流量计内径，阿拉伯数字，单位为mm）
产品系列代号
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矽 翔MEMS流 量 产 品 系 列
型号规格
MF25 MF32 MF40 MF50 MF65 MF80 MF100 MF150 *
三、产品结构与工作原理
3.1 产品结构
本 流 量 计 主 要 由 微 机 电 系 统 （MEMS） 流 量 传 感 器 部 件 、 智 能 控 制 、 显 示 及 输 出 部 件 、 测 量 管 体 、 稳 流 器 、法 兰 及 过 渡 部 件 组 成 。其 组 成 部 分 如 图 3-1所 示 。