2多晶硅片腐蚀清洗工艺规程1

多晶硅片腐蚀清洗工艺规程

1、适用范围

适用于深圳捷佳创精密设备有限公司的六槽清洗机、八槽清洗机的腐蚀清洗的生产。

2、工艺参数：

3、准备工作

3.1、配制腐蚀液

3.1.1、八槽清洗机

●按NaOH ：H2O == 100g : 1L 的比例的溶液注入第一槽，容量达到规定要求。

●按HNO3：HF ：H2O＝15g ：150g：1L的比例的溶液分别注入四、五、六槽，容量达到规

定要求。

3.1.2、六槽清洗机

●按HF ：HN4F :：H2O == 40g : 5g ：1L 的比例的溶液注入第一槽，容量达到规定要求。

●按HCL ：H2O == 100g ：1L 的比例的溶液注入第三槽，容量达到规定要求

●按HCL ：H2O == 30g ：1L 的比例的溶液注入第四槽，容量达到规定要求

3.2、确认各槽清洗温度设定及分布正常。

3.3、确认各槽清洗状态正常，各槽内注入规定的溶液正确。

3.4、确认各槽控制系统工作正常，程序准确，时间设定准确。

3.5、确认氮气流量为5L/min

4、操作过程

4.1、确认投入作业的硅片的型号、批号、数量、工序。

4.2、戴好一次性手套，双手将片子一片一片地插入片架内。（如果片子经过超声清洗过的片子，

就无需这样做，直接做下工序）

4.3、用双手操作，将插满硅片的片架按顺序平稳地放入清洗花篮内。

4.4、用双手将放有硅片的清洗花篮挂上机械手臂上。

4.5、再检查一遍运行程序正常，符合工艺要求。按下“启动”键，程序开始运行。

4.6、八槽清洗机运行时，随时查看运行状况，确保运行正常。

4.7、程序运行结束，设备报警提示。

4.8、双手操作，取出清洗花篮。转移到六槽清洗机的机械手臂上。

4.9、再检查一遍运行程序正常，按下“启动”键，程序开始运行。（此步同八槽清洗机同步进行）4.10、六槽清洗机运行时，随时查看运行状况，确保运行正常。

4.11、程序运行结束，设备报警提示。

4.12、双手操作，取出清洗花篮，放入专用推车上运至甩干机傍，做甩干。

4.13、按《八槽清洗机添加液规定》对八槽清洗机的一、四～六槽添加清洗液

4.14、按《六槽清洗机添加液规定》对六槽清洗机的一、三、四槽添加清洗液

4.15、按3.1～3.11的步骤，进行下一轮的清洗。

4.16、正确填写好随件单及碎片表，送下工序。

5、注意事项

5.1、操作时，必须按酸、碱清洗要求穿戴好相关的个人防护用品。

5.2、检查各槽的显示温度、时间要正确，否则汇报工序负责人解决。

5.3、可不定期抽查绒面，发现异常情况及时汇报有关人员，及时解决，保证畅通。（绒面标准，

看样本）

5.4、操作时必须安全使用化学试剂及安全使用清洗机。

5.5、按规定每8小时检测腐蚀液、清洗液的浓度，根据检测浓度及时调整添加腐蚀液、清洗液。

5.6、操作时注意六槽清洗机第一槽清洗时需避光操作。

5.7、注意：推车上层只允许放清洗片，下层可以放其它物品，同时注意储水桶内的水及时倒掉，、、、、

保持车子的清洁。

5.8、每隔12小时更换腐蚀液、清洗液。

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日期：

发放部门：制造部制造部工场品管部