20140124 LBSF 高效晶体硅太阳电池铝浆
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测试时间:10 min 终止条件:铝背场有粉体脱落 测试结果: 在70℃去离子水中均无脱粉现象，判断结果合格。
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28D22&28D26系列产品介绍及样品推荐
28D22&2826系列产品性能介绍
①自我实验条件下资料（6寸单晶硅片）
铝浆型号 开膜参数 28D22 28D26 线宽：40μm，间距：1.0mm
烧结后EVA层压拉力测试结果
拉力测试角度：反向180°，拉力速度
300mm/min EVA为福斯特806， 厚度0.5mm
胶带测试
260℃ 烘干后 烘干后不脱粉,不污染烘干网带
烧结后 烧结后3M胶撕拉不脱粉
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
6、热水测试 测试条件： 水体:去离子水
测试温度:70℃
Local-BSF高效太阳电池简介
工艺流程
Polishing Texturing in single surface Phosphorus diffusion, 80ohm/sq Etching rear junction and PSG
Screen-printing Al paste, drying
2
Local-BSF高效太阳电池简介
finger SiNx:H ARC n+ layer
结构
增加了背面钝化 背面局部接触
Al-LBSF
p-Si
rear contact
SiNx膜厚度~150nm， 线宽20-40µm， 间距1mm， 开孔率1-4%。
Al2O3/SiNx or SiO2/ SiNx
背抛光、镀膜、开线设备
背钝化窗口的制作有激光开线和激光开点，但由于 激光开点的技术仍待优化，目前激光开线成为主流。
优点
保持了背面场效应 背面钝化降低了载流子复合 提高了开压和短流（结合其它电池 技术单晶最高转换效率可达23%）
3
1. 2. 3.
抛光设备：RENA, SCHMID; 激光设备：蒂尔； 镀膜(Al2O3)设备： 芬兰的ALD设备BENEQ, 德国的ROTH&RAU，SCHMID的APCVD
背钝化高效晶体硅太阳电池工艺制程对铝浆要求：
1、对钝化膜（氮化硅/氧化硅/氧化铝）破坏小 2、空洞率低、BSF层均匀、接触电阻小 3、翘曲、附着力和可靠性测试合格
5
儒兴Local-BSF铝浆的基本参数
铝含量
70~80% 15000~25000 mPa· s (Brookfield CAP2000+锥板 粘度计,25℃,可按客户要求调节) ≤25 µm (QXD-50型刮板细度计检测) ≤60mΩ/□(41/2位数字多用表测量)
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28D22&28D26系列产品介绍及样品推荐
②客户验证数据（6寸单晶）
Uoc
Isc
Rs
Eta
28D22
28D26
668
669
9523
9481
0.003
0.003
20.55
20.47
③样品推荐
28D22-1 28D22系列中耐水煮及电性优的样品
耐水煮性能：70 ℃去离子水水煮20min不与水发生反应。
粘度
细度 方阻
6
ห้องสมุดไป่ตู้
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
1.印刷工艺
铝浆类型 Local-BSF铝浆 网版类型 不锈钢丝网 网版目数 250-325目 印刷湿重/g 6寸wafer 1.00-1.30 5寸wafer 0.60-0.90
垂直于开线方向截面图 铝层厚度约20um
21.0um
20.2um
20.8um
Ncell (%)
填孔率 L-BSF层厚度 特点
19.48
40%-50% 5-6μm 电性优和附着力强
19.52
50%-60% 4-5μm 电性优翘曲低和填孔率高
由于实验室片源及设备条件所限，以上数据仅供参考。
13
28D22&28D26系列产品介绍及样品推荐
填充效果L-BSF图：
28D22
28D26
Laser ablation
Depositing SiNx:H ARC in front side
Depositing Al2O3/SiNx :H by PECVD or ALD
Screen-printing Ag fingers, drying
Co-firing
I-V testing
4
工艺制程对Local-BSF铝浆的要求
在不同的线宽条件下，儒兴铝浆都能形成饱满的填充和良好、稳定的BSF层 9
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
4.电性
在单纯应用背钝化和激光开线情况下，应用了儒兴铝浆的单晶电池电性可达>20.5 %。
10
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
5、附着力
EVA测试
在30-40um线宽,1mm间距的开槽工艺下,平 均拉力>10N/cm。 层压参数：144℃，16min，
15
效率源于携手
16
7
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
2.对钝化膜的腐蚀破坏
烧结后采用一定比例的酸去除铝层后观察钝化层腐蚀情况：
SiNx层没有被 腐蚀
表观平整均匀无铝珠
线宽为40微米的类单芯片印刷儒兴铝浆烧结后溶去铝层图
8
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
3.填充率和BSF层情况
40um
60um
80um
100um
Local-BSF高效晶体硅太阳电池铝浆
儒兴科技开发有限公司 2014.01.24
1
目录
1. Local-BSF高效晶体硅太阳电池简介
2. 工艺制程对Local-BSF铝浆的要求
3. Local-BSF铝浆的基本参数 4. 儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
5. 28D22&28D26系列产品介绍及样品推荐
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28D22&28D26系列产品介绍及样品推荐
28D22&2826系列产品性能介绍
①自我实验条件下资料（6寸单晶硅片）
铝浆型号 开膜参数 28D22 28D26 线宽：40μm，间距：1.0mm
烧结后EVA层压拉力测试结果
拉力测试角度：反向180°，拉力速度
300mm/min EVA为福斯特806， 厚度0.5mm
胶带测试
260℃ 烘干后 烘干后不脱粉,不污染烘干网带
烧结后 烧结后3M胶撕拉不脱粉
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
6、热水测试 测试条件： 水体:去离子水
测试温度:70℃
Local-BSF高效太阳电池简介
工艺流程
Polishing Texturing in single surface Phosphorus diffusion, 80ohm/sq Etching rear junction and PSG
Screen-printing Al paste, drying
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Local-BSF高效太阳电池简介
finger SiNx:H ARC n+ layer
结构
增加了背面钝化 背面局部接触
Al-LBSF
p-Si
rear contact
SiNx膜厚度~150nm， 线宽20-40µm， 间距1mm， 开孔率1-4%。
Al2O3/SiNx or SiO2/ SiNx
背抛光、镀膜、开线设备
背钝化窗口的制作有激光开线和激光开点，但由于 激光开点的技术仍待优化，目前激光开线成为主流。
优点
保持了背面场效应 背面钝化降低了载流子复合 提高了开压和短流（结合其它电池 技术单晶最高转换效率可达23%）
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1. 2. 3.
抛光设备：RENA, SCHMID; 激光设备：蒂尔； 镀膜(Al2O3)设备： 芬兰的ALD设备BENEQ, 德国的ROTH&RAU，SCHMID的APCVD
背钝化高效晶体硅太阳电池工艺制程对铝浆要求：
1、对钝化膜（氮化硅/氧化硅/氧化铝）破坏小 2、空洞率低、BSF层均匀、接触电阻小 3、翘曲、附着力和可靠性测试合格
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儒兴Local-BSF铝浆的基本参数
铝含量
70~80% 15000~25000 mPa· s (Brookfield CAP2000+锥板 粘度计,25℃,可按客户要求调节) ≤25 µm (QXD-50型刮板细度计检测) ≤60mΩ/□(41/2位数字多用表测量)
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28D22&28D26系列产品介绍及样品推荐
②客户验证数据（6寸单晶）
Uoc
Isc
Rs
Eta
28D22
28D26
668
669
9523
9481
0.003
0.003
20.55
20.47
③样品推荐
28D22-1 28D22系列中耐水煮及电性优的样品
耐水煮性能：70 ℃去离子水水煮20min不与水发生反应。
粘度
细度 方阻
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ห้องสมุดไป่ตู้
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
1.印刷工艺
铝浆类型 Local-BSF铝浆 网版类型 不锈钢丝网 网版目数 250-325目 印刷湿重/g 6寸wafer 1.00-1.30 5寸wafer 0.60-0.90
垂直于开线方向截面图 铝层厚度约20um
21.0um
20.2um
20.8um
Ncell (%)
填孔率 L-BSF层厚度 特点
19.48
40%-50% 5-6μm 电性优和附着力强
19.52
50%-60% 4-5μm 电性优翘曲低和填孔率高
由于实验室片源及设备条件所限，以上数据仅供参考。
13
28D22&28D26系列产品介绍及样品推荐
填充效果L-BSF图：
28D22
28D26
Laser ablation
Depositing SiNx:H ARC in front side
Depositing Al2O3/SiNx :H by PECVD or ALD
Screen-printing Ag fingers, drying
Co-firing
I-V testing
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工艺制程对Local-BSF铝浆的要求
在不同的线宽条件下，儒兴铝浆都能形成饱满的填充和良好、稳定的BSF层 9
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
4.电性
在单纯应用背钝化和激光开线情况下，应用了儒兴铝浆的单晶电池电性可达>20.5 %。
10
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
5、附着力
EVA测试
在30-40um线宽,1mm间距的开槽工艺下,平 均拉力>10N/cm。 层压参数：144℃，16min，
15
效率源于携手
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儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
2.对钝化膜的腐蚀破坏
烧结后采用一定比例的酸去除铝层后观察钝化层腐蚀情况：
SiNx层没有被 腐蚀
表观平整均匀无铝珠
线宽为40微米的类单芯片印刷儒兴铝浆烧结后溶去铝层图
8
儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
3.填充率和BSF层情况
40um
60um
80um
100um
Local-BSF高效晶体硅太阳电池铝浆
儒兴科技开发有限公司 2014.01.24
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目录
1. Local-BSF高效晶体硅太阳电池简介
2. 工艺制程对Local-BSF铝浆的要求
3. Local-BSF铝浆的基本参数 4. 儒兴Local-BSF铝浆的应用效果
5. 28D22&28D26系列产品介绍及样品推荐