激光聚焦光斑的大小
合集下载
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
激光聚焦光斑的大小
LINOS（德国利诺斯光电有限责任公司）的扫描镜资料说，当激光束质量1/ E²=1，其焦斑直径（øspot）由下式计算：
øspot = 1.83 x λ x EFL / øbeam
øspot: 焦斑直径[μm]
1.83: 切趾的因子
λ: 波长[μm]
EFL: 焦距[mm]
øbeam:入瞳直径[mm]
注意公式单位不同，在公司规格表里取3个进行验算，结果用蓝字写在旁边，原表15/22/39都是取整值。