微流控芯片制作与修饰ppt

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微结构的形成
2．模版浇注法 （模塑法）
Process overview for mass manufacturing of plastic microfluidic systems
• 适合聚合物材料。
• 大批量生产时源自文库本低。
Anal. Chem., 2002, 74, 78A-86A
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微结构的形成
汶颢芯片
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芯片制作与修饰
微结构的形成 1．经典的光刻技术
• 适合硅、玻璃、石英等材 料，与传统的半导体工业 的方法一致。
• 分为湿法和干法两种，干 法的分辨率较湿法高，相 应的制造成本也高。
Analyst, 2004, 129, 305–308
Photolithograph procedures for making glass template. (a) Spine coating of photoresist, (b) covered with photo mask, (c) exposure, (d) developing, (e) etching, and (f) removal of photoresist.
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等离子清洗机(plasma cleaner):也叫等离子表面处 理仪，是一种全新的高科技技 术，利用等离子体来达到常规 清洗方法无法达到的效果。等 离子体是物质的一种状态，也 叫做物质的第四态。对气体施 加足够的能量使之离化便成为 等离子状态。等离子体的“活 性”组分包括：离子、电子、 活性基团、激发态的核素（亚 稳态）、光子等。等离子清洗 机就是通过利用这些活性组分 的性质来处理样品表面，从而 实现清洁等目的。
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微结构的形成
用激光直接在聚合物或 玻璃上加热形成微结构.
Anal. Chem., 1997, 69, 2035 -2042
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光刻机:光刻机/紫外曝光机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机， 曝光系统，光刻系统等。常用的光刻 机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System. 一般的光刻工艺要经历硅片表面清 洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、 对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、 等工序 Photolithography（光刻） 意思是 用光来制作一个图形（工艺）； 在硅片表面匀胶，然后将掩模版上 的图形转移光刻胶上的过程将器件或 电路结构临时“复制”到硅片上的过 程。
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数控机床:是数字控制机床（Computer numerical control machine tools ）的简 称，是一种装有程序控制系统的自动化机床。 该控制系统能够逻辑地处理具有控制编码或 其他符号指令规定的程序，并将其译码，用 代码化的数字表示，通过信息载体输入数控 装置。经运算处理由数控装置发出各种控制 信号，控制机床的动作，按图纸要求的形状 和尺寸，自动地将零件加工出来。数控机床 较好地解决了复杂、精密、小批量、多品种 的零件加工问题，是一种柔性的、高效能的 自动化机床，代表了现代机床控制技术的发 展方向，是一种典型的机电一体化产品。
3．模版热压法
• 适合热塑性聚合物。
Applied Physics Letters, 2002, 80, 3614-3616
Schematic representation of the fabrication method involving hotembossing of thermoplastic polymer pellets and thermal bonding.
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注射泵：注射泵由步进 电机及其驱动器、丝杆 和支架等构成，具有往 复移动的丝杆、螺母， 因此也称为丝杆泵。螺 母与注射器的活塞相连， 注射器里盛放药液，实 现高精度，平稳无脉动 的液体传输。
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