污染物排放及治理方案
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表 3-5 废水主要污染物处理情况统计
废水处 废水
理系统
生产 废水
悬浮废 水处理 系统
研磨废 水处理 系统
含氟废 水处理 系统
生活 预处理 污水 池
厂区 污水 总排口
废水 处理
量 t/d 12
8
26
19.8
65.8
主要污 染物
COD BOD5
SS COD BOD5 SS
COD
BOD5 SS F COD
研磨废水处理系统 （斜管沉淀）
含Biblioteka Baidu废水处理系统 （氟化钙絮凝沉淀法+酸碱综合）
生活污水预处理池 （格栅处理）
本次环评废水主要污染物浓度类比《天威新能源（成都）硅片有限公司多晶 硅片二期工程》相关数据，天威新能源（成都）硅片有限公司多晶硅片二期工程 产品及生产工艺与本项目一致，产能与本项目相近，同时，该项目已取得环评批 复，类比数据真实有效。本项目废水处理设施中主要污染物处理前后的排放量和 浓度见下表：
集气罩捕集效率按 90%计，酸性废气洗涤塔设计系统总排风量 20000m3/h， 处理效率 80%，排气筒 1 根，排放高度 15m。酸性废气产生及排放情况见下表。
表 3-6 酸性废气产生及排放情况
废气 种类
排放参数
处理前
1、酸性废气 来源：本项目运营过程中，酸腐工序将使用少量硝酸和氢氟酸作为酸腐液 对硅棒进行浸洗，去除晶棒表面的机械损伤层；切片和研磨工序后端超声波清洗 工序使用氢氟酸、盐酸作为清洗剂，上述工序中中少量氟化氢气体、氯化氢气体
以及氮氧化物以酸雾形式挥发，酸性废气中主要污染物为氯化氢、氟化氢和氮氧 化物。
通过上述分析，本项目的废水处置情况统计如下：
表 3-4 废水种类及处置措施统计一览表
序 污染物 号 名称
1 悬浮废水
主要污染物 SS
水量 （m3/d）
12
2 研磨废水
SS
8
3
含氟废水
COD、 BOD5、SS、 pH、F-
26
4
生活污水 COD、BOD5、SS、 19.8
氨氮
小计
65.8
处理方式
悬浮废水处理系统 （絮凝沉淀）
治理措施：本项目在酸腐槽、超声波清洗槽内投加酸雾抑制剂（主要成分 液体石蜡）用于较小酸雾的挥发，同时，对酸腐槽、超声波清洗槽分别设置顶吸 罩对酸雾进行捕集后，汇总后由管道抽至末端废气洗涤塔采用碱液喷淋的方式处 理达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准后排放。
经类比分析可知，投加酸雾抑制剂后，酸雾产生量按酸使用量的 2%计，项 目盐酸、氢氟酸和硝酸年用量分别为 12t/a、8t/a 和 12t/a，公司年工作 300 天， 实行三班工作制，每班工作 8 小时，每天工作 24 小时，由此可计算出项目氯化 氢产生量为 0.24t/a，氟化氢产生量为 0.16t/a，氮氧化物产生量为 0.24t/a， 氯化氢产生速率为 0.033kg/h，氟化氢产生速率为 0.022kg/h，氮氧化物产生速 率为 0.033kg/h。
0.1 污染物排放及治理方案
0.1.1 废水排放及治理措施
本项目运营过程中废水主要为生产废水和生活污水，根据污染物的不同，采 用分类收集、分质处理的原则。
废水的排放及治理措施如下： 1、悬浮废水： 悬浮废水主要来源于滚磨和倒角工序，主要污染物为硅粉，产生量约 12m3/d。此类废水纳入悬浮废水处理系统采用絮凝沉淀方式处理后由公司废水总 排口排放。 2、研磨废水： 项目生产过程中，研磨工序使用 10μm 粒径的金刚砂作为研磨介质在水浴中 对硅片进行打磨，此工序将产生研磨废水，产生量约为 8m3/d，主要污染物为排 水中带出的少量金刚砂和打磨过程中进入水的硅粉。 研磨废水通过研磨废水处理系统采用斜管自然沉降的方式处理后由公司废 水总排口排放。研磨废水处理系统沉渣由于金刚砂供应商回收。 3、含氟废水： 本项目酸腐工序使用硝酸和氢氟酸混合液对硅棒进行酸腐处理，后端超声波 清洗工序使用纯水洗涤，酸腐后超声波清洗工序排水含氟化氢；同时，切片和研 磨工序后端超声波清洗工序使用氢氟酸配置清洗剂对硅片进行清洗，因此上述工 序排水为含氟废水；同时，项目设置废气洗涤塔对超声波清洗工序产生的酸性废 气（含有氟化氢）进行处理，废气洗涤塔排水为含氟废水。含氟废水中主要污染 物为 PH 和 F-。 含氟废水采用氟化钙絮凝沉淀法进行处理，即向含氟废水中投加过量 CaCl2 与废水中 F-生成 CaF2 沉淀（加入适量絮凝剂以使废水中的氟化钙形成便于分离 的矾花），当絮凝反应完成后，进入沉淀槽进行沉淀，上清液进入酸碱综合槽进 行酸碱综合处理后由公司废水总排口排放。含氟废水处理流程如下：
30
/
21.33
324
6.456
98
5.94
90
0.21
3.2
0.234
3.6
0.594
9.0
综上分析，本工程外排生产生活废水经处理后，能达到《污水综合排放标准》 (GB8978-1996)三级标准限值的要求，项目外排废水能做到达标排放。
0.1.2 废气排放及治理
本项目运营过程中废气主要为酸腐和超声波清洗工序产生的酸性废气和食 堂油烟。
0.594
30
处理后
排放量 排放浓 kg/d 度 mg/L
预计 处理效率
2.4
200
/
0.48
40
/
0.96
80
90%
1.6
200
/
0.32
40
/
0.4
50
90%
10.4
400
/
1.3
50
/
2.6
100
44%
0.234
9
90%
6.93
350
/
4.356
220
/
0.594
30
/
1.98
100
64%
0.594
CaCl2、絮凝剂
含氟废水
调节池
反应槽
沉淀槽
酸碱综合槽
污泥外运
废水总排口
图 3-3 含氟废水处理工艺流程
4、RO 纯水制备浓缩废水：
RO 浓缩水，直接经公司雨水口排放。
5、生活污水：
主要来自于员工生活和食堂废水，用水量 22m3/d，排放量约 19.8m3/d，废水
主要污染物为 COD、BOD5、SS、NH3-N、动植物油。生活污水通过预处理池处理后 由公司废水总排口排放。
BOD5 NH3-N
SS 动植物
油 COD BOD5 SS NH3-N
F 动植物
油
处理前
产生量 产生浓 kg/d 度 mg/L
2.4
200
0.48
40
9.6
800
1.6
200
0.32
40
4
500
10.4
400
1.3
50
4.68
180
2.34
90
6.93
350
4.356
220
0.594
30
5.544
280
废水处 废水
理系统
生产 废水
悬浮废 水处理 系统
研磨废 水处理 系统
含氟废 水处理 系统
生活 预处理 污水 池
厂区 污水 总排口
废水 处理
量 t/d 12
8
26
19.8
65.8
主要污 染物
COD BOD5
SS COD BOD5 SS
COD
BOD5 SS F COD
研磨废水处理系统 （斜管沉淀）
含Biblioteka Baidu废水处理系统 （氟化钙絮凝沉淀法+酸碱综合）
生活污水预处理池 （格栅处理）
本次环评废水主要污染物浓度类比《天威新能源（成都）硅片有限公司多晶 硅片二期工程》相关数据，天威新能源（成都）硅片有限公司多晶硅片二期工程 产品及生产工艺与本项目一致，产能与本项目相近，同时，该项目已取得环评批 复，类比数据真实有效。本项目废水处理设施中主要污染物处理前后的排放量和 浓度见下表：
集气罩捕集效率按 90%计，酸性废气洗涤塔设计系统总排风量 20000m3/h， 处理效率 80%，排气筒 1 根，排放高度 15m。酸性废气产生及排放情况见下表。
表 3-6 酸性废气产生及排放情况
废气 种类
排放参数
处理前
1、酸性废气 来源：本项目运营过程中，酸腐工序将使用少量硝酸和氢氟酸作为酸腐液 对硅棒进行浸洗，去除晶棒表面的机械损伤层；切片和研磨工序后端超声波清洗 工序使用氢氟酸、盐酸作为清洗剂，上述工序中中少量氟化氢气体、氯化氢气体
以及氮氧化物以酸雾形式挥发，酸性废气中主要污染物为氯化氢、氟化氢和氮氧 化物。
通过上述分析，本项目的废水处置情况统计如下：
表 3-4 废水种类及处置措施统计一览表
序 污染物 号 名称
1 悬浮废水
主要污染物 SS
水量 （m3/d）
12
2 研磨废水
SS
8
3
含氟废水
COD、 BOD5、SS、 pH、F-
26
4
生活污水 COD、BOD5、SS、 19.8
氨氮
小计
65.8
处理方式
悬浮废水处理系统 （絮凝沉淀）
治理措施：本项目在酸腐槽、超声波清洗槽内投加酸雾抑制剂（主要成分 液体石蜡）用于较小酸雾的挥发，同时，对酸腐槽、超声波清洗槽分别设置顶吸 罩对酸雾进行捕集后，汇总后由管道抽至末端废气洗涤塔采用碱液喷淋的方式处 理达到《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准后排放。
经类比分析可知，投加酸雾抑制剂后，酸雾产生量按酸使用量的 2%计，项 目盐酸、氢氟酸和硝酸年用量分别为 12t/a、8t/a 和 12t/a，公司年工作 300 天， 实行三班工作制，每班工作 8 小时，每天工作 24 小时，由此可计算出项目氯化 氢产生量为 0.24t/a，氟化氢产生量为 0.16t/a，氮氧化物产生量为 0.24t/a， 氯化氢产生速率为 0.033kg/h，氟化氢产生速率为 0.022kg/h，氮氧化物产生速 率为 0.033kg/h。
0.1 污染物排放及治理方案
0.1.1 废水排放及治理措施
本项目运营过程中废水主要为生产废水和生活污水，根据污染物的不同，采 用分类收集、分质处理的原则。
废水的排放及治理措施如下： 1、悬浮废水： 悬浮废水主要来源于滚磨和倒角工序，主要污染物为硅粉，产生量约 12m3/d。此类废水纳入悬浮废水处理系统采用絮凝沉淀方式处理后由公司废水总 排口排放。 2、研磨废水： 项目生产过程中，研磨工序使用 10μm 粒径的金刚砂作为研磨介质在水浴中 对硅片进行打磨，此工序将产生研磨废水，产生量约为 8m3/d，主要污染物为排 水中带出的少量金刚砂和打磨过程中进入水的硅粉。 研磨废水通过研磨废水处理系统采用斜管自然沉降的方式处理后由公司废 水总排口排放。研磨废水处理系统沉渣由于金刚砂供应商回收。 3、含氟废水： 本项目酸腐工序使用硝酸和氢氟酸混合液对硅棒进行酸腐处理，后端超声波 清洗工序使用纯水洗涤，酸腐后超声波清洗工序排水含氟化氢；同时，切片和研 磨工序后端超声波清洗工序使用氢氟酸配置清洗剂对硅片进行清洗，因此上述工 序排水为含氟废水；同时，项目设置废气洗涤塔对超声波清洗工序产生的酸性废 气（含有氟化氢）进行处理，废气洗涤塔排水为含氟废水。含氟废水中主要污染 物为 PH 和 F-。 含氟废水采用氟化钙絮凝沉淀法进行处理，即向含氟废水中投加过量 CaCl2 与废水中 F-生成 CaF2 沉淀（加入适量絮凝剂以使废水中的氟化钙形成便于分离 的矾花），当絮凝反应完成后，进入沉淀槽进行沉淀，上清液进入酸碱综合槽进 行酸碱综合处理后由公司废水总排口排放。含氟废水处理流程如下：
30
/
21.33
324
6.456
98
5.94
90
0.21
3.2
0.234
3.6
0.594
9.0
综上分析，本工程外排生产生活废水经处理后，能达到《污水综合排放标准》 (GB8978-1996)三级标准限值的要求，项目外排废水能做到达标排放。
0.1.2 废气排放及治理
本项目运营过程中废气主要为酸腐和超声波清洗工序产生的酸性废气和食 堂油烟。
0.594
30
处理后
排放量 排放浓 kg/d 度 mg/L
预计 处理效率
2.4
200
/
0.48
40
/
0.96
80
90%
1.6
200
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0.32
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90%
10.4
400
/
1.3
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/
2.6
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44%
0.234
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1.98
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CaCl2、絮凝剂
含氟废水
调节池
反应槽
沉淀槽
酸碱综合槽
污泥外运
废水总排口
图 3-3 含氟废水处理工艺流程
4、RO 纯水制备浓缩废水：
RO 浓缩水，直接经公司雨水口排放。
5、生活污水：
主要来自于员工生活和食堂废水，用水量 22m3/d，排放量约 19.8m3/d，废水
主要污染物为 COD、BOD5、SS、NH3-N、动植物油。生活污水通过预处理池处理后 由公司废水总排口排放。
BOD5 NH3-N
SS 动植物
油 COD BOD5 SS NH3-N
F 动植物
油
处理前
产生量 产生浓 kg/d 度 mg/L
2.4
200
0.48
40
9.6
800
1.6
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0.32
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500
10.4
400
1.3
50
4.68
180
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