真空技术系列指导书

《真空技术系列实验》实验指导书

机械工程与自动化学院

指导教师：李建昌 教授

实验地点：机电馆329B、机118B

实验时间：据老师和班长通知

实验：16学时

学分：1.5分

真空与过程装备实验室

2017年10月

一、实验内容

实验一、 真空计实验

1实验目的

通过实验了解真空计的结构特点及工作原理。

2实验装置

FZH‐1A复合真空计，DL‐8AⅡ型电离真空计，真空规管，如下图所示。

3实验要求

1）通过查找资料了解真空计的测量原理，掌握测量方法及其应用范围，完成预习报告。

2）通过拆装真空计，了解内被结构特点。

实验二、 涡旋泵拆解实验（地点：机329A）

1实验目的

通过实验了解涡旋泵的结构特点及工作原理。

2实验装置

VARIAN干式涡旋泵，如下图所示。

3实验要求

1）通过查找资料了解涡旋泵的原理及应用场合，完成预习报告。

2）拆卸泵之后要还原到原状态，工具归位，整理好实验台。

实验三、 真空系统组装实验（地点：机329B）

1实验目的

掌握简单真空系统的搭建，认识真空系统中的各个部件及每部分起的作用。

2实验装置

在真空系统中，主要由真空获得部分，真空管道，真空室，真空测量部分等组成，

实验室有关这些配件的清单见附录，部分配件示意图如下。

3实验要求

1）查找相关资料，了解真空配件的型号意义，并利用实验室现有设备自行设计一套真空系统，要求真空系统的真空度至少达到0.1Pa。

2）该套真空系统应配有真空测量装置，以及阀门等必要配套设施。

3）实验前设计出真空系统的搭建方案，列出所需部件，绘制出真空系统组成简图，经过任课教师检查后安排实验时间。

实验四、 真空物理综合蒸发镀膜实验（地点：机118B）

1 实验目的

掌握真空综合镀膜系统的结构、设计、组成、工作原理，通过现场实际薄膜样品的制备，获得真空镀膜的相关直接认识，了解各种镀膜技术原理和应用背景。

2 实验系统

真空物理综合实验平台在机电馆118B，为本所李建昌老师总体设计，沈阳科仪具体承接设计加工，具备真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、原位真空器件的制备和表征、离子清洗等功能。

3 实验报告

画出系统的结构图，必要时可以分各个系统如蒸发部分、抽气系统、涡旋干泵、基片架等来表达，必要时可以用不同视图关系，每个部件应该拉线标记清楚；写出镀膜过程与步骤，论述各种镀膜方式的优缺点等等。

二、实验成绩考核办法

实验按5‐10人分组自由组合，所有实验组员不变，评分标准如下：

（1） 预习报告：认准查找资料，做好每个实验的背景知识储备，要求资料收集全面并做成word文档打印出来，实验前交给任课教师，任课教师检查合格后方可开始实验。

（2） 实验现场：考察实验现场学习态度。是否积极参与实验工作过程，认真记录实验数据，善于观察、发现、提出和总结问题。由任课教师记录并给出成绩。

（3） 实验报告：结合自己做的预习报告，检验实验是否达到预先的目标，认真撰写完成实验报告，实验报告项目齐全、内容正确、语言流畅、图表清晰、数据翔实、结果正确。组间雷同，按不及格处理。注意：实验报告要手写手绘，用A4纸单面，总体不少于20页（不包括封面），并在右下角标记页码。

实验现场注意事项

（1） 注意安全，小心使用实验配件。

（2） 实验过程中，维护良好的秩序。

（3） 其它未明事宜，根据老师与实验员的具体要求去做。

三、附实验室真空配件目录

物品名称型号规格单位数量

复合真空计ZDF‐Ⅲ个2

热偶真空计ZDO‐1个1罗茨泵ZJB‐30台1

扩散泵K‐100台1扩散泵冷阱LJ‐100个1涡旋罗茨连接头DN50‐KF15个1

罗茨泵进口接头DN80‐KF50个1双级旋片泵2XZ‐2B(KF)台1

电磁带充气阀DDC‐JQ25(KF)个1

高真空微调阀GW‐J2(CF/KF)个2

超高真空插板阀CC‐100个1

高真空挡板阀JD‐J25b(KF)个4物品名称型号规格单位数量密封航空插头及插座4芯Φ1套1

8芯Φ1套1

4芯Φ3套1观察窗CF25个1

CF50个1

CF100个1 KF法兰波纹管KF16‐1500个1

KF25‐1500个2

KF40‐1500个2

KF50‐1500个1

CF100‐1500个1 KF带网中心支架KF16个1

KF25个2

KF40个2

KF50个1 KF卡箍及O型圈KF16个10

KF25个10

KF40个10

KF50个10

KF16个10

KF25个10

KF40个10

KF50个10 KF盲板法兰KF16个2

KF25个2

KF40个2

KF50个2 KF弯头KF16个1

KF25个1

KF40个1

KF50个1 KF三通KF16个1

KF25个1

KF40个1

KF50个1 KF变径三通25‐16个1

40‐16个1

40‐25个1

50‐40个1 KF四通KF16个1

KF25个1

KF40个1

KF50个1 KF变径四通25‐16个1

40‐16个1

40‐25个1

50‐40个1 KF变径直通25‐16个1

40‐16个1

40‐25个1

50‐40个1 KF管接头KF16个1

KF25个1

KF40个1 KF规管接头KF16个1

KF25个1

KF40个1 CF盲板法兰CF100个1

CF16个1

CF25个1

CF50个1 CF弯头CF50个1

CF25个1 CF三通CF16个1

CF100个1 CF四通CF25个1

CF50个1 KF‐CF转换的法兰CF16‐KF16个1

CF35‐KF40个1

CF50‐KF50个1 CF铜垫圈CF16个10

CF25个10

CF35个10

CF50个10

CF100个10