自由曲面光学技术
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目前
待续
面型加工技术
美国的Precitech公司,仍无自己的自由曲面刀 具轨迹自动生成、预报及优化软件,虽然 Moore公司目前开发了自由曲面刀具轨迹生成 软件,仍未有配套的加工过程和策略优化模型 及相应的面形测量软件,并且其软件局限于该 公司自己生产的机床,不具通用性。英国Zeeko 公司开发了自由曲面刀具轨迹生成软件,只适 用于抛光机,其切削机理及表面生成过程完全 不同于切削加工,不可应用于自由曲面的飞刀 铣削过程。
1972年
发展历程
1980年
代表当今员高水平的超精密金刚石车床是美 国劳伦斯.利弗莫尔(LLNL)实验室研制成功的 LODTM,它可加工直径达2100mm,重达 4500kg的工件其加工精度可达0.25μm,表面 粗糙度RaO.0076μm,该机床可加工平面、球 面及非球面,主要用于加工激光核聚变工程 所需的零件、红外线装置用的零件和大型天 体反射镜等。
加工技术发展历史
80年代以来,出现了许多种新的非球面 超精密加工技术,主要有:计算机数控单 点金刚石车削技术、计算机数控磨削技术、 计算机数控离子束成形技术、计算机数控 超精密抛光技术和非球面复印技术等,这 些加工方法,基本上解决了各种非球面镜 加工中所存在的问题。前四种方法运用了 数控技术,均具有加工精度较高,效率高 等特点,适于批量生产。
1
简介
精度
采用多轴超精密金刚石机床加工光学自由曲面 ,可达到亚微米级形状精度和纳米级表面粗糙 的高精度水平。
优点
在成像系统中,该技术可以矫正像差、提高成像质量、减小系统单元数量及重量;在高性 能照明系统设计中,该技术不仅可以有效提高光能利用率,更可消除系统对照明方向性的 严格要求,并且提供了很大的设计自由度。
抛光
可以分为初抛光和精抛光等两个过程。 光学零件的抛光是获得光学表面的工序。 其目的首先是去除精磨的破坏层,达到 规定的表面疵病要求,其次是精修面形, 达到要求的光圈,形成透镜规则的表面 。
2、轨迹成型法
类别
轨迹成形法主要包括使用成形工具的轨迹成形法、使用仿形靠模的轨迹成形法和使用机 构轨迹的成型法等几种。
2
发展历程
1638年
Kepler采用非球面透镜在近、远距离上 获得了无像差球面,奠定了非球面光学基 础
美国UnionCarbide公司研制成功了R―θ 方式的非球面创成加工机床。这是一台 具有位置反馈的双坐标数控车床,可实 时改变刀座导轨的转角θ和半径R,实现 非球面的镜面加工。加工直径达380mm, 加工工件的形状精度为±O.63μm,表面 粗糙度为0.025μm。
摩尔公司首先开发出了用3个坐标控制的 M―18AG非球面加工机床,这种机床可加工 直径356mm的各种非球面的金属反射镜。
英国RankPneumo公司向市场推出了利用激光 反馈控制的两轴联动加工机床,该机床可加 工直径为350mm的非球面金属反射镜,加工 工件形状精度达0.25-0.5μm,表面粗糙度Ra在 0.01-O.025μm之间。随后又推出了ASG2500、 ASG2500T、Nanoform300等机床
优缺点
传统的轨迹成形法加工自由曲面,共同的特点是加工效率高,但一般难于加工高精度的自 由曲面,其根本原因在于加工所依据的轨迹的准确性差,轨迹转移精度不高,而且模具或 机构等的轨迹单一,只能加工一种尺寸一种形状的非球面,且可加工的材质有限,通用性 差, 通常只用于中低精度非球面零件的批量生产。 由于该方法已经比较成熟,并且很传统,目前,国外对这方面研究的报道很少。国内主要 是中科院长春光机所和长春理工大学在做这方面的研究工作。
1984年
发展历程
1990年
英国RankPneumo公司开发出Nanoform600, 该机床能加工直径为600mm的非球面反射镜, 加工工件的形状精度优于0.1μm,表面粗糙度 优于0.01μm。
英国Cranfield大学精密工程研究所(CUPE)研制 的大型超精密金刚石镜面切削机床,可以加 工大型X射线天体望远镜用的非球面反射镜(最 大直径可达1400mm,最大长度为600mm的圆 锥镜)。 日本制造的加工机床有:东芝机械研制的 ULG―l00A(H)不二越公司的ASP―L15、丰田工 机的AHN10、AHN30×25、AHN60―3D非球面 加工机床等。
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自由光学曲面技术
光学工程 陈daye
目录
简介 面型加工技术
发展历史 面型检测技术
简介
光学自由曲面没有严格确切的定义,通常 指无法用球面或者非球面系数来表示的光 学曲面,主要是指非旋转对称的曲面或者 只能用参数向量来表示的曲面。
光学自由曲面已经渗透到我们生活中的各 个角落,眼用光学 镜片中的成功应用。
3
1、经典研抛法
铣磨成型
即经过铣磨,将毛坯加工成需要的形状。 该形状需要提前做一计算,得到 最 大 去 除量形状,从而减轻后续过程任务量, 程任务量。该过程需要用到铣磨机,属 于下面要提到的粗磨的铣削加工,又称 范成法加工。
研磨
即用研磨剂,研磨光学元件表面以减少 成形过程中产 产 生 的 下 表 面 损 伤 。 这 一 过程根据添加研磨剂尺寸不同,分为粗 磨 和 精 磨 。 精磨过程中还需要使用冷却 液,起到冷却、润滑、清洗和化学反应 等作用。精磨后的光学元件由于有凹凸 层的存在而形成不透明的表面,这也是 抛光的必要性所在。
3、CNC磨削、研磨和抛光技术
优缺点
其加工过程大致可以概述为计算机控制的精密机床先将工 件表面磨削成一个最接近自由曲面的球面,在不改变工件 面形精度的前提下,通过研磨加工去除偏离量,最后通过 抛光的方法达到曲面的表面质量要求, 左 图即为CNC磨削、 研磨和抛光流程图。此加工过程的特点是阶段多、周期长, 起始球面的选择对偏离量及工艺的制定起着决定性作用; 适合加工高精度、大及超大口径的光学元件;对碳化钨、 光学玻璃等脆硬材料有明显的优势。 不过,这种方法也有很多不足之处,如果要加工不同的自 由曲面零件,由于工件表面的光洁度和成形精度都需要通 过磨削、研磨和抛光来改善,就需要大量的研磨盘,提高 了成本,同时也增加了维护的难度;还有就是抛光过程中 不可避免的会产生一些形状误差,自由曲面的不对称度越 大,误差也就越大。