莱宝油扩散泵使用说明书(GA04106-0702)

自动调温器
为了保护加热元件，在泵油液面之上的散热翅片部分 装有一个自动调温器，一旦超过自动调温器设定温 度，泵加热器将断电。
加热元件
只要需要，加热元件易于更换。更换时，不必拆泵。
冷帽挡板
为 防 止 泵 油 流 入 真 空 容 器 ， DIP系 列 扩 散 泵 在 泵 进 口 区安装了水冷帽挡板。 位于前级真空侧的水冷前级挡板可有效防止泵油进入 前级真空泵。
操作说明书
GA04106-0702
油扩散泵
DIP3000 DIP8000 DIP12000 DIP20000 DIP30000 DIP50000
产品号 222 10/20/25/30/35/40
1
目录
重要安全信息
1 1． 1 1． 2 1． 3 1． 4 1． 5 2 3 3． 1 3． 2 3． 3 3． 4 3． 5 3.5.1 3.5.2 3． 6 4 4． 1 4． 2 4． 3 4． 4 5 5． 1 5． 2 5． 3 5． 4 5． 5 5.5.1 5.5.2 5.5.3 5.5.4 5.5.5 5． 6 6 7 8
DIP12000 500 ISO-K/ 100 ISO-K
DIP20000 630 ISO-F/ 100 ISO-K
DIP30000 800 ISO-F/ 160 ISO-K
DIP50000 1000 ISO-F/ 160 ISO-K
l/s 3 000
8 000
12 000
20 000
30 000
50 000
W501 TRIVAC D
W501 DK100+
W1001 DK200+
W2001 DK200+
mbar
D25B
+W251
25B+W251 W251
W251
W501
1） 按 照 DIN 28 427， 使 用 DIFFLEN normal 作 为 泵 油 测 定 的 。
2） 按 照 DIN 28 427， 使 用 DIFFLEN normal 作 为 泵 油 测 定 的 。 使 用 DC 705泵 油 和 FPM（ 氟 橡
1．1 设计
DIP 系列扩散泵由下述各部件组成：
— 装有高真空和前级真空连接法兰的水冷泵壳 — 喷嘴组件 — 装有加热元件的蒸发室 — 水冷帽挡板 — 前级真空挡板
喷嘴组件
DIP 扩 散 泵 装 有 轻 合 金 金 属 制 造 的 四 级 喷 嘴 系 统 和 内加热系统，内加热系统是由加热元件和焊有散热翅 片的加热套组成的。不锈钢加热套以水平位置、真空 密封地焊接在泵体内。
装运法兰（盲法兰）和夹箍螺栓仅用于装运；泵装 入系统时不得使用。
警告
6
1.3 技术规格
DIP3000 高 真 空 / 名 义 250 ISO-K/ 前 级 真 空 直 径 63 ISO-K 对 空 气 抽 速 1) 低 于 1 x 1 0 - 4 m b a r
DIP8000 400 ISO-K/ 63 ISO-K
技星状术蒸数汽挡据板 Part No.22750 Part N石o.2油27基60 油Pa/rDt NIoF.2F2E76L5 EPNart No.22770 Part N硅o.2基277油5 Part No.22780
水流量监视器
Light Standard Ultra DC704 DC705
2 0 ℃ 蒸LR汽10压 力 PartmNboa.1r2282 Pa1rxt N1 0o1- 82282 1 . 5 x 1 0 - 9 -
2 . 7 x 1-0 - 1 1 2 . 6 x-1 0 - 8 4 x 1 0 - 1-0
相 对 分LR子20 量
g . m o l --1
500 -
Par5t7N0o12283 Pa6rt0N0 o.12283 4Pa8r4t No12283 5 4P6art No.12283
“闪A点nti- Seize” Part ℃No.
DIP 扩 散 泵 壳 体 材 料 是 标 准 牌 号 钢 ； 高 真 空 连 接 法 兰 和 前 级 连 接 法 兰 是 不 锈 钢 的 （ 合 金 1.4301） ， 冷 却 盘管是铜制的，冷帽挡板为镀镍的铜。
散热翅片
铜制散热翅片只是部分浸在蒸发室的泵油中。 散热翅片浸入泵油部分的尺寸既可以保证泵油蒸发强 烈，又不造成浪涌。 位于泵油液面上方散热翅片为蒸汽提供了额外能量。
（ RUVAC） 是 一 系 列 前 级 泵 。
7
图 2. 抽速曲线
8
图 3. DIP3000（左）、DIP8000~30000（中）、DIP50000（右）尺寸图
9
1.4 订货数据
DIP3000 DIP8000 DIP12000 DIP20000 DIP30000 DIP50000
油扩散泵
Part No.22210 Part No.22220 Part No.22225 Part No.22230 Part No.22235 Part No.22240
5
前真空连接法兰 带前真空法兰的 定中心环 喷嘴组件
冷却管路 高真空连接法兰 配有 O 型圈和定中心环 的密封圈 冷帽挡板 泵体 接电盒 加热单元金属保护带
图 1. DIP20000型扩散 泵截面图 ；其余型 号类似
1.2 标准设备
从 工厂发运 的所有 DIP扩 散泵都 未装泵油 。 作为泵标准设备包含有： z 高 真空法兰 的带对中 星中心环 ，O形 圈， 和外环。 z 前级真空法兰的带前级挡板镶入件中心定位环， O-圈 ，和外 环。 高真空法兰和前级真空法兰用装运法兰和夹链密封。 泵内部已清洗干净；发运前已抽空。
警告
遭遇伤害风险！ 扩散泵不适合抽空氧含量高于大气的气体。 每当抽空高氢含量气体时，应联系制造商。
警告
遭遇伤害风险！ DIP在 如 下 标 志 区 （ ﹥ 80℃） 运 行 会 很 热 ， 小 心烫伤。 防止触碰炙热部件，注意设备上危险警告，穿 防护服。 系统关断后，必须留有一段冷却时间。 只有泵破空和冷却状态下才能打开排油口或进 气口。 若 打 开 处 于 热 态 的 DIP泵 ， 有 被 泵 油 蒸 汽 烫 伤 的危险。 泵发热表面附近，禁止使用易燃物。
索引
郑重声明：此操作说明书之中文翻译本，仅供您在阅读原英文操作说明书时参考使用。凡此中文翻译与原英
文操作说明书有出入的地方，应严格以原英文操作说明书为准。欢迎您的批评指教。 2
重要安全信息
为避免人身伤害，必须严格遵守的工艺和操作规 程。 为防止设备损坏，必须严格遵守的工艺和操作规 程。
按 照 操 作 说 明 书 的 指 导 正 确 使 用 ， 莱 宝 DIP油 扩散泵才能安全有效地运行。用户必须仔细阅 读 和 知 晓 本 文 的 安 全 警 告 。 此 DIP只 能 在 操 作 说明书中所述条件下运行。只有受训人员才能 操作和维护。特殊要求请咨询代理商。如有进 一步关于安全、运行或维护问题请联系最近的 莱宝办事处。
警告 当心
忽视以下预警将可能导致严重人身伤害！ 遭遇伤害风险！ 勿将身体某一部分接触真空，破空后再触操设 备。 爆炸风险！ 标准型号产品不适于在爆炸危险区运行。 遭遇伤害风险！ 整个安装过程中要确保主电源未合闸。电气接 线 必 须 由 合 格 电 工 （ 例 如 通 过 EN50110-1 认 证）操作。 加热元件绝缘物若吸收过量水分会产生大故障 电流。
<30
冷 却 水 流 量 min）
供 给 泵 3) l/h
160
290
供 冷 帽 挡 板 l/h 20
40
500
600
900
50
80
80
1500 150
冷却水回路数目
（包括冷帽挡板） 2
2
2
2
3
3
冷却水接头
泵G 冷帽挡板G 重 量 ， 约 Kg
3/8” 1/4”
29
1/2” 3/8”
wk.baidu.com70
1/2” 3/8” 102
460-3 Ph △ 4.8
400-3 Ph Y
7.2
230/400-3 Ph△ /Y
460-3Ph△ 12
230/400-3 Ph△ /Y
460-3Ph△ 18
230/400-3 Ph△ /Y
460-3Ph△ 24
加热元件个数
2
6
9
12
18
24
预 热 时 间 min <25
<25
<25
<25
<30
简述 设计 标准设备 技术规格 订货须知 泵油 运输和贮存 安装 确认用途 连接高真空 连接前级真空 连接冷却水 电气接线 加热元件连接 监控组件连接（选用件） 泵油 使用 适用介质 启动 运行 关断 维护 莱宝维修 检查泵油液面 泵油最高限制 更换泵油 泵的清洁 泵的拆解 清洁 油位视镜 泵的组装 清洁冷却盘管 更换加热组件 故障解决 易损件和原始备用件 废物处理 EC制 造 商 声 明 接线图
工 作 范 围 mbar
极 限 总 压 2)
mbar
最大容许前级
压力
mbar
充入油量
<10-2-10-7 <5x10-7 6x10-1
<10-2-10-7 <5x10-7 6x10-1
<10-2-10-7 <5x10-7 6x10-1
<10-2-10-7 <5x10-7 6x10-1
<10-2-10-7
只能安装干燥的 加热元件。为了 避免触电危险， 在距加热元件连 接 端 20mm 长 度 上的圆柱部分不 喷涂。
当心
4
1 简述
DIP系 列扩散 泵是高真 空泵。必 须与前级 真空泵一 起运行。 DIP系 列泵是 水冷却泵 ，利用油 扩散原理 ，在高真 空工艺中 用来处理 真空室。 此 外 ， 在 10-3至 10-2mbar压 力 范 围 内 泵 仍 具 有 很 高 抽 速 。
忽视以下预警将可能导致对泵的损坏！ 安装时偏离水平方向较为严重时，加热元件有 可能干烧并导致损坏泵。 反复开关加热元件会使它过早损坏。 忘记或错误连接自动调温器都会导致泵的过 热，或损坏加热元件。 泵应连接为这样一种状态：即当监视元件（自 动调温器、过热保护开关、冷却水流量监视 器）因保护而断开时，虽然运行参数由不正常 已恢复为正常状态，但泵并不会因此而自行启 动。 更 换 不 同 型 号 泵 油 前 （ 例 如 由 DIFFELEN 改 为硅油），必须仔细清洗泵内所有表面。 只 有泵油温 度降至 100℃以下时 才能破空 。 破空应从高真空端进入冷的泵中。 清洗泵时清洗蒸汽的压强应为： 当清洗加热嵌入器的加热引导盘时，最高 2bar（以免 损伤铜翅 片）。 清 洗 泵 体 其 余 部 分 时 ， 最 高 10bar。 不要拆解喷嘴组件。 不要使用氯基除钙剂，它会导致冷却盘管出现 腐蚀性裂缝。
P〉art2 4N0o.
P〉ar2t 5 5No. 〉Pa2r7t 0 No. 2P2a1rt No. 2 4 3Part No.
3
装运法兰（盲法兰）和夹箍螺栓仅用于装运； 泵装入系统时不得使用。
试车期间及新装加热元件后可能出现烟气，因 此应在通风良好的房间内对新泵或修后的泵开 机。在任何情况下都应避免直接接触试车时产 生的烟气。
扩散泵在运行时，如果截断高真空和前级真空 管道，同时切断冷却水供应，则这是一种危险 状态，必须绝对避免这种情况（例如，通过线 路连锁加以防止）。 如果泵处理过危险气体，或由于过热造成泵油 分解产生有毒产物，必须采取有效防范措施。 拆卸时，按防护要求，要戴手套，口罩和穿防 护服，在合适的烟雾通风罩下工作。
胶 ） 衬 垫 时 ， 装 有 水 冷 挡 板 的 DIP扩 散 泵 经 烘 烤 ， 压 力 可 低 于 1.10-8 mbar。
3） 冷 却 水 流 量 是 参 照 △ T=10K。 出 口 温 度 不 超 过 30℃ 。
4） 在 抽 空 系 统 中 ， 单 级 和 双 级 旋 片 泵 （ TRIVAC;SV） 或 者 旋 转 活 塞 泵 （ E/DK） 连 同 罗 兹 泵
<10-2-10-7
<5x10-7
<5x10-7
6x10-1
6x10-1
min/max 供电电压
l 1.0/1.4
2.0/3.5
3.0/5.5
6.0/9.0
10/15
15/25
标 准 ,50/60Hz V 230-1Ph
特 殊 ,50/60Hz V 加 热 功 率 KW 2.4
230/400-3 Ph △ /Y
1/2” 3/8” 172
1/2” 3/8” 296
1/2” 3/8” 560
推 荐 前 级 泵 4) 工 作 压 力 > 1 0 −4
DK100+
DK100+
DK200+
SV200+
SV300+
SV630+
工
1.4
作压力
<m订1b0a−货r4 须知TWR1I5V1A
C
W251 TRIVAC D25B