单晶炉

b. 石墨大件的取出（一般 5 炉做一次，须作好大清记录）
1) 取出上保温罩放在不锈钢小车上。 2) 取下热电锥，将其及对应的密封及玻璃放到适当的位置以放损坏丢失。 3) 打开油泵开关，按住炉筒升按纽，升起炉筒至限位，旋转炉筒，并降至适当位置。 4) 取出中保温罩放在不锈钢小车上。 5) 先取下加热器螺丝盖，再用专用工具取下加热器螺丝后，取下加热器螺丝和加热器放在 不锈钢小车上。 6) 依次取出电极护套、电极石英环、埚杆护套、炉底上压片、炉底上压片下小石墨碳毡、 排气套管、下保温罩、炉底压片、炉底碳毡、石墨电极等放在不锈钢小车上。在不锈钢小车 边挂上石墨件炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中注意石墨件放置，防止坠落。 E. 真空过滤器清洗 a. 准备好吸尘刷、吸尘管、酒精、纸巾、扳手，带好手套、防尘口罩。 b. 用扳手打开真空过滤器盖螺丝，取出过滤网。 c. 用吸尘刷仔细清洗过滤网及过滤器内的挥发物。 d. 将清洗后的过滤网缓慢放进过滤器内。 e. 用吸尘刷清洗过滤器盖，用沾酒精的纸巾擦净密封圈，并检查密封圈是否完全就位，防 止出现脱落或出槽影响抽空。 f. 盖好过滤器盖并用扳手上好过滤器盖螺丝。 F. 真空泵油检查更换 a. 确认关闭主泵球阀和真空泵，在放油单晶炉上挂检修牌，将废油桶置于真空泵放油口下 方，打开上下腔放油开关，放完油后关闭上下腔放油阀，废油倒入指定油桶。 b. 清洗真空泵（每 5 炉清洗一次），用扳手打开真空泵侧盖，置于适当位置，用毛巾彻底 清理真空泵腔、侧盖和下腔滤油网的油污，清洗完毕后，安装好滤网，安装好侧盖。侧盖在 打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油。泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不 然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死。清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶。 c. 打开真空泵注油口，将真空泵油注入真空泵注油孔，观察真空泵油位至油位观察窗 1/2 位置，停止注油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油，关闭油口。 d. 启动真空泵工作 5min 后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗 1/3----1/2 位置，关闭真空泵，在放油单晶炉上移去检修牌。若低于下限重复 c、d 操作。 G. 石墨件清洗 a. 石墨件清洗 1) 石墨件必须在指定的清洗室进行清洗，准备好清洗用品(吸尘刷、纸巾、吸尘管、研磨布、 除硅粒的专有工具、放石墨件的洁净小车等)戴好手套、防尘口罩。清洗好清洗台及周围环 境。 2) 依次用吸尘刷清洗各类石墨件直至确认无污物，沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要 用研磨布认真打磨后再吸尘清洗。 3) 清洗时注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅，有损坏及粘硅要及时更换和处理。 4) 操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。 5) 清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净不锈钢小车上。禁止叠加，移动不锈钢小车要 稳当。 6) 清洗后垃圾放入垃圾指定处，清洗好清洗台及周围环境。 b. 石墨大件炉内清洗（适用于每炉小清，石墨大件未取出时在炉内清洗）。 1) 用吸尘刷吸净炉筒、保温罩和加热器上沿拆炉时掉落的残渣。
3Pa φ10" 150Kg φ1000×1400mm φ350mm φ350×2300mm 0～8mm/min ≥400mm/min 0～48R/min 0～2mm/min ≥100mm/min 0～20R/min 3000mm 450mm 2200mmX1500mm 7200mm
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单晶炉操作步骤： 1、 目的 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。 2、 适用范围 适用于 TDR-70A/B 和 JRDL-800 型单晶炉的操作。 3、 单晶炉操作工艺流程 作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查 更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→ 抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、 停炉冷却 4、 主要内容 A. 作业准备 a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。 c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、 防尘口罩。 d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。 e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车， 并处理干净。 f. 用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把 炉子周围清扫干净。
2) 用沾有酒精的纸巾认真擦洗付室抽气口、其它小孔及翻板阀四周及转轴。翻板阀的沟槽 部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状再认真擦洗。 3) 清洗过的小付室将翻板阀盖住阀口，并关闭付室小门。 4) 用洁净的纸巾将小付室上口盖住。 c. 炉盖清洗 1) 先用纸巾擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。 2) 小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接口等不易清洗的部 位要用沾有酒精的纸巾认真擦洗，直至确认无污物。 3) 硅粉强力附着时或炉盖局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光 亮无污物。 4) 观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更 容易清理直至没有污物。 d. 炉筒清洗 1) 先用纸巾擦洗内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。 2) 取光孔部位要用沾有酒精的纸巾认真擦洗，直至确认无污染。 3) 硅粉强力附着时或炉筒局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉筒整个内壁出现光 亮无污物。 e. 抽气管道清洗。 1) 用扳手打开抽气管道上的封盖螺丝，取下封盖和密封圈。 2) 用一头缠钢丝球的长棒伸入管道抽动，另一头用吸尘刷吸除抽气管道内的挥发物。 3) 用沾有酒精的纸巾认真擦洗封盖和密封圈，再安装好。
4) 戴好耐高温手套依次取出三瓣埚、埚底放在装石墨件的不锈钢小车上，错误！链接无效。 放上后要注意放稳当。 5) 用埚杆板手从埚杆中央孔的位置拧下不锈钢螺丝，取出埚杆板手，再将埚杆连不锈钢螺 丝放在不锈钢小车上，注意堆放稳当。 6) 取出的石墨件一并放在不锈钢小车上，在不锈钢小车边挂上石墨件所属炉号牌，移到指 定的位置，自然冷却，移动过程中注意石墨件放置，防止坠落。
B. 热态检漏
a. 检查上一炉功率关闭时间，在单晶冷却 4.0 小时（TDR-70A/B 型单晶炉）、5.0 小时 （JRDL-800 型单晶炉）后，关闭氩气（只关闭氩气阀门，主、付室流量计调节阀打开并分 别调节到 30L/Min），开始抽高真空，并作时间记录。 b. 待炉内压力到达极限（要求达到 3Pa 以下）后，先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进 行检漏，并作相应时间记录，若 0.5 小时内抽不到 3Pa 以下时，交有关维修人员处理，在 此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。 c. 检漏要求 3 分钟以上，漏气率<0.34Pa/min 为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率＞ 0.34Pa/min 时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相 关记录。 C. 取单晶和籽晶 a. 热态检漏后，旋松付室小门 4 个螺丝，打开氩气阀门充氩气至常压，关闭氩气，旋开付 室小门 4 个螺丝，打开付室小门。 b. 提升单晶至付室，从付室小门内确认单晶升至所需高度，若无异常，盖住翻板阀，打开 液压泵，升起付室。 c. 把安全接盘移到炉筒口处，缓慢转动付室至侧面。 d. 把取单晶的架子放在付室炉筒正下方，准备接单晶。 e. 稳定单晶，移开安全接盘，按下籽晶快降，将单晶降入架子内。 f. 确认单晶完全入架子内后，按住籽晶，用钳子将籽晶从细径处钳断，钳断籽晶后，应稳 定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳。 g. 将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至付室内适当位置。 h. 将单晶移到中转区，及时、准确的将单晶编号写在单晶上，待自然冷却后对单晶进行各 项参数检测并作好记录。
HG1501 技术参数： 电源 变压器容量： 加热器最大加热功率： 加热器最高加热电压： 最高加热温度：
3 相 380V±10%,50HZ 230KVA 150KW
60V 1500℃
冷炉极限真空度： 晶体直径： 熔料量： 主炉室尺寸： 隔离阀通径： 副炉室尺寸： 籽晶拉速范围： 籽晶快速： 籽晶转速范围： 坩埚升速范围： 坩埚快速： 坩埚转速范围： 籽晶提升有效行程： 坩埚升降有效行程： 主机占地面积： 主机最大高度：
2) 用吸尘刷仔细用力清洗保温罩，加热器所能触及到的部位。 3) 取出加热器螺丝盖，检查电极螺丝是否松动、胶落或粘硅。有松动须拧紧，有胶落或粘 硅须更换。再盖好加热器螺丝盖。 4) 如果在拆炉时不小心引起热场移动或转动一定要检查热场是否对称，测温孔要重新校正。 如果侧温孔有偏离会影响测光信号，导致欧陆表数值过小，无法对炉内温度进行自动控制无 法成晶。 5) 用吸尘刷吸净炉底上压片、炉底波纹管、排气孔内的附尘及残渣。 6) 用带有酒精的纸巾清理炉壁上部。 H. 单晶炉室清洗 a. 付室的清洗安装 1) 准备好清洗棒、纸巾、酒精。 2) 在清洗棒上缠上沾有酒精的纸巾，清洗付室内部至上部，直至确认无污物。 3) 快速降下籽晶夹头，用沾有酒精的纸巾认真擦洗重锤及钼夹头。需要时要将重锤摘下用 研磨布认真打磨，并清洗干净。摘下重锤时要慎重作业，防止钢丝绳上弹造成钢丝绳出槽。 清洗钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏，若有应截去一截钢丝绳，防止在拉晶过程 中单晶掉下。清洗好上升重锤到一定位置，升重锤时，不要使重锤晃动，防止重锤挂住付室 下沿，拉断钢丝绳。 b. 小付室的清洗 1) 打开付室小门，用沾有酒精的纸巾擦洗小付室内的附着物。挥发物附着较多时，先用吸 尘刷处理。
CL 系列单晶炉，属软轴提拉型，用直拉法生长无位错电路级、太阳能级单晶的设备。 此设备结构设计稳定，运行平稳，且有多项安全防护设施，质量流量及温度控制精确，整个晶体 生长过程由高可靠的可编程计算机控制器（PCC）控制，并可实现全自动（CCD）控制，包括 抽真空、熔化、引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长。
CL-90 型设备提供一对电极，满足用户采用两温区加热的工艺要求。设备使用 18 寸或 20 寸的热系统，投料量 60-90Kg，生长 6″或 8″的单晶体。 设备特点： 1、稳定的机架结构设计，增强了设备在晶体生长过程中的抗振动能力。 2、优化的液压提升机构确保副炉室提升和复位时的运动平稳性。 3、与主机分离的分水器设计，在减少冷却水振动对晶体生长的影响的同时优化了水路布局。 4、晶体和坩埚的提升采用双电机结构，保证稳定的低生长速度以及坩埚和籽晶的快速定位。 5、采用无振动的高性能马达和低噪声的减速器驱动晶体和坩埚上升 ，可提供稳定的低生长速度。 6、设备的真空条件和在真空下的可控惰性气体气流使得热区清洗最佳化 。氧化硅可以在不污染 晶体和晶体驱动装置的条件下排除。 7、带隔离阀的副室可以在热区保持工作温度的情况下，取出长成的晶体或者更换籽晶。 8、对惰性气体流量和炉室压力高精度的控制能力，为生长高品质单晶创造了条件。 9、炉盖和炉腔通过两个提升装置提升，很方便的转向一边快捷地清洗。 10、熔化温度通过对加热器温度的电控来维持和调节 ，加热电源采用直流供电提高了控制精度 。 高品质的加热器温度测量传感器实现了精确的温度控制。 12、整个晶体生长过程由一个高可靠的可编程计算机控制器 （PCC）控制，包括抽真空、熔化、 引晶缩颈、放肩、等经生长和尾锥生长，晶体生长全过程可实现全自动（ CCD）控制：。 13、带有数据和报警过程控制的可视化软件，存储在计算机的硬盘中。可以显示过程变量随时 间变化的趋势图。
D. 石墨件取出冷却 a. 石墨小件取出 1) 打开液压泵电源，按炉盖升按钮上升炉盖。炉盖上升到位后，再旋转炉盖到侧面。 2) 戴好耐高温手套按顺序取出导流筒及保温盖放在装石墨件的不锈钢小车上，注意要拿稳 并轻放。 3) 戴好耐高温手套用钳子夹住石英坩埚的上端部分提起，使其松动，将石英坩埚取出。若 石英坩埚能将埚底料全部带出直接放入不锈钢筒；若不能则将先取出石英坩埚，剩下的埚底 料随三瓣埚一并取出后，再将埚底料放入不锈钢筒内。若出现闷炉等意外情况则用钳子像装 料一样一块块取出，直至彻底取出。最后将不锈钢筒移到指定地方，并写上单晶编号，自然 冷却。冷却后对埚底料进行重量检测并作好记录。
直流电源 5 柱变压器，空载电流小，效率比 3 柱高 10%--15%。 双反芯 6 脉波比桥式整流功耗小。 初级调压功耗小、谐波也小。 水冷循环噪音小，环境温度低。 控制器 自动化程度高： 除引晶、转肩，其他十多个工艺步全部自动。 PLC 控制： 抗干扰强，稳定可靠。 触膜屏控制： 直观、信息量大、储存历史数据 提拉头 结构紧凑。 中心软轴，不偏心。 动平衡处理。 25 转内基本无扰动。 共振点摆动小。