测量电场的铌酸锂光传感器综述

测量电场的铌酸锂光传感器综述

席洁;陈明;弟寅;陈乐建;余娟

【期刊名称】《传感器与微系统》

【年(卷),期】2013(032)003

【摘要】铌酸锂(LiNbO3)光传感器具有灵敏度高,不受外部电磁场干扰的特性,吸引了越来越多科研工作者的注意.对基于不同类型传感器的制作工艺、传感原理和适用范围,介绍了3种用于测量电场的铌酸锂光传感器,它们分别是:基于Mach-Zehnder波导调制器与微多环天线的集成方位角铌酸锂光传感器;铌酸锂介质波导光传感器;室温直接粘接的铌酸锂晶体层高电压光传感器.%Because lithium niobate ( LiNbO3 ) optical sensor has high sensitivity and immunity from electromagnetic field interference,it has become a hot topic of research. According to the fabrication processes, sensing principles and application prospects of three kinds of lithium niobate optical sensors for measurement of electric field are introduced,respectively. The three types of sensors are integrated azimuthal LiNbO3 optical sensor with Mach-Zehnder waveguide modulator and micromultiannular antenna, dielectric LiNbO3 waveguides optical sensors,and LiNbO3 crystal layers directly bonded at room temperature used as high-voltage optical sensor, respectively.

【总页数】4页(P4-6,14)

【作者】席洁;陈明;弟寅;陈乐建;余娟

【作者单位】西安邮电大学通信与信息工程学院,陕西西安710061;西安邮电大学电子工程学院,陕西西安710061;西安邮电大学电子工程学院,陕西西安710061;西安邮电大学电子工程学院,陕西西安710061;西安邮电大学电子工程学院,陕西西安710061

【正文语种】中文

【中图分类】TM937

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