黑硅制绒机操作说明书

黑硅制绒清洗机

使

用

说

明

书

无锡琨圣科技有限公司2018年1月

目录

1.概述 (3)

2.设备安装 (4)

3.设备操作 (5)

3.1操作前准备 (5)

3.2开机操作 (5)

4.面板及触摸屏操作指南 (13)

4.1三色灯的定义 (13)

4.2按钮的定义 (14)

4.3如何进入系统 (14)

4.4运行监视功能画面 (15)

4.5机械手手动操作画面 (17)

4.5外补画面 (18)

4.6温控画面 (19)

4.7电机控制画面 (19)

4.8进排水画面 (20)

4.9鼓泡画面 (21)

4.10校准画面 (22)

4.11报警画面 (22)

5.紧急停止 (23)

6.操作人员职责： (24)

7.维修、保养人员职责： (24)

8.电气维护 (24)

9.机械管道维护 (25)

10.操作规程 (26)

11.常见故障处理 (26)

12.注意事项 (27)

1.概述

黑硅制绒清洗机是专门用于湿法处理多（单）晶电池硅片，采用金属诱导腐蚀方式，制备多孔状黑硅绒面的槽式蚀刻设备。

基本工艺原理：

①②③④

控制系统采用西门子300PLC为主机，S71200（以太网通讯）和台达伺服控制系统（现场总线），带触摸屏功能的研华工控机作为上位机构成，利用触摸屏为客户提供友好的人机操作界面，监控画面按黑硅制绒工艺流程设计，对制绒的全过程实现监视与控制。

2.设备安装

1. 机器应安装在坚固平坦的地面上，用户在安装时应调整机

器下方的可调底脚，一方面使机器处于水平，另一方面应使移动滚轮处于非承重状态。

2. 进线电源总功率为AC380V 50Hz 120KW；电源进线为≥

3*35mm²+2*25mm²，注意可靠接地。（主机与电控箱均须可靠接地）。

3. 将压缩空气气源接入气动系统的过滤减压阀BFR2000的

进气口；将氮气气源接入过滤减压阀AFR2000的进气口。

4. 接好各种药液和纯水进口、排液口、溢流口相关管道。

（注意，外排液总管管径必须为机台排液管径1.5倍以上）3.设备操作

3.1操作前准备

1. 确认电源无异常。

2. 确认压缩空气压力不低于0.4MPa、氮气压力不小于0.4MPa。

3. 确认纯水阀处在开状态。(如有回水阀，回水阀在正常使用的时候一直处于关闭的状态，仅在长时间停机时才打开。把管道内剩余的纯水排出，保证生产的纯水电导率达到要求。

4. 确认各个手动阀处于正确的状态。（每个手动阀上都有状态标识，请根据对应的标识来确认其状态）

3.2开机操作

1.打开电柜正面柜门，合上机器断路器，然后关好电气柜门。

2.将操作台面板上的电源开关置于“电源开”挡。工控机自动启动，完成后显示如下图所示画面。

3.点击图示控制系统启动图标，完成后显示如下图所示报警画面。点击红色框内手动\自动切换按钮，进入手动模式。

4.在手动状态下，点击上图中红色图框内运行监视画面_1按钮，进

入监视画面_1，点击下图中红色图框内“缸盖”按钮打开相应槽盖检查机器各槽内是否有花篮。重复上述操作，直至确认所有槽内均无花蓝为止。

5）点击红色框内“机械手手动”按钮，进入“机械手手动”画面。

6．确认无任何人、物阻碍机械手运行的情况下,点击上图中红色框内“原点回归”上下按钮进行1#机械手上下原点复归。等待上下“原点复归完成”指示灯变成红色后再点击1#机械手左右原点复归按钮，等待左右“原点复归完成”指示灯变成红色表示1#机械手原点复归全部完成。重复上术步骤，完成2#、3#、4#、5#、6#机械手的原点复归。

（复归顺序为从上料侧机械手开始向后执行，不可以所有机械手同时原点复归。）

7.在手动状态下，调节好有关槽对应的鼓泡（氮气）流量调节阀（位于各槽前）和溢流流量调节阀（位于各槽后），一般情况下机器交付使用时，氮气流量调节阀和漂洗流量调节阀已基本设定到位。

注意：操作者开门操作或维护调节阀门时，切勿启动运行机械手的操作，否则有机械手伤人的危险。

8. 点击下图报警画面中红色图框内“水控制”按钮

9，点击下图中红色图框内“鼓泡”按钮，进入鼓泡画面。

9进入视工艺情况打开有关槽的鼓泡，调节好有关槽对应的鼓泡（氮气）流量。（沉银至扩孔间槽最好不要鼓泡）

10.点击下图中红色图框内“温度控制”按钮，进入“温度控制”画面

12根据工艺要求，启动需要加热的工艺槽到设定的温度（根据工厂的电源负荷情况，温度达到设定的温度后再开启另外的槽加热

13. 上料，由设备前端上料人员将花蓝正确放置在上料传送带相应卡位，自动运行模式下机台程控自动进料。

14. 点击下图中红色图框内“手动/自动”按钮，进入“自动”模式，

按下操作台上“启动”按钮，机器即开始按程序自动执行

面板及触摸屏操作指南

4.1三色灯的定义

红灯：报警指示

黄灯：手动指示

绿灯：自动指示

蜂鸣器：协助红灯进行声光报警，提醒操作人员关注。

4.2按钮的定义

电源开关：即控制回路的电源开关。正常情况下为开状态。需长期停机时打到关状态。

启动按钮：在手动/自动模式切换为自动模式后按下启动按钮，进入自动运行状态。（在手动状态下按下此按钮，机器无动作）暂停按钮：在自动运行状态下按下此按钮，机械手立即停止动作。

急停按钮：不管在自动还是手动状态下按下急停，设备将停止一切动作。（触摸屏显示急停已按下的报警画面，蜂鸣器响起）如需重新开始，则需把急停复位。

4.3如何进入系统

1. 进入工控机电脑界面以后，双击“运行系统”快捷方式，进入操作界面。