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ZHD-300F真空蒸镀手套箱一体机使用说明

1.依次打开电源、机械泵、前级阀和真空计

2.观察真空计至前级真空≤ 5 Pa

3.关前级阀，开旁路阀，观察真空室真空度至≤ 5 Pa

4.关旁路阀，开前级阀，开主阀，当前级真空≤ 5 Pa真空室真空度≤ 10 Pa条

件下才能打开分子泵电源

5.观察真空度至1×10-1 Pa，转至高真空测量直至到达要求极限真空度为止

6.测试结果符合要求，既可开始对真空测量容器进行正常的镀膜操作至此整个

安装调试结束，若需立即投入镀膜操作，则按下列步骤进行：

7.关闭高真空测量，关闭高真空阀，开放气阀对真空室充气。（充气完毕后即

刻关闭放气阀）

8.打开真空容器，做好一切容器内的安排工作及其它准备工作，封闭好真空室。

9.关前级阀、打开旁路阀预抽真空室，使真空室内的压力小于5 Pa。

10.关闭预抽阀，打开前级阀同时打开主阀，待真空度达到1×10-1 Pa转至高真

空测量，直至所需的真空度为止。

11.进行真空镀膜操作（详细），直至操作全部结束，再按9~12 步骤进行下一

次工作。

12.关机

13.关闭高真空测量，关闭高真空阀，开放气阀对真空室充气。（充气完毕后即

刻关闭放气阀）

14.取出工件，封闭好真空室

15.关分子泵，约7 分钟分子泵停止

16.关前级阀，关机械泵（为了保持真空室的真空环境，可先关前级阀，打开旁

路阀对真空室进行抽真空。然后关闭旁路阀，关机械泵）

17.关掉水源、气源、电源

注意：1、多次镀膜后，应对真空室进行清洁处理。以免严重损耗真空系统

2、每次对真空室充气后注意关闭放气阀，避免机械泵长时间抽大气

真空镀膜操作步骤

1.安装好蒸发基片台及工件

2.安装好蒸发舟，放料

3.启动真空系统至工作压力

4.开蒸发电源

5.按蒸发电源使用方法进行调节，满足镀膜要求，至镀膜结束

6.关蒸发电源

7.关基片旋转，转其它操作

注意：1、该蒸发电极位置可调，调节位置后注意将密封件锁紧，保证真空密封。

2、更换蒸发材料时注意更换蒸发舟避免污染。