电容式薄膜绝对压力传感器原理
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0 ~ 5V 4 ~ 20mA
MKS电容式薄膜压力传感器系列
Model 622A 623A 624B D24B 625B D25B 626A 627B 627C D27B E27B E27C 628B 628C D28B E28B E28C 629B E29B 631A 631B 632B 722A 727A 728A DMA-Amb DMA-45 DMA-80
T o E 至l e 电c 子t r o 部n i 件c s
M e 测a s u 量r e 面m e n t
S i d e
R 参e f 考e r e 面n c e
S i d e
MKS Confidential 2
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
温度控制的薄膜压力传感器 – 范围及输出
P re s s u re (T o rr) 1 0 0 0 1 0 0 1 0
A d j u s t . A d j u s t M.KS Confidential 5
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
误差
满F 量u l程l S c a le
% o fR e a d in g E r r o r 读B 数a 值n d 的%误差带 满% 量o 程f的F u %ll误S 差c 带a le E r r o r
1 0 V
C o n t r o l R a n g e
1 . 0 0 . 1
Z 零e 点r o
R e a d i n g R a n g e
. 0 1 1 m V
P 调r o 整p e 的r l y零N o 点t S 满p 量a n 程 L i n 线e 性a r i t y A d 比j u 例s t e d Z e 失r o 调e dO u 失t 调o f O 失u 调t o f
1 .0 0 .1
.0 1
读R 数R e a a n d 范g in e g 围
1 m V
零P Z 点rwenku.baidu.come e r s o 压s iu n r g 力e
压R P e 力r s e o s l分s u u tir o 辨e n 率
MKS Confidential 3
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
E x a m 举p 例le :：1 1T To orr rrF 满u ll量S c 程a le C a p a c ita n c e 压M 力a n 传o m 感e 器te r
1 1 0 -1 1 0 -2 1 0 -3 1 0 -4 1 0 -5 1 0 -6 1 0 -7
1 0 V
可控范围
C o n tr o l R a n g e
B a n d
In 显d i示c a 压te 力d P r e s s u r e
0 0
R 解e 决s o 方l法u tio n Z e r o 降T e 低m 温p 度C 依o 赖e ffic ie n t
真T 实r u 压e 力 P r e s s u r e
F 满u 量ll程S c a le
N o 非n 线- L 性in e a r ity H 滞y s 后te r e s is
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器(Manometer)
一个完整的传感器 – 压力传感器 + 信号控制电路
电E l 子e c 部t r o 件n i c s S 满p a 度n P 调o t 节 L 线i n e 形a r 调i t y 节P o t
P x P r
Z 零e r o 点P 调o t 节
温度控制的薄膜压力传感器 系列
MKS Confidential 4
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
零点、满量程及线性
A c t u a l P 真r e 实s s 压u 力r e
F u l l满S c 量a l 程e
I n d 显i c 示a t 压e d 力P r e s s u r e
O 输u 出t p u t
MKS电容式薄膜压力传感器系列
600系列Baratron 电容式薄膜 压力传感器 ➢满量程范围: 20mT ~ 25kT ➢精度: 读数值的 0.12% ➢分辨率: 满量程的 0.001% ➢温度控制: 环境温度, 45℃or 100 ℃ ➢温度系数
•零点: 0.002% 满量程./°C •增益: 0.02% 读数值 /°C ➢两个继电器控制点可选 ➢电源电压: ±15VDC ➢输出信号: 0 ~ 10V
B 缓u f 存f e r , B 电r i d 桥g eS c 放a l 大i n g ,
A m p l i f i c a t i o n
O 输u t 出p u t
MKS Confidential 1
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
现代电容式薄膜差压式压力传感器原理
B a f f l e
D i a p h r a 隔g 膜m E 电l e 子c t r 组o d 件e A s s e m b l y
N o n 非R 重e 复p 性e a ta b ility S p a 满n 量T 程e m 温度p 系C 数o e ffic ie n t
MKS Confidential 6
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
零点调整
输出信号
真空条件下
用螺丝刀进 行零点调整
或在显示/控制仪 上实施零点修正
MKS Confidential 7
MKS Confidential 8
MKS电容式薄膜压力传感器系列
700 系列 Baratron 电 容式薄膜压力传感器 • 中等性能 • 价格便宜 • 紧凑型尺寸 • 满量程范围: 1T ~ 1000T • 精度: 读数值的 ± 0.5% • 温度控制: 环境温度,
45℃or 100 ℃
• 电源电压: ±15VDC 或
+24VDC
• 输出信号: 0 ~ 10V
或 0~5V
MKS Confidential 9
631B 高温 Baratron
基于以太网通讯的e-Baratron
890/892 压力传感器 • 满量程范围: 20 ~ 3000PSI • 精度: 读数值的 ± 1% • 电源电压: +13VDC ~ +32VDC • 输出信号: 0 ~ 10V
C o n s t a n t T e m p e r a t u r e O v e n ( T e m p e r a t u r e C o n t r o l l e d U n i t s O n l y )
O 振s c 荡i l l 器a t o r R e 参f e r 考e n c e
MKS电容式薄膜压力传感器系列
Model 622A 623A 624B D24B 625B D25B 626A 627B 627C D27B E27B E27C 628B 628C D28B E28B E28C 629B E29B 631A 631B 632B 722A 727A 728A DMA-Amb DMA-45 DMA-80
T o E 至l e 电c 子t r o 部n i 件c s
M e 测a s u 量r e 面m e n t
S i d e
R 参e f 考e r e 面n c e
S i d e
MKS Confidential 2
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
温度控制的薄膜压力传感器 – 范围及输出
P re s s u re (T o rr) 1 0 0 0 1 0 0 1 0
A d j u s t . A d j u s t M.KS Confidential 5
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
误差
满F 量u l程l S c a le
% o fR e a d in g E r r o r 读B 数a 值n d 的%误差带 满% 量o 程f的F u %ll误S 差c 带a le E r r o r
1 0 V
C o n t r o l R a n g e
1 . 0 0 . 1
Z 零e 点r o
R e a d i n g R a n g e
. 0 1 1 m V
P 调r o 整p e 的r l y零N o 点t S 满p 量a n 程 L i n 线e 性a r i t y A d 比j u 例s t e d Z e 失r o 调e dO u 失t 调o f O 失u 调t o f
1 .0 0 .1
.0 1
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1 m V
零P Z 点rwenku.baidu.come e r s o 压s iu n r g 力e
压R P e 力r s e o s l分s u u tir o 辨e n 率
MKS Confidential 3
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
E x a m 举p 例le :：1 1T To orr rrF 满u ll量S c 程a le C a p a c ita n c e 压M 力a n 传o m 感e 器te r
1 1 0 -1 1 0 -2 1 0 -3 1 0 -4 1 0 -5 1 0 -6 1 0 -7
1 0 V
可控范围
C o n tr o l R a n g e
B a n d
In 显d i示c a 压te 力d P r e s s u r e
0 0
R 解e 决s o 方l法u tio n Z e r o 降T e 低m 温p 度C 依o 赖e ffic ie n t
真T 实r u 压e 力 P r e s s u r e
F 满u 量ll程S c a le
N o 非n 线- L 性in e a r ity H 滞y s 后te r e s is
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器(Manometer)
一个完整的传感器 – 压力传感器 + 信号控制电路
电E l 子e c 部t r o 件n i c s S 满p a 度n P 调o t 节 L 线i n e 形a r 调i t y 节P o t
P x P r
Z 零e r o 点P 调o t 节
温度控制的薄膜压力传感器 系列
MKS Confidential 4
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
零点、满量程及线性
A c t u a l P 真r e 实s s 压u 力r e
F u l l满S c 量a l 程e
I n d 显i c 示a t 压e d 力P r e s s u r e
O 输u 出t p u t
MKS电容式薄膜压力传感器系列
600系列Baratron 电容式薄膜 压力传感器 ➢满量程范围: 20mT ~ 25kT ➢精度: 读数值的 0.12% ➢分辨率: 满量程的 0.001% ➢温度控制: 环境温度, 45℃or 100 ℃ ➢温度系数
•零点: 0.002% 满量程./°C •增益: 0.02% 读数值 /°C ➢两个继电器控制点可选 ➢电源电压: ±15VDC ➢输出信号: 0 ~ 10V
B 缓u f 存f e r , B 电r i d 桥g eS c 放a l 大i n g ,
A m p l i f i c a t i o n
O 输u t 出p u t
MKS Confidential 1
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
现代电容式薄膜差压式压力传感器原理
B a f f l e
D i a p h r a 隔g 膜m E 电l e 子c t r 组o d 件e A s s e m b l y
N o n 非R 重e 复p 性e a ta b ility S p a 满n 量T 程e m 温度p 系C 数o e ffic ie n t
MKS Confidential 6
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
零点调整
输出信号
真空条件下
用螺丝刀进 行零点调整
或在显示/控制仪 上实施零点修正
MKS Confidential 7
MKS Confidential 8
MKS电容式薄膜压力传感器系列
700 系列 Baratron 电 容式薄膜压力传感器 • 中等性能 • 价格便宜 • 紧凑型尺寸 • 满量程范围: 1T ~ 1000T • 精度: 读数值的 ± 0.5% • 温度控制: 环境温度,
45℃or 100 ℃
• 电源电压: ±15VDC 或
+24VDC
• 输出信号: 0 ~ 10V
或 0~5V
MKS Confidential 9
631B 高温 Baratron
基于以太网通讯的e-Baratron
890/892 压力传感器 • 满量程范围: 20 ~ 3000PSI • 精度: 读数值的 ± 1% • 电源电压: +13VDC ~ +32VDC • 输出信号: 0 ~ 10V
C o n s t a n t T e m p e r a t u r e O v e n ( T e m p e r a t u r e C o n t r o l l e d U n i t s O n l y )
O 振s c 荡i l l 器a t o r R e 参f e r 考e n c e