高量程加速度传感器在测试中的失效分析

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导致过载增大，传感器芯片上的微结构位移失控，造成传感器结构断裂。
ＥＡＣ７２Ｅ；５５ＥＣ：３０２７
ｄｉ１．９９ｊｉｎ１０－６９２１．０００ｏ：０３６／．ｓ．０４１９．０１１．１ｓ
高量程加速度传感器在测试中的失效分析水
张贺，石云波，唐军赵锐，俊，刘
ｆ．，中北大学电子测试国家重点实验室，１太原００５；３０１、
Ｌ．２中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原００５３０１
摘要：通过在不同测试环境对高量程加速度传感器进行测试，并对传感器在测试中出现的失效进行分析，在实验室环境测
试中出现的主要失效模式为键合引线的脱落和微梁的断裂，因是不同金属的引线键合强度较低；其原重复性的冲击加速了材料的疲劳。在实弹测试环境测试中出现的传感器失效原因主要是在侵彻测试中传感器芯片与侵彻信号中高频分量发生共振
第２４卷第ｌ０期
２１０１年１月０
传感技术学报
ＣＮＥＥＪＵＲＬＯＥＳＲＳＡＮＴＡＯＲＳＨＩＳＯＮＡＦＳＮＯＤＡＣＵＴ
Ｖｏ．４Ｎｏ１１２．００ｃ．０１ｔ２ｌ
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