特种气体系统工程设计要求要求规范

特种气体系统工程技术规

2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类| 标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅

1 总则

1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。制定本规。

1.0.2 本规适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。

1.0.3 本规不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。

1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。

2 术语

2.0.1 特种气体 specialily gas

用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。

2.0.2 特种气体系统 speciality gas system

特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。

2.0.3 特种气体间speciality gas room

是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。

2.0.4 硅烷站silane station

是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。

2.0.5 明火地点open flame site

室外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。

2.0.6 散发火花地点sparking site

散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。

2.0.7 空瓶empty cylinder

留有残余压力的气体钢瓶。

2.0.8 实瓶full cylinder

存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。2.0.9 气瓶集装格the bundle of gas cylinders

用专用金属框架固定，采用集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单元。气瓶的个数分别为9个、12个、16个不等，单个气瓶的水容积通常为40~50L。

2.0.10 气瓶柜gas cabinet (GC)

特种气体使用的封闭式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、真空发生器、、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警、、压力监测及报警等安全使用所必须的设施。排风管配置泄漏探头。气瓶柜有手动、半自动、全自动三类。

2.0.11 气瓶架gas rack (GR)

特种气体使用的开放式气瓶放置与管理设备，一般应配置减压装置、吹扫装置、气体终端过滤器、紧急切断阀、压力监测及报警等安全设施。气瓶架有手动、半自动、全自动三类。

2.0.12 阀门箱valve manifold box (VMB)

特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配部件，VMB在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管可配置手动阀、压力表、过滤器等组件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽压力气体外，VMB各支管可根据需要设置调压阀。VMB需设置泄漏气体排气管接口和风压事故报警。

2.0.13 阀门盘valve manifold panel (VMP)

特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配部件，VMP在气体入口配置气动阀、手动阀，各支管应配置手动阀、压力表、过滤器等组件，VMP各支管可根据需要设置调压阀。

2.0.14 低蒸汽压力气体low vapor pressure gas

在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa的气体。

2.0.15 尾气处理装置local scrubber

用于处理易燃、易爆、有毒、有腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的装置，处理后的尾气达到规定排放浓度，并排入用气车间的排气管道。

2.0.16 气体探测系统gas detector system(GDS)

设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘、及其它特种气体输送设备与管道所覆盖区域，通过检测本质气体或关联气体在空气中的含量来判断本质气体的泄漏，从而发出声光报警信号、提供应急处理数据的系统。

2.0.17 气体管理系统gas management system(GMS)

包含特种气体探测系统、应急处理系统、工作管理系统、监视系统、数据输送与处理系统的气体管理与控制系统的统称。

2.0.18 最高允许浓度值threshold limit value(TLV)

工作环境空气中有害物质的最高允许浓度值。

2.0.19 爆炸浓度下限值low explosion limit(LEL)

可燃气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值。

2.0.20 卧式气瓶y-cylinder/t-cylinder

用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为500L，1000L。

2.0.21 自燃气体pyrophoric gas

在空气中会发生自动燃烧的气体。

2.0.22 可燃气体flammable gas

指与空气（或氧气）能够形成一定浓度的混合气态，并遇到火源会发生燃烧或爆炸的气体。

2.0.23 毒性气体toxic gas

LC50超过200ppm但不超过2000ppm的气体。

2.0.24 腐蚀性气体corrosive gas

是指在一定条件下，对材料或人体组织接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆反应的气体。

2.0.25 氧化性气体 oxygenize gas

是指在一定条件下，与材料接触会产生较为剧烈的失去电子的化学反应的气体。

2.0.26 惰性气体inert gas

在一般情况下与其它物质不会产生化学反应的气体。

2.0.27 限流孔板restrict flow orifice(RFO)

限定系统最大流量的一种装置。

2.0.28 过流开关 excess flow switch(EFS)

流量超出设定值时，给出开关信号。

2.0.29 AP管annealed and pickled pipe

经过酸洗或钝化、去除表面残存颗粒的钝化无缝不锈钢管。

2.0.30 BA管bright annealing pipe

经加氢或真空状态高温热处理，消除部应力并在管道表面形成一层钝化膜的光亮无缝不锈钢管。

2.0.31 EP管electro-polished pipe

经电化学抛光，使表层实际面积得到最大程度的减少,表面产生一层较厚的封闭的氧化铬膜的电化学抛光无缝不锈钢管。

2.0.32 吹扫 purge

用氮气和氩气对特种气体系统的其它气体进行置换的过程。

2.0.33 排气 vent