Track工艺设备培训资料

•Final Rinse的Water来自于DI Water Ta nk 2 ，Tank2的水流到Tank1 重复利用。
•AK DRY
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•防止喷溅板
•Rinse
•Rinse
•基板传送方向
SCR的排气部分 • • Exhaust管增加气泵加速排气。 为了弥补排气量的不足。
……
50mm 4 B 3
A
•两个排气口阀门轮流交替打开。从而使H ead中的气泡振荡。有利于排出。 •Head上通过螺栓1，2 可调节Nozzle口的 大小（1缩小Nozzle 开口，2扩大）。
1 2
•1 调整螺栓 •2 调整螺栓
唇Gap
100um
•3 固定螺栓 •4 垫片 •为保证Nozzle口压力，Nozzle 口 （唇）中间稍微狭小，两侧稍微宽。
•气液分离器，可以分离液体和气体。在其靠 近通往1楼的排气侧有过滤器。
•利用气体的浮力和液体会自然分开，在中间 形成一个可以静置的空间，气体向上浮出。从 而分离水和气泡。
•气液分离器上方的手动调节排气量的一个简 易阀门，通过旋转里面的薄圆形铁片。可以调 节排气量的大小。
Air
•铁片遮挡的部分越小则排气量越大。
上部的加热板
下部加热板
温度sensor
设备外侧的观测窗
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② OVEN：Col
•
COL设备：
•COL的温度控制单元FFU使用CDA冷却从Bake中 出来的玻璃基板。 •里面使用冷却水循环来控制温度。
•COL上方的FFU。
•为了防止CDA（Cool Dry Air）直接吹向基板， 同时也为了更加均匀的受到CDA的冷却。可以看 到上部为了改变风向而使用的遮挡板。下部的带 孔板在拧掉四角的固定螺栓后，可以向下取出， 在里面的碎玻璃可以从下面取出。
① SCR
• SCR 3 ：
Air Knife Final Rinse
Bubbling
•基板经过HP Bubbling和 HP Rins e后到达Final Rinse。 •为了保证在没有基板的情况下下 部的Rinse喷射出的水不会飞溅到 上部的chamber盖上。在这里使用 了一个防止喷溅的挡板。在经过这 些以后，使用Air Kinfe 干燥。
•COL in部分
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③ SLIT COATER
• Coater的结构：
CDA
•A：Head D：Mounting Section •B：Table E：Running Section •C：lines Section F：Auxiliary part of production
•5 Uniformer的位置 •6 Head 0 set 的探针的位置 •7 Head-Table Gap的 1 号位置 •8 Head-Table Gap的 2 号位置 •9 Head-Table Gap的 3 号位置 •10 挡板调节的压力计位置。
1
234
5 6
7
8
9 10
排出废液
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1. ExcelinerTM 1800设备简介
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Track产线
• Track产线布局(请放映动画)：
•ELV：Elevator panel Buffer •DP：Dry plate
EC ①
IN Pass APP SCR
③
SLIT S/A
④
DP
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LD/ULD (Robot) EC
POST-BAKE & COL
DEV
Titler
⑥
Block 0 控制区域 Block 1 控制区域 Block 2 控制区域 Block 3 控制区域
⑤
如有Titler，在Titler中转向，没有 在此位置为Rotary单元
③ SLIT COATER
• 在HCT的控制电脑旁边，悬挂有下图。操作时可以对照此图进行操作。注意的是操作过 程，必须先向上到达较高位置，再前后移动，防止Nozzle头被突出物体磕坏。
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③ SLIT COATER
• Head：
排气 PR 胶 •调节螺栓时，要观察紧固螺栓拧紧和松弛下两相比较 的数值差。因为往往你拧到目标值后，再拧紧紧固螺 栓时数值会变化。需要事先估计预留出此部分的量。 排气
•Air Curtain DI Water 1.19%TMAH Air Curtain •玻璃搬运方向 •Air Curtain
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•首先，使用1.19%的TMAH进行预 湿润处理(Pre Wet)。设置风刀从 而隔断液体的流向。 •紧接着是DI Water水洗。其中的 水来自下方的 DI Water Tank 1
Brush
Glass 方向
OUT Stage
• • • • • • • •
Dry Stage
Brush Wash Stage
DI Water 1.19%TMAH
Air Curtain
APP
SCR的参数： Air curtain 高度 8±1mm Brush 转速：300-400rpm Brush 可在0-5mm范围上下调整。 BOE B3 的设备 Bubble rinseN2气体加泵加压。 Brush 上方Rinse：72±3mm 下部Spray距离上方：73mm Air knife：35° / heigh(gap):23mm(2.5±0.5mm)
•R/P：Rotary Pass
②
DHP & COL CV Buffer/Pass PRE-BAKE & COL CV R-Pass 放入buffer 动画stop 1Sec Buffer I/F EXP
注意玻璃缺口方向的变化。 Robot运动与Recipe有关， 不一定按此运行。
AOI ELV CV
•LD/ULD 和 APP ,AOI 都不是TEL的设备，由各自研修小组负责讲 解。 •BAKE 和 COL合并在②中讲解。 •Coater, EXP, AOI 前都有BUFFER, 在讲特殊的⑥ELV时其他会提 到并讲解。
① SCR
Final Rinse
• SCR ：
Air Knife
Bubbling
•气垫脚
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③ SLIT COATER
• Position View(几个常用位置点)：
涂胶方向 •1 Release，拆卸Head时的位置 •2 Home，Dry-prevention的位置 •3 Filling，Thinner清洗Head时的排空位置
•4 Head washing的位置。
2
•Brush Rinse
Brush
1
•使用Brush的目的主要是为了清除比 较大颗粒的Particle。 •Brush是可以调节高度的。不同的厚 度的玻璃可以调节不同的上下间距。 从而调节Brush上的软毛对极板的压 力。
2
•Brush
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•Rinse
Brush
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Index ( before you read this article )
• 本报告书的结构：
1. ExcelinerTM 1800 设备简介
（2. ExcelinerTM 1800 安全教育） 3. ExcelinerTM 1800 软件界面
4. ExcelinerTM 1800 控制&电力系统 5. ExcelinerTM 1800 的维护
温度 玻璃板目标温度
距离
在此中玻璃基板 升温至目标温度
Heater 20mm 20mm
Cool Air Unit
反射板 FFU
T.C. – COL
Pre - COL
Bake
Pre - Heat
•玻璃基板运动方向
A。 Pre-Heat用于升温，Bake用于保温，COL用于降温。 B。 OVEN从上面打开进行PM清理。下部的螺丝拧松后可以取出掉落的碎玻璃。
距离
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③ SLIT COATER
• 调节Nozzle口的大小螺栓
1
2
•1 为缩小Nozzle口的螺栓 •较大，所以插不入2的螺栓孔 •当拧紧时，会将缝隙顶开，从而缩小Nozz le涂胶的开口。 •2 增大Nozzle口的螺栓 •小，通过螺帽提拉作用 •当拧紧时,会将缝隙变小。从而加宽开口No zzle涂胶的开口。
Track 工艺设备培训资料
Array工厂Track科 2010年10月26日
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Glossary ( before you read this article )
下文中可能使用到的基本术语和缩写表：
Equipment controller Block controller Block Controller Terminal Cell Motion console(位于Coater) Handy Operation Panel Programable Logic Controller Interface Scrubber Head coater AP plasma Slit coater Dry Plate Developer EC BC BCT CMC HOP PLC I/F SCR HCT或HC APP Slit-CT DP DEV 主控电脑，Track机设备的控制根节点 每个PLC（block）的控制器，共三个，1.SCR，2.I/F，3.DEV 控制器的显示屏（触摸式） Coater机的涂布及其附属设备的控制单元 手持式操作屏,与UCT 或CMC的固定屏幕同 请Baidu或Google 与EXP的连接部分 清洗单元 涂胶及其附属设备，同时也常常指代涂胶机的整体 清除有机物的设备，取代5代线的UV 涂胶机，与HCT，HC等名称经常混用，等待正式Manual 中。 减压干燥单元 显影单元
Heat Treatment Unit
Cooling Rotary Pass Elevator conveyor Conveyor Sub Arm Double/Twin Pass
Oven
COL R/P ELV CV S/A Twin Pass
烘干单元，与COL往往一起讲。设备也是连在一起的。
冷却单元 旋转单元 垂直升降Buffer单元 在某些单元间的起到连接作用的搬运单元（有特殊用途或协调单元间长度） Coater旁的机械手 S/A 旁的双层 Buffer
挤压用Roller 材质VPE 修改
•容易将玻璃变形， 在Brush抬起时
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① SCR
• SCR 1：
•从APP进入SCR实际上是有一个坡度的。In PASS和APP比S CR高7mm。也就是说，水无法流向APP和in pass，SCR整体 比其他的要低。
•Air Curtain是在距离玻璃大概高度 8±1mm的位置。如左图所 示，利用气体的隔断，从而保证1.19% TMAH的Rinse和DI Wa ter的Rinse间互相不影响，可以在有限的设备流水线长度上放 置密集的Rinse，减少了设备的长度，使设备更紧凑。同时也 防止了药液互相混合，有利于回收再利用。
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② OVEN：Heat & Bake
• Heat & Bake：
•由于设备是密闭的，玻璃在里面的状态是 看不到的所以在两侧靠近Parts（梯子和脚 手架）的地方每隔一段距离设置了一个观 察用的窗口。 •上部和下部加热板的多少取决于具体的情 况。 •温度sensor在加热板中央的位置
•Rinse
① SCR
•
1
SCR 2：
•此处双向Rinse，在BCT管路图上标记为两个,其DI Water供应 软管数目为其他的两倍。分别向Upper Brush 和 Lower Brush喷 水。 •Brush下部的Rinse，图中的Brush还没有装上，所以看得比较 清楚。从下往上喷水，清洁Brush。
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② OVEN（动画）
OVEN
Pre-Heat
BAKE
COL
•Pre - COL
•T.C. – COL
百度文库
在此中可控制冷风的温 度，冷却玻璃基板
在此中直接吹冷风，温 度下降
Cool Air 冷却水
•Heater的温度大于玻璃 基板需要达到的目标温 度。而且，由于在靠近 入口和出口的位置的散 热量大，所以Heater块 在此中玻璃基板保持目 温度的设置常常是： 标温度不变