Track工艺设备培训资料

① SCR
•
SCR 2：
1
•此处双向Rinse，在BCT管路图上标记为两个,其DI Water供应软管数目为其他的两倍。分别向U
pper Brush 和 Lower Brush喷水。
2
•Brush下部的Rinse，图中的Brush还没有装上，所以看得比较清楚。从下往上喷水，清洁Brush。
•Brush Rinse 1
1
234
56 7
排出废液
涂胶方向
8
9 10
③ SLIT COATER
•
在HCT的控制电脑旁边，悬挂有下图。操作时可以对照此图进行操作。注意的是操作过程，必须先向上到
达较高位置，再前后移动，防止Nozzle头被突出物体磕坏。
③ SLIT COATER
•
Head：
排气
50mm
4
B
A
3
•调节螺栓时，要观察紧固螺栓拧紧和松弛下两相比较的 数值差。因为往往你拧到目标值后，再拧紧紧固螺栓时数 值会变化。需要事先估计预留出此部分的量。
T.C. – COL
Pre - COL
Bake
A。 Pre-Heat用于升温，Bake用于保温，COL用于降温。 B。 OVEN从上面打开进行PM清理。下部的螺丝拧松后可以取出掉落的碎玻璃。
Pre - Heat •玻璃基板运动方向
② OVEN：Heat & Bake
•
Heat & Bake：
•由于设备是密闭的，玻璃在里面的状态是看不到的所以在两侧 靠近Parts（梯子和脚手架）的地方每隔一段距离设置了一个观 察用的窗口。
•Air Curtain
•玻璃搬运方向 •Air Curtain •Rinse
DI Water
1.19%TMAH
Air Curtain
•首先，使用1.19%的TMAH进行预湿润处理(Pre W et)。设置风刀从而隔断液体的流向。
•紧接着是DI Water水洗。其中的水来自下方的 DI Water Tank 1
•AK DRY
•防止喷溅板
•Rinse
•Rinse •基板传送方向
SCR的排气部分
•
Exhaust管增加气泵加速排气。
•
为了弥补排气量的不足。
•气液分离器，可以分离液体和气体。在其靠近通往1楼的排气侧有过 滤器。
•利用气体的浮力和液体会自然分开，在中间形成一个可以静置的空 间，气体向上浮出。从而分离水和气泡。
请Baidu或Google
Interface
I/F
与EXP的连接部分
Scrubber
SCR
清洗单元
Head coater
HCT或HC 涂胶及其附属设备，同时也常常指代涂胶机的整体
AP plasma
APP
清除有机物的设备，取代5代线的UV
Slit coater
Slit-CT 涂胶机，与HCT，HC等名称经常混用，等待正式Manual 中。
PR 胶
排气
……
•两个排气口阀门轮流交替打开。从而使Head中的气泡振荡。有 利于排出。
•Head上通过螺栓1，2 可调节Nozzle口的大小（1缩小Nozzle 开口，2扩大）。
12
100um
•1 调整螺栓 •2 调整螺栓 •3 固定螺栓 •4 垫片
唇Gap
•为保证Nozzle口压力，Nozzle 口（唇） 距离 中间稍微狭小，两侧稍微宽。
③
注意玻璃缺口方向的变化。Ro
bot运动与Recipe有关，不一
SLIT
S/A
定按此运行。
PRE-BAKE & COL CV
④
放入buffer 动画stop 1Se
DP
c Buffer
R-Pass I/F
EXP
LD/ULD (Robot)
AOI
ELV CV POST-BAKE & COL
DEV
Titler
① SCR • SCR ：
Final Rinse Air Knife
Bubbling
Brush
Glass 方向
OUT Stage
Dry Stage
Brush Wash Stage
•
SCR的参数：
•
Air curtain 高度 8±1mm
DI Water 1.19%TMAH
•
Brush 转速：300-400rpm
Glossary ( before you read this article ) 下文中可能使用到的基本术语和缩写表：
Equipment controller
EC
主控电脑，Track机设备的控制根节点
Block controller
BC
每个PLC（block）的控制器，共三个，1.SCR，2.I/F，3.DEV
道.
•光标尺，用于设备运 行过程中得到直线电 机的坐标
•导轨，Head在此轨道 上运行，进行涂胶
•直线电机，内部为磁 铁。电磁动力下，运 行更加稳定。
③ SLIT COATER
•
Head wash unit:
Dry-prevention unit:
•Obstruction的检测使用一个距离Nozzle 25um的 检测板如果partical大小大于75um将导致检测板 倾斜，从而触发上部的光学sensor，系统报警。
③ SLIT COATER
•
Coater的导轨，螺杆和附属设备：
•对导轨和支持的轴承 加润滑油的管道
•使Head上下 移动的螺杆, 和旁边的上下 方向的导轨和 加润滑油的管
5. ExcelinerTM 1800 的维护
1. ExcelinerTM 1800设备简介
Track产线
•
Track产线布局(请放映动画)：
EC
•ELV：Elevator panel Buffer •DP：Dry plate •R/P：Rotary Pass
IN Pass
APP
① SCR
ห้องสมุดไป่ตู้
② DHP & COL CV Buffer/Pass
⑥
⑤
Block 0 控制区域 Block 1 控制区域 EC Block 2 控制区域 Block 3 控制区域
如有Titler，在Titler中转向， 没有在此位置为Rotary单元 •LD/ULD 和 APP ,AOI 都不是TEL的设备，由各自研修小组负责讲解。
•BAKE 和 COL合并在②中讲解。 •Coater, EXP, AOI 前都有BUFFER, 在讲特殊的⑥ELV时其他会提到并讲解。
•已经安装了调整 螺栓的Nozzle的
调节螺栓处
③ SLIT COATER • Thickness measurement Unit:
•
Obstruction detection unit:
•25u m
•光学传感 器
77mm （型 号1500，B 3的可能不 同）
•涂胶方向
•玻璃厚度的测试单元使用光学传感器，获取玻 璃的厚度，在涂胶前进行如果测定值与Recipe中 的值不一样，则系统将报警。
APP
挤压用Roller 材质VPE
① SCR
•
SCR 1：
•从APP进入SCR实际上是有一个坡度的。In PASS和APP比SCR高7mm。也就是说，水无法 流向APP和in pass，SCR整体比其他的要低。
•Air Curtain是在距离玻璃大概高度 8±1mm的位置。如左图所示，利用气体的隔断，从而保 证1.19% TMAH的Rinse和DI Water的Rinse间互相不影响，可以在有限的设备流水线长度上放 置密集的Rinse，减少了设备的长度，使设备更紧凑。同时也防止了药液互相混合，有利于回 收再利用。
•为了保证在没有基板的情况下下部的Rinse喷射出 的水不会飞溅到上部的chamber盖上。在这里使用 了一个防止喷溅的挡板。在经过这些以后，使用Air Kinfe 干燥。
Air Knife
Final Rinse
Bubbling
•Final Rinse的Water来自于DI Water Tank 2 ，Tank2的水 流到Tank1 重复利用。
③ SLIT COATER
•
调节Nozzle口的大小螺栓
1 2
•1 为缩小Nozzle口的螺栓 •较大，所以插不入2的螺栓孔 •当拧紧时，会将缝隙顶开，从而缩小Nozzle涂胶的开口。
•2 增大Nozzle口的螺栓 •小，通过螺帽提拉作用 •当拧紧时,会将缝隙变小。从而加宽开口Nozzle涂胶的开口。
Dry Plate
DP
减压干燥单元
Developer
DEV
显影单元
Heat Treatment Unit
Oven
烘干单元，与COL往往一起讲。设备也是连在一起的。
Cooling
COL
Rotary Pass
R/P
旋转单元
Elevator conveyor
ELV
垂直升降Buffer
Conveyor
CV
在某些单元间的起到连接作用的搬运单元（有特殊用途或协调单元间长
•Heater的温度大于玻璃 温度 基板需要达到的目标温度。 而且，由于在靠近入口和 出口的位置的散热量大， 所以Heater块温度的设置 常常在是此：中玻璃基板保持目
标温度不变
Cool Air 冷却水
Unit
Cool Air FFU
反射板
玻璃板目标温 度
距离 在此中玻璃基板升
温至目标温度
Heater 20mm 20mm
Block Controller Terminal
BCT
控制器的显示屏（触摸式）
Cell Motion console(位于 Coater)
CMC
Coater机的涂布及其附属设备的控制单元
Handy Operation Panel
HOP
手持式操作屏,与UCT 或CMC的固定屏幕同
Programable Logic Controller PLC
•COL in部分
③ SLIT COATER
•
Coater的结构：
•A：Head
D：Mounting Section
•B：Table
E：Running Section
•C：lines Section F：Auxiliary part of production
•气垫脚
CDA
③ SLIT COATER
•气液分离器上方的手动调节排气量的一个简易阀门，通过旋转里面 的薄圆形铁片。可以调节排气量的大小。 •铁片遮挡的部分越小则排气量越大。
Air
② OVEN（动画）
Pre-Heat
OVEN BAKE
COL
在此中可控制冷风的温 度，冷却玻璃基板
•Pre - COL
•T.C. – COL
在此中直接吹冷风，温 度下降
Air Curtain
•
Brush 可在0-5mm范围上下调整。
•
BOE B3 的设备 Bubble rinseN2气体加泵加压。
•
Brush 上方Rinse：72±3mm
•
下部Spray距离上方：73mm
•
Air knife：35° / heigh(gap):2-
3mm(2.5±0.5mm)
修改
•容易将玻璃变形，在 Brush抬起时
•上部和下部加热板的多少取决于具体的情况。
•温度sensor在加热板中央的位置
上部的加热板
下部加热板
温度sensor
设备外侧的观测窗
② OVEN：Col
•
COL设备：
•COL的温度控制单元FFU使用CDA冷却从Bake中出来的玻璃基板。 •里面使用冷却水循环来控制温度。
•COL上方的FFU。
•为了防止CDA（Cool Dry Air）直接吹向基板，同时也为了更加均匀的受 到CDA的冷却。可以看到上部为了改变风向而使用的遮挡板。下部的带孔 板在拧掉四角的固定螺栓后，可以向下取出，在里面的碎玻璃可以从下面 取出。
度）
Sub Arm
S/A
Coater旁的机械手
Index ( before you read this article )
•
本报告书的结构：
1. ExcelinerTM 1800 设备简介
（2. ExcelinerTM 1800 安全教育）
3. ExcelinerTM 1800 软件界面
4. ExcelinerTM 1800 控制&电力系统
Brush
•Brush
2 •Rinse
Brush
•使用Brush的目的主要是为了清除比较大颗粒的Particle。
•Brush是可以调节高度的。不同的厚度的玻璃可以调节 不同的上下间距。从而调节Brush上的软毛对极板的压力。
① SCR
•
SCR 3 ：
•基板经过HP Bubbling和 HP Rinse后到达Final Rins e。
•
Position View(几个常用位置点)：
•1 Release，拆卸Head时的位置 •2 Home，Dry-prevention的位置 •3 Filling，Thinner清洗Head时的排空位置 •4 Head washing的位置。 •5 Uniformer的位置 •6 Head 0 set 的探针的位置 •7 Head-Table Gap的 1 号位置 •8 Head-Table Gap的 2 号位置 •9 Head-Table Gap的 3 号位置 •10 挡板调节的压力计位置。