真空知识
真空知识
真空知识真空区域划分：真空状态中，真空度越高，气体状态就越稀薄，气体分子的物理特性就逐渐发生变化等规律，把气体分子数的量变直到引起真空性质的质变过程来作为划分真空区域的依据是比较合适的。
将真空区域划分为五个区域：低真空区域 10Pa—10pa（其中10Pa—10pa称粗真空）中真空区域 10pa—10pa高真空区域 10Pa—10pa超高真空区域 10Pa==10pa极高真空区域 10pa1、影响真空系统抽气时间的因素（1）真空泵的实际抽速；（2）抽气管道的流导；（3）真空系统的漏率；（4）在低真空时，真空系统的容积；（5）在高真空时，真空系统的材料放气量；2、真空系统漏气及其产生原因（1）法兰密封处：法兰面加工粗糙、划痕、油污、氧化皮等，密封垫圈老化或未压紧。
（2）动密封处：法兰变形或没压平，螺栓没拧紧。
（3）焊缝：焊接规范不当，焊缝设计不合理，出现夹渣、裂纹，特别是焊接起弧、收弧处。
（4）弯折部位：冷弯易出现裂纹，应力大。
（5）应力集中部位；设计和工艺不合理，退火不够，经受了温度剧烈变化。
焊接应力作用下产生裂纹。
（6）焊缝经切削加工部位：缺陷暴露。
（7）不匹配封接处：由于被封接的两结构件的材料的温度系数不一样易出现裂纹，如芯柱、可伐过渡接头。
3、漏孔及其检测。
真空系统经过较长时间抽气后，仍达不到预期真空度，或真空室与抽气系统隔离后，真空室内的压力不断升高，如果真空泵工作正常，则可断定真空系统存在漏气或真空系统内部材料放气（包括表面出气、渗漏、蒸气压等）现象，在真空系统的操作中，应该对两者中的主要原因作出正确判断，以便采取相应措施解决。
对于一般中、大型真空容器通常用静态压升检漏法来判断系统是否漏气：把真空系统抽到一不定期的真空度后，将真空泵与系统隔离，测量并绘制真空室内压力随时间变化的曲线，一般曲线分4种情况：（1）直线a—系统内的压力长时间保持不变，说明系统正常，不必进行检漏。
如果压力p0达不到预期设计要求，则说明是抽气系统的问题；（2）曲线b—系统内压力开始上升快，而后上升速度减慢并趋于不变，说明真空室内的真空度受放气的影响。
真空知识及侧漏报告
真空知识及侧漏报告一、真空知识真空是指在一个容器内部完全没有气体存在的状态。
在真空中，气体压力低于大气压，因此，真空条件下不存在气体分子与其它分子的碰撞，也就没有分子间的能量传递，导热能力低。
真空具有以下特点：1.低温：真空中的物体散发的热量很难传递到外部，因此内部温度会比外部低。
这个特点在各种真空系统中都有重要应用，例如真空泵、冷冻机等。
2.不传声：真空中没有分子传递声音，所以在真空环境中，“听不见”任何声音。
3.不导电：真空中没有自由电荷存在，所以电流很难通过真空。
4.明亮：真空中没有空气中的沉淀物，所以空间中看起来非常明亮。
5.防腐蚀：真空中没有氧气和水汽等腐蚀性物质，所以一些高腐蚀性物质在真空中可以得到良好的保存。
二、真空侧漏的原因和处理方法真空系统侧漏是指真空系统存在气体泄漏的现象。
侧漏导致真空度下降，在一些情况下会影响真空系统的工作效果和性能。
常见的侧漏原因有以下几点：1.密封件老化破损：真空系统中使用的密封件（如O型圈、密封垫、橡胶件等）长时间使用后容易老化，导致密封性能下降。
此时需更换密封件。
2.连接口松动：真空系统中的各种接头、法兰等连接部件如果松动，会导致气体泄漏。
此时需重新拧紧。
3.管道漏气：真空系统中的各种管道连接点若未正确安装、松动或损坏，会导致气体泄漏。
此时需重新修理或更换管道。
4.泄漏点：真空系统本身存在的泄漏点，如设备的各种接口、排气口等。
此时需进行泄漏检测，找出泄漏点并进行修补或更换。
解决真空系统侧漏的方法如下：1.检查密封件：定期检查真空系统中的密封件，如发现老化、破损等问题，及时更换。
2.检查连接部件：定期检查真空系统中的各种连接部件，如发现松动或损坏，及时修理或更换。
3.泄漏检测：定期进行真空系统的泄漏检测，找出泄漏点，并进行修补或更换。
4.做好真空系统的维护工作：定期对真空系统进行保养，增加其使用寿命和稳定性。
总之，真空知识对于了解和运用真空系统非常重要，而真空侧漏是真空系统中常见的问题之一、掌握真空知识并采取合适的方法解决侧漏问题，能够确保真空系统的稳定运行。
真空知识
检漏的基本知识
1、 1、 真空度达不到要求的因素： 真真空系统中，如果抽不到预定的真空度，有三个因素：1、真 空泵工作不良，抽速不够。2、真空部件或内部放气3、真空室 体某些部件漏气。 2、漏气的判断
• 1） 直线A，压力不变，但无法提高真空度，说明主要是泵 的工作能力有问题 • 2） 曲线B，压力刚开始上升较快，上升一段时间后趋平行， 主要问题是放气，真空室内部的放气 • 3） 斜线C，真空压力一直上升，主要是漏气。 • 4） 曲线D，放气和漏气同时存在。 • 3、 真空检漏的一般方法和注意事项 • 1） 检漏的原理：（另外画图讲解） • 2） 漏率的单位：Pam3 /s Torr m3 /s Mbam3 /s 单位的转换 • 3） 漏率：露点低于-25℃的空气，入口压力为标准大气压， 出口压力为103 Pa，温度为23±3℃时，空气通过漏空的流量。 • 漏率Q＝压力Pa×流速m3/s • 4） 检漏的几种方法： （1）大漏的检测： • (2) 小漏的检测：
真空度越高，则气体的压力越低，炉内气体分子数目也越少；反之， 气体压力越高，意味着真空度越低。可见，压强的大小与真空度的高 低成反比。 在各种文献中，压强的单位除了Pa和Torr外，还有标准大气压、 bar、kgf/cm2。几种常见单位之间的换算关系如下。 1Torr=133.3Pa 1Pa=7.5×10-3Torr 1Torr=1mmHg 1 Torr = 1/760 大气压 三、真空区域的划分 真空区域的划分方法很多，目前，我国将真空区域划分为：低真 空、中真空、高真空和超高真空。各真空区域所对应的真空值分别为 ： 低 真 空：105 ～102 Pa (760～1 Torr) 中 真 空：102 ～10-1 Pa (1～10-3 Torr) 高 真 空：10-1～10-5 Pa (10-3～10-7 Torr) 超高真空： ≤10-5 Pa (≤10-7 Torr) 在不同的真空区域内分子运动的物理现象是不同的。
真空知识
基础知识1、真空的概念“真空”一词来自拉丁语“vacuum”，原意为“虚无”、“空的”。
真空是指在给定空间内低于环境大气压力的气体状态，即该空间内的气体分子密度低于该地区大气压力的气体分子密度，并不是没有物质的空间。
水环真空泵应用于低真空（105—103 Pa）领域2、真空的测量单位在真空技术中，表示处于真空状态下气体稀薄程度的量称为真空度，可用压力、分子数密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间常数等来表征，但通常用气体的压力（剩余压力）值来表示。
气体压力越低，表示真空度越高；反之，压力越高，真空度越低。
法定的压力计量单位为帕［帕斯卡］，符号为Pa1Pa=1N.m-2 此外，还可用真空度的百分数作测量单位。
δ——真空度百分数（%）P——绝对压力（Pa）Pb-P 表示真空压力表读数，表压力（用Pe表示）真空度百分数δ（%）与压力P对照表3、单位换算1atm（标准大气压）=1013.25hPa（百帕）1mmHg（毫米汞柱）=1Torr（托）=1.333 hPa（百帕）1bar（巴）=1000 hPa（百帕）1mbar（毫巴）=1 hPa（百帕）１inHg（英寸汞柱）=25.4mmHg（毫米汞柱）=33.8 hPa （百帕）4、相关术语◇气量——水环真空泵的气量是指入口在给定真空度下，出口为大气压1013.25hPa时，单位时间通过泵人口的吸入状态下的气体容积，m3/min或m3/h 。
◇最大气量——水环真空泵的最大气量是指气量曲线上的气量最大值，m3/min或m3/h。
◇真空度（或称作压力）——水环真空泵的真空泵是指入口处在真空状态下气体的稀薄程度，以绝对压力表示，Pa、hPa、kPa。
◇极限真空度（或称作极限压力）——水环真空泵的极限真空度是指入口处气量为零时的真空度，Pa、hPa、kPa。
◇压缩比——吸入压力下气体容积与压缩后气体容积之比◇饱和蒸汽压——在给定温度下，某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。
真空技术基础
不需要油作为介质，又称为无油泵
1.3 真空的获得－抽真空
极限真空（极限压强Pu）和抽气速率
——是表示真空泵性能的两个重要参数。极限压强是该系 统所能达到的最低压强；抽气速率是在规定压强下单位时间 抽出气体的体积，它决定抽真空所需要的时间。
理论上，一个系统所能达到的真空度：
Q V dP P Pu i S S dt
旋片式机械泵结构示意图和工作原理图
1.3 真空的获得－抽真空
玻－马洛特定律
V P P0 1 V V n次循环后
V Pn P0 V V
n
P0 V lg mt lg 1 Pi V Kt
lgP0/Pi
Pn达到极限值？
体分子的扩散系数；v油蒸气在喷口处的速度 扩散泵的实际抽速：
S (3 ~ 4)d
2
d是进气口直径
泵油要求：
化学稳定性好（无毒、无腐蚀） 热稳定性好（高温不分解） 抗氧化 较低的饱和蒸气压（小于等于10-4Pa）
工作时应有尽可能高的蒸气压
无任何阻挡的话，返油率高达10-3mg/cm2· s
1.3 真空的获得－抽真空
赫兹－克努曾公式
va 8k T 8 RT m M
P 2mk T
温度一定时, P
稀薄气体的基本性质
示例
气体分子密度
P n 7.2 10 (m-3 ) T
22
标准状态： P = 105Pa，n = 2.461019分子/cm3
P = 1.3 10-8Pa，n = 3.24105分子/cm3
1 1 nva 3.24 10 5 8.5 10 4 6.9 10 9 分子 / cm2 s 4 4
真空基础知识
INFICON HAPSITE Protable GC/MS真空系统
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中国计量科学学院设计的矩形离子阱质谱仪真空系统
恒压电源 测量范围：1 Torr to 10-4 Torr
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电离真空计
工作原理：电子在电场中飞行时从电场获得能量， 若与气体分子碰撞，将使气体分子以一定几率发生 电离，产生正离子和次级电子。其电离几率与电子 能量有关。电子在飞行路途中产生的正离子数，正 比于气体密度，在一定温度下正比于气体的压力。 因此，可根据离子电流的大小指示真空度。 根据气体分子电离方式的不同，电离真空计可可分 三种：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放 射电离真空计。
真空阀门
电磁线圈
铁芯
电磁阀
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真空法兰 CF法兰
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真空法兰 KF法兰
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（1）曲线A：说明该系统既不漏气，也不放气 （放气是由于系统内有蒸汽源所致）；如果系统抽 不到预定压强，是由于泵工作不正常所致。 （2）曲线B：在开始时上升较快，而后呈饱和状， 表明系统本身不漏气，但内部有放气源。 （3）曲线C：呈直线上升，说明系统漏气。 （4）曲线D：表明系统压强开始上升很快，而后 变得较慢但不出现饱和，说明放气和漏气两种情况 都存在。
判断真空系统确实漏气之后，就开始着手寻找漏孔的位置、测定漏率大小，以 便进行修补。检查的方法主要有：压力检漏法、真空检漏法、氦质谱检漏法和 其他检漏法等。
真空知识及侧漏报告
1个大气压＝760托
反映真空程度高低的量叫做真空度。真空度低即气压高；真空度高即气压低。 目前的真空技术，已经获得 760托>P >10ˉ 托的真空度。根据不同的应用情 况，大致上可以把真 空区 10ˉ³ 10ˉ³ ~10ˉ 10ˉ 托以下
叫粗真空；
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二、抽真空
旋片式真空泵工作原理如右图： D25B，D40B，大致就是这样工作的。 SV100(B)结构稍有不同，但原理一样。
罗茨（Roots）泵（或称双突瓣式泵two-lobe pump)
其工作原理如左图：
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三、测漏
检漏是指对于漏气的部件或系统进行检查以确定漏点的工作。经 常的，在此之后我们要对漏点进行处理，使得部件/系统的漏率小到 可以接受的程度。 绝对不漏气的部件或系统是不存在的。所以技术上所说的“不漏 气”，只是指部件或系统的漏率已经小到满足要求。
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测漏方法：
检漏的方法根据检漏时样品内气压是否超过外界大气压，大体有真 空法和过压法两类。
我们常用的气泡法（用于检查气体管道的漏气）就是属于过压检漏。
而使用氦气检漏仪（用于检查排气机真空系统或者灯部件漏气）则 属于真空检漏。
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真空知识及侧漏报告
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一、何为真空
真空的定义(一般工业技术上的定义)：
一切存在于空气中的物体，都受到空气的压力。这个压力的强度通常情况 下我们称它为一个大气压。 真空（Vacuum）是指气压比一个标准大气压低 的状态 国际上为了使用方便，统一使用“托”作为计量气压的单位，1托即 为1mm Hg.所以：
真空知识
真空泵学习资料在真空科学中，真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。
人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状态。
这种特定的真空状态与人类赖以生存的大气状态相比，具有如下特点：·真空状态下的气体压力低于一个大气压；·真空状态下由于气体稀薄，单位体积内的气体分子数，即气体的分子密度小于大气压下的气体分子密度；·真空状态下由于分子密度的减小，因此作为组成大气组分的氧、氢等气体含量（也包括水分的含量）也将相对减少。
二、真空的测量单位：所谓真空度，就是指低压空间中气态物质的稀薄程度。
气体的压力越低，其稀薄程度越大，也就是真空度越高。
因此，低压力与高真空或高压力与低真空在含义上是完全相同的。
这一点千万不要混淆。
测量真空度大小的量是压力，它的单位很多。
下表列出的是常用的几种压力单位的换算关系。
三、真空区域的划分：根据我国所制定的国标GB3163的规定，真空区域大致划分如下：四、真空的作用：随着气态空间中气体分子密度的减小，气体的物理性质发生了明显的变化，人们就是基于气体性质的这一变化，在不同的真空状态下，应用各种不同的真空工艺，达到为生产及科学研究服务的目的。
例如，利用一面是大气，另一面是真空所造成的压力差或吸引力来作为巨大的能源；把钢水置于真空之下进行浇注或处理，借以减少钢中有害气体的含量和杂质，从而提高钢的质量；把食品或生物制品保存在真空容器里，借以减少有害气体对它侵蚀而延长保存时间；如果在低真空里进行浓缩结晶，那就可以非常方便地制取盐、糖；如果把低压环境下能使液体容易挥发的道理用于石油、化工，就可以通过“减压蒸馏”来分离某些不能在高温下操作的有机化合物。
目前，可以说，从每平方厘米表面上有上百个电子元件的超大规模集成电路的制造，到几公里长的大型加速器的运转，从民用装饰品的生产到受控核聚变、人造卫星，航天飞机的问世，都与真空工艺技术密切相关。
五、真空泵的含义：人们所接触到的真空大体上有两种：一种是宇宙空间客观存在的真空，另一种是人们利用机械、物理、化学或物理化学的方法所获得的真空。
真空基本知识
真空基本知识从第一讲的介绍已经知道：真空这个概念实际上只是泛指低于大气压的气体状态。
因此，这个科学名词实际上是不科学的。
“真空”并非一无所有，因为大气实际上是抽不尽的。
即便用现代最先进的抽气手段去抽气，在达到10-12 Pa 的压力时,每1个cm3的空间内仍然有几千个气体分子。
美国“阿波罗11号”航天器登月后，宇航员曾用真空测量仪器实测验了月球表面的真空度。
在该测量点，日出时的真空度为10-10 Pa，日落后真空度约为10-12 Pa。
这就表明在寂静荒凉的月球上，“真空”也是不空的。
在物理学中，计算大气的分子密度有如下的近似公式。
N =7.3×1016 P/T 式中，N是大气的分子密度（个/cm3）；P是气体的压力，即表征现在所说的真空度（Pa）；T是热力学温度（ K ）。
从这个公式可以知道，真空容器中气体分子的密度与真空度和温度都有关系。
在月球表面每1cm3空间的中还有几千个气体分子。
在标准状态下（常温常压），1 cm3的空间中气体分子数多达1021个。
2、压力的单位在真空的发展史中，常用到的两个表征压力的单位是T orrt和Pa。
Torr =1mmHg,，Torr与 Pa之间的关系是如何推算呢？物理学中，计算压力的公式是：P = ρgh式中，P代表气体的压力（Pa）；ρ是密度（水银的密度为136 kg /m3）；g是重力加速度（9.8 m/s2）;h是表征压力的水银柱高度（m）。
如果以1个大气压来计算，将h =0.76 m 代入上式，可得P ≈105 Pa 。
如果以h = 1 mm =10-3m代入，则得P ≈ 133 Pa。
这就是说1Torr ≈ 133 Pa。
Pa是代表压力的国际计量单位。
中国真空网上，压力的单位都有用Pa来表示。
3、稀薄气体的特性真空条件下，容器内的气体分子数明显减少。
随着分子数目的减少，分子之间、分子与器壁之间相互碰撞的次数逐渐减少。
这就给气体分子在空间的自由飞行创造了有利的条件。
真空的基本知识
最早使用、最广泛的
纪念托里拆利
真空的 基本知识
几种压强换算关系
单位 1 Pa 帕/Pa 1 托/Torr 7.5×10-3 毫巴/mba 1×10-2 标准大气压 9.87×10-6
1 Torr
1 mba 1 atm
133.3
100 1.013×105
1
0.75 760
1.333
1 1.013×103
密度以及固体本深的性质如光洁程度、清洁度等
气体吸附：
气体吸附就是固体表面俘获气体分子的现象。 分为物理吸附和化学吸附。 物理吸附靠分子间的相互吸引引起的，任何气体在固体 表面均会发生，吸附后容易脱附。 化学吸附在较高温度下发生，只有当气体与固体表面原 子接触生成化合物时才能产生吸附作用，气体不易脱附。
气体脱附
是气体吸附的逆过程。
影响因素：气体的压强、固体的温度、固体表面吸附气体的
容器中分子数很少，分子平均自由程大于一般容器的 气体分子数更少，几乎不存在分子间碰撞，此时气体分子在 线度，分子流动为分子流，分子与容器壁碰撞为主，在 固体表面上是以吸附停留为主。 此真空下蒸发材料，粒子将按直线飞行。
超高真空 <1×10气体的吸附和气体的脱附
真空的 基本知识
真空程度的表示
真空度 压强 气体分子密度、气体分子平均自由程、 形成一个分子层所需要的时间等
真空单位
法定计量单位
帕斯卡（Pascal）：Pa 托（Torr）：1Torr=133.322 Pa 1 Pa=7.5×10-3 Torr 旧的单位：mmHg Torr bar atm
1.316×10-3
9.87×10-4 1
真空的 基本知识
☞ 真空的划分 粗真空 1×105 to 1×102 Pa
真空技术基础知识
真空技术基础知识前言1. 真空“真空”来源于拉丁语“Vacuum ”，原意为“虚无”，但绝对真空不可达到，也不存在。
只能无限的逼近。
即使达到10-14—10-16托的极高真空，单位体积内还有330—33个分子。
在真空技术中，“真空”泛指低于该地区大气压的状态，也就是同正常的大气比，是较为稀薄的气体状态。
真空是相对概念，在“真空”下，由于气体稀薄，即单位体积内的分子数目较少，故分子之间或分子与其它质点（如电子、离子）之间的碰撞就不那么频繁，分子在一定时间内碰撞表面（例如器壁）的次数亦相对减少。
这就是“真空”最主要的特点。
利用这种特点可以研究常压不能研究的物质性质。
如热电子发射、基本粒子作用等。
2. 真空的测量单位一、用压强做测量单位真空度是对气体稀薄程度的一种客观量度，作为这种量度，最直接的物理量应该是单位体积中的分子数。
但是由于分子数很难直接测量，因而历来真空度的高低通常都用气体的压强来表示。
气体的压强越低，就表示真空度越高，反之亦然。
根据气体对表面的碰撞而定义的气体的压强是表面单位面积上碰撞气体分子动量的垂直分量的时间变化率。
因此，气体作用在真空容器表面上的压强定义为单位面积上的作用力。
压强的单位有相关单位制和非相关单位制。
相关单位制的各种压强单位均根据压强的定义确定。
非相关单位制的压强单位是用液注的高度来量度。
下面介绍几种常用的压强单位。
【标准大气压】（atm ）1标准大气压=101325帕【托】（Torr ）1托=1/760标准大气压【微巴】（μba ）1μba=1达因/厘米2【帕斯卡】（Pa ）国际单位制1帕斯卡=1牛顿/m2【工程大气压】（at ）1工程大气压=1公斤力/厘米2二、用真空度百分数来测量%100760760%⨯-=P δ 式中P 的单位为托，δ为真空度百分数。
此式适用于压强高于一托时。
3. 真空区域划分有了度量真空的单位，就可以对真空度的高低程度作出定量表述。
此外，为实用上便利起见，人们还根据气体空间的物理特性、常用真空泵和真空规的有效使用范围以及真空技术应用特点这三方面的差异，定性地粗划为几个区段。
《真空基础知识》课件
高真空
超高真空
超高真空是指在极低压力下的真空状 态，通常在10^-6Pa至10^-9Pa之间 。
高真空是指在较高压力下的真空状态 ，通常在10^-3Pa至10^-5Pa之间。
02
真空的物理性质
真空中的气体分子分布
真空环境
在真空环境中，气体分子数极低，物质处于高度纯净状态， 有利于科学研究和技术应用。
真空的度量单位
帕斯卡（Pa）
帕斯卡是国际单位制中压力的单位，也是真空度的一种度量单位。
托（Torr）
托是国际单位制中压力的单位，常用于表示真空度。
毫米汞柱（mmHg）
毫米汞柱是常用的真空度单位，常用于表示低压力下的真空度。
中需要使用高真空或超高真空环境。
02
在物理实验中，高真空可以消除空气阻力对实 验的影响，例如在研究自由落体运动、弹性碰
撞等实验中需要使用高真空。
04
在材料科学中，高真空可以用于材料制备、表面处 理等，例如在薄膜制备、晶体生长等领域中需要使
用高真空或超高真空环境。
真空在工业生产中的应用
真空在工业生产中的应用也非常 广泛，例如在机械制造、航空航 天、电子制造等领域中需要使用 真空技术。
机械真空泵
利用机械运动将气体吸入并排出，以达到抽气 的目的。
扩散泵
通过加热使气体分子热运动加速，从而实现气 体扩散。
溅射泵
利用高能粒子将气体分子打散，使气体分子从 表面逸出。
真空的测量 技术
皮拉尼真空计
利用电阻丝加热后冷却的原理，测量 真空度。
冷阴极电离真空计
利用不同气体在加热状态下热导率不 同的原理，测量真空度。
真空知识及真空泵幻灯片培训
电子工业
在半导体制造、电子元器件生产等领域 中，用于提供洁净的真空环境。
医疗领域
在医疗设备如核磁共振成像仪中，用于 提供稳定的磁场环境。
05
真空泵操作与维护保养
操作规程及注意事项
操作前准备
检查真空泵及其附件是否完好，确保 电源接线正确，接地良好。
启动操作
按照启动顺序逐步开启真空泵，注意 观察启动过程中的异常情况。
缺点
需要定期更换吸附剂，且吸附剂再 生过程较为复杂。
应用范围
适用于抽吸腐蚀性气体、有毒气体 以及含少量固体颗粒的气体。
喷射式真空泵
01
工作原理
利用高速射流将气体或蒸汽带 入扩散器，通过扩散器的减速 增压作用实现气体的压缩和排
出。
02
优点
结构简单、紧凑，无运动部件 ，维护方便。
03
缺点
效率相对较低，需要消耗一定 的能量。
。
02
考虑真空泵的可靠性和维护 性。选择质量可靠、维护方 便的真空泵可以降低使用成
本和提高工作效率。
03
注意真空泵的噪音和振动是 否符合要求。噪音和振动过 大会影响工作环境和设备的 稳定性，因此需要选择噪音
和振动较小的真空泵。
04
05
典型案例分析
案例一
某电子厂使用旋片式真空泵进行电子元器件的干燥处理，由于抽速不足导致生产效率低下 。经过分析，选择了更大抽速的真空泵后，生产效率得到了显著提高。
优点
结构简单、工作可靠、维护方便。
缺点
对气体和蒸汽的抽吸能力有限，易受到 气体性质的影响。
应用范围
适用于抽吸干燥、无腐蚀性、不含固体 颗粒的气体。
吸附式真空泵
工作原理
真空基础知识
真空基础知识一、真空的概念真空应理解为气体较稀薄的空间，具体地讲：在指定的空间内，低于一个大气压力的气体状态统称为真空。
真空状态下，气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值来表示真空度的高低。
二、真空度的测量测量低于大气压的气体压强的工具称为真空计。
真空计可以直接测量气体的压强，也可以通过与压强有关的物理量来间接测量压强，前者称为绝对真空计，后者称为相对真空计。
常用压强单位换算表三、真空压域的划分四、真空特性* 防止氧化* 脱气作用* 元素蒸发作用* 真空镀膜脱脂作用五 、真空应用①生活方面：各种真空包装、真空保鲜等。
②工业生产方面：真空热处理真空清洗真空干燥真空焊接六、抽真空系统的组成根据设备极限真空度的要求和排气量的多少确定抽真空系统的组成，如上图示：高真空5×10-2Pa以上至10-5Pa 【常用的真空度】主泵选用油扩散泵，前级泵为机械泵增压泵——罗茨泵根据应用实际情况选定选用原则为：前级泵/罗茨泵==（1/5~1/10）七、真空热处理种类真空退火：消除降低组织的不均匀性，去除内应力改善其可塑性。
真空回火：消除机加工过程中的内应力。
真空淬火：（气淬、油淬）在加热后快速冷却使其材料硬化，真空渗碳：在真空加热中，在负压渗碳气氛中进行渗碳。
真空离子渗碳：对金属表面进行硬化的一种新的真空化学热处理。
真空化学热处理：真空碳氮共渗，真空渗硼等工艺（正在完善化）。
真空辉光离子氮化：一般为离子氮化在高压直流电场下进行。
真空渗金属：通过高压在真空中渗金属。
八、真空焊接的应用①、应用范围：国防系统：雷达天线、微波传送系统、加固机箱机柜。
民用：铝散热器、民用铝制品。
②、真空钎焊的优越性（先进性）焊缝光滑连接性好焊接强度高焊接重复性好（产品一致性好）焊接件变性小２、钎焊技术一、工作原理钎焊是两种相同或不同的材料达到连接时，采用比母材熔点低的材料充当钎料。
当被连接的零件和钎料加热到钎料熔化时，利用液态钎料在母材表面间隙中湿润、毛细流动并与母材相互溶解、扩散从而达到被连接零件间的连接。
真空基础知识
真空基础知识真空技术•低于正常大气压的气体状态的特定空间，称为真空。
•特点：•1、真空容器内外存在气压差•2、气体分子之间或分子与其他质点之间的碰撞很少（气体的密度n很低）真空的度量•p=nkT•n‐m3, T‐K, p‐P a =N/m2（帕斯卡）•度量单位：•标准大气压＝1.01325⨯105 Pa•一个标准大气压的1/760＝1乇•1乇＝1.333224 ⨯102 Pa真空度的划分•粗真空105‐103Pa•低真空103‐10‐1 Pa•高真空10‐1‐10‐6Pa•超高真空10‐6‐10‐10Pa•极高真空<10‐10Pa真空的测量真空的测量真空规：真空测量用的元件。
热偶规和皮拉尼规是以气体热导率随气体压力的变化为基础而设计的，是最常用的低真空测量手段。
热偶真空规工作原理：将作为热丝的Pt通过恒定强度的电流。
在达到热平衡以后，电流提供的加热功率与通过空间热辐射、金属丝热传导以及气体分子热传导而损失的功率相等，因而热丝的温度将随着真空度的不同而有规律变化。
测量范围:0.1-100Pa在0.1-100Pa的压力范围内，气体的热导率将随着气体压力的增加而上升，因而热丝的温度会随着气体压力的上升而降低。
这时，用热电偶测出了热丝本身的温度，也就相应测出了环境的气体压力。
热偶真空规不能用于较低或较高真空度的测量。
在气体压力高于100Pa的情况下，气体的热导率将不再随气体压力而变。
这时，用热丝温度测量气体压力方法的灵敏程度将迅速下降．而当气体压力低于0.1Pa以后，由气体分子传导走的热量在总加热功率中的比例过小，测量的灵敏度也将呈下降趋势。
皮拉尼真空规又称热阻式真空规。
工作原理：通过测量热丝的电阻随温度的变化来实现对真空度的测量。
类型：定温度型，定电流型和定电压型。
测量范围:0.1-0.1MPa。
电离真空规与热偶真空规结合使用的高真空规。
电离真空规主要由阴极、阳极和离子收集极组成。
热阴极发射出的电子在飞向阳极过程中碰撞气体分子，使之电离。
关于真空的一些基础知识
前言1.真空“真空”来源于拉丁语“Vacuum”，原意为“虚无”，但绝对真空不可达到，也不存在。
只能无限的逼近。
即使达到10-14—10-16托的极高真空，单位体积内还有330—33个分子。
在真空技术中，“真空”泛指低于该地区大气压的状态，也就是同正常的大气比，是较为稀薄的气体状态。
真空是相对概念，在“真空”下，由于气体稀薄，即单位体积内的分子数目较少，故分子之间或分子与其它质点（如电子、离子）之间的碰撞就不那么频繁，分子在一定时间内碰撞表面（例如器壁）的次数亦相对减少。
这就是“真空”最主要的特点。
利用这种特点可以研究常压不能研究的物质性质。
如热电子发射、基本粒子作用等。
2.真空的测量单位一、用压强做测量单位真空度是对气体稀薄程度的一种客观量度，作为这种量度，最直接的物理量应该是单位体积中的分子数。
但是由于分子数很难直接测量，因而历来真空度的高低通常都用气体的压强来表示。
气体的压强越低，就表示真空度越高，反之亦然。
根据气体对表面的碰撞而定义的气体的压强是表面单位面积上碰撞气体分子动量的垂直分量的时间变化率。
因此，气体作用在真空容器表面上的压强定义为单位面积上的作用力。
压强的单位有相关单位制和非相关单位制。
相关单位制的各种压强单位均根据压强的定义确定。
非相关单位制的压强单位是用液注的高度来量度。
下面介绍几种常用的压强单位。
【标准大气压】（atm）1标准大气压=101325帕【托】（Torr）1托=1/760标准大气压【微巴】（μba）1μba=1达因/厘米2【帕斯卡】（Pa ）国际单位制 1帕斯卡=1牛顿/m2 【工程大气压】（at ） 1工程大气压=1公斤力/厘米2 二、用真空度百分数来测量%100760760%⨯-=Pδ 式中P 的单位为托，δ为真空度百分数。
此式适用于压强高于一托时。
3. 真空区域划分有了度量真空的单位，就可以对真空度的高低程度作出定量表述。
此外，为实用上便利起见，人们还根据气体空间的物理特性、常用真空泵和真空规的有效使用范围以及真空技术应用特点这三方面的差异，定性地粗划为几个区段。
真空技术基础知识
真空技术基础知识⼀真空的概念物理学上将真空定义为:⼀个空间不含有任何物质的状态(或称之为绝对真空);然⽽事实上这种状态⽆法⼆真空范围从技术⾓度讲已经可以达到10-14的数量级,但实际应⽤中使⽤范围较⼩.三真空的表⽰⽅法1)绝对值表⽰法真空度以相对于绝对0度的数值表⽰.绝对0度(即0 bar)是最低真空度,相当于100%真空.在这⼀真空范围特点：真空值采⽤正值真空范围1-0bar2)相对值表⽰法真空值以相对于环境压⼒的⽐例值表⽰，前⾯标以负号，因此此真空值环境压⼒（即⼤⽓压⼒）北视为特点：真空值采⽤负号真空范围0-1；3)百分⽐表⽰法⽤绝对⼤⽓压压⼒值与海平⾯⼤⽓压压⼒值的⽐值表⽰；百分⽐相对值绝对值0%1，013mbar（海平⾯⼤⽓压）压⼒表压⼒表恒温下,所含分⼦微粒少,压⼒⼩,真空度越⾼恒温下,所含分⼦微粒多,压⼒⾼,真空度越低105102GV(低真空)FV(中等真空)10-1HV(⾼真空)10-5UHV(超⾼真空)10-14应⽤于抓取技术的真空范围;真空技术基础知识50%507mbar80%202mbar 100%0 mbar 四真空度测量单位官⽅单位：帕斯卡（Pa）其他单位：bar、mbar、%等单位换算：1bar＝1000mbar100Pa=1hPa1hPa=1mbar1托(Torr)＝1毫⽶汞柱(mmHg)＝133.329帕(Pa) 1mbar=0.001bar1Pa =1N/m21物理⼤⽓压＝1标准⼤⽓压(atm)普适定理海平⾯的⼤⽓压⼒约为1，013mbar海拔⾼度达到2，000m时，⼤⽓压⼒降低为763mbar，⼤约每100m降低1%到达海拔5，500m时，压⼒仅为海平⾯的50%；在珠穆朗玛峰（海拔8，848m），⼤⽓压仅为330mbar当海拔达到16，000m时，⼤⽓压⼒约为90mbar，⽽在30，000与50，000的海拔⾼度，⼤⽓压⼒分真空发⽣器产⽣真空原理⽂丘⾥原理进⽓⼝/⽂丘⾥喷嘴真空/吸盘连接⼝排⽓⼝/接收器喷嘴真空技术常⽤图⽰符号1⼯程⼤⽓压＝1千克⼒/厘⽶2(kgf/cm2)1MPa＝1x106Pa 1mbar＝1000µbar＝1000dyn/cm2( 达因/厘⽶2)-811 mbarPU R 321123-1,013mbar1、真空发⽣器2、真空压⼒表3、过滤器4、单向阀5、储⽓罐7、节流阀8、消声器基本真空回路图真空安全阀（ISV)⼀、应⽤范围⽤于多个吸盘并⾏安装的情况，如果⼀个或⼏个吸盘没有与物体完全接触，则整个真空不会消失⼆、功能图1、真空发⽣器2、分配器3、真空安全阀4、吸盘1121223三、⼯作原理4这种状态⽆法实现.因此通常当某⼀空间内的空⽓压⼒低于其外部⼤⽓压⼒或是空间内空⽓分⼦颗粒这⼀真空范围内1 bar为最⼤值,代表⼤⽓压⼒.压⼒）北视为0值参考点。
真空系统知识
目录一、真空名词术语二、真空单位换算三、真空计算公式四、选用真空泵时，需要注意下列事项五、真空的概述六、真空常识介绍七、罗茨泵－水环泵真空机组工作原理八、罗茨真空泵工作原理一、真空名词术语1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5³10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕²升/秒（Pa²L/s）或托²升/秒（Torr²L/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即S p＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
真空知识
§第1部分真空的初步知识1.1基本概念1．真空是指在给定空间内低于一个大气压力的气体状态，也就是该空间的气体分子密度低于该地区大气压的气体分子密度。
2．测量单位：帕斯卡（Pa）1Pa就是1m2面积上作用1N的压力。
1大气压=1.03×105Pa3．真空度：表示真空状态下气体的稀薄程度。
通常用压力表示单位（Pa）4．压升率：单位时间内，真空度降低的速率。
单位：Pa/h5．常用泵阀的符号表示①旋片泵：单级多级②罗茨泵：③扩散泵：④挡板阀⑤阀门（不指明类型）6．真空泵的抽气速率（简称抽速）（单位：L/S）当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。
7．极限真空度：（单位：Pa）在规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向平稳的最低压强。
8．真空泵的型号及规格表示法旋片泵表示名称：X，双级旋片泵表示名称：2X，罗茨泵表示名称：ZJ，P表示它的排气口位置是旁开。
（厂家的一种表示，不带有普遍性。
）以下两种泵后面有的数字是它的抽速。
2X-70，ZJ-600扩散泵的表示名称：K，T表示凸腔泵，其后面的数字表示为它的进气口的几何尺寸。
KT-600，KT-4001.2 设备的介绍1.2.1 30kg、100kg、120kg三种设备的介绍以100kg为例重点介绍：整套设备由控制系统（电控系统）、炉壳、加热系统、真空系统、水冷系统、充放气系统、气动系统、风冷换热系统、进出料系统等九个系统组成，以下分别介绍：1．控制系统：由电控柜、各种测量仪表、热电偶、加热电源组成。
2．炉壳是由炉体、炉门、炉腿、锁紧装置等几部分组成。
炉体：是由筒体及各个法兰接管组成，炉体是双层水冷夹套结构，中间是冷却循环水。
炉体上带有电极接口、真空系统接口、热偶座接口、风冷换热接口、热偶接口、充放气接口、水冷接口等组成。
炉门上带有观察窗，可以观察工作情况。
3．加热系统（加热室）：是由加热器（炉丝）、绝缘件、炉床、保温屏、紧固件及保温毡和加热室外框组成。
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§第1部分真空的初步知识1.1基本概念1．真空是指在给定空间内低于一个大气压力的气体状态，也就是该空间的气体分子密度低于该地区大气压的气体分子密度。
2．测量单位：帕斯卡（Pa）1Pa就是1m2面积上作用1N的压力。
1大气压=1.03×105Pa3．真空度：表示真空状态下气体的稀薄程度。
通常用压力表示单位（Pa）4．压升率：单位时间内，真空度降低的速率。
单位：Pa/h5．常用泵阀的符号表示①旋片泵：单级多级②罗茨泵：③扩散泵：④挡板阀⑤阀门（不指明类型）6．真空泵的抽气速率（简称抽速）（单位：L/S）当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。
7．极限真空度：（单位：Pa）在规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向平稳的最低压强。
8．真空泵的型号及规格表示法旋片泵表示名称：X，双级旋片泵表示名称：2X，罗茨泵表示名称：ZJ，P表示它的排气口位置是旁开。
（厂家的一种表示，不带有普遍性。
）以下两种泵后面有的数字是它的抽速。
2X-70，ZJ-600扩散泵的表示名称：K，T表示凸腔泵，其后面的数字表示为它的进气口的几何尺寸。
KT-600，KT-4001.2 设备的介绍1.2.1 30kg、100kg、120kg三种设备的介绍以100kg为例重点介绍：整套设备由控制系统（电控系统）、炉壳、加热系统、真空系统、水冷系统、充放气系统、气动系统、风冷换热系统、进出料系统等九个系统组成，以下分别介绍：1．控制系统：由电控柜、各种测量仪表、热电偶、加热电源组成。
2．炉壳是由炉体、炉门、炉腿、锁紧装置等几部分组成。
炉体：是由筒体及各个法兰接管组成，炉体是双层水冷夹套结构，中间是冷却循环水。
炉体上带有电极接口、真空系统接口、热偶座接口、风冷换热接口、热偶接口、充放气接口、水冷接口等组成。
炉门上带有观察窗，可以观察工作情况。
3．加热系统（加热室）：是由加热器（炉丝）、绝缘件、炉床、保温屏、紧固件及保温毡和加热室外框组成。
加热室又分主体及前后端屏，前端屏连接在炉门上，装取料更为简单、方便。
4．水冷系统：是由进水管组件、不锈钢球阀、水管及回水箱组成。
5．充放气系统是由手动隔膜阀、电磁阀、管路、气压表等组成。
见图1:6．气动系统是由二位五通阀、气路、调节阀、气动三连件等组成。
7．风冷换热系统：是由电机、叶轮、换热器、外壳、电极引出组成。
整个系统全部设计成静密封结构，避免了动密封易损坏的缺点。
8．进出料系统由料车和轨道组成。
9．真空系统：120kg真空系统是由KT-600扩散泵+ZJP-600罗茨泵+2X-70旋片泵（2台）及管路、阀门组成。
见图21.2.2 三种常见泵介绍（1）2X-70旋片泵旋片泵（图3）1—泵体；2—转子；3—旋片；4—端盖；5—弹簧①工作原理：2-X70旋片泵是一种油封式机械真空泵。
其工作压强范围为大气到6.7×10-2（Pa）属于低真空泵。
旋片泵分单级和双级两种。
所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。
以获得较高的真空度。
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等零件组成。
在旋片泵的泵腔内偏心地安一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。
旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，见图3。
当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的（压力降低），正处于吸气过程。
而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的（压力升高），正处于排气过程。
居中的空间B的容积也是逐渐减小的（压力升高），正处于压缩过程。
由于空间A的容积逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。
当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。
当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。
如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，就组成了双级泵，见图4。
双级泵（图4）I—高真空泵；II—低真空泵；1—中间辅助排气阀；2—通道；3—低真空级排气阀②旋片泵的主要参数及其影响的原理极限真空：泵装有标准试验罩，并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。
泵油对机械泵的极限真空也是有一定影响的。
见图5DE：理想泵油，油量与极限压强（真空度）之间关系FG：实际使用的吸收大量空气和水分的泵油，油量越多，放气量越大，极限压强越高P0：油的饱和蒸气压（在给定温度下，某种物质的蒸气与其凝聚相处于平衡状态下的该种物质的蒸气压力）P B：极限压强最低值（极限压强越低，则极限真空度越高）为了获得良好的极限真空度，旋片泵应适当地选择油面高度，泵油温度不同，极限真空也不同，油温越高，则极限真空越低。
气镇法：大气中含有一定量的水蒸气。
水蒸气是可凝性气体。
泵工作时所抽除的气体多是某些可凝性气体和永久性气体的混合物。
如果可凝性气体的分压强超过了泵温时的饱和蒸气压，那么这种可凝性气体（简称蒸汽）就会凝结与油混合，随油一起循环。
当它返到高真空端时又重新蒸发变成蒸气。
泵不断地运转，这种凝结物不断地增加，结果使泵的极限真空下降，破坏了泵的抽气性能。
采用气镇法就是为了解决这一问题。
打开气镇阀，将一股经过控制（气镇阀开的大小）的气流经气镇孔进入泵的压缩腔中，让这股气流在压缩过程中与被抽蒸气相混，形成蒸气和空气的混合物。
把这种混合物压缩到排气压强时，使蒸气分压强能保持在泵温状态的饱和蒸气压以下，因而蒸气不会凝结。
达到蒸气与其它气体一起排至泵外的目的。
泵在掺气过程中，其极限真空度比不掺气时下降1～2数量级。
抽速也随之下降。
③2X-70泵常见问题及处理、维护真空泵使用一定时间后，由于被抽除的气体不纯洁，而玷污了真空泵，影响了泵的真空度，此时须更换真空泵油。
须经常保持真空泵周围环境清洁，泵本身及管道，并注意油温升、冷却水流量、油量、真空指标（在运转一定时间后真空度允许下降，但不应超过半个数量级）及噪声是否正常，三角带的松紧程度，及电机运转正常与否。
抽气速率与进口压强曲线（图6）（2）ZJP-600罗茨泵罗茨泵是一种旋转式变容真空泵。
其极限真空度可达5×10-2 Pa，又称机械增加泵。
其工作原理是通过二个“8”字形的转子旋转，通过容积的改变来实现抽气和排气。
其工作原理与罗茨鼓风机相似。
维修保养：①应经常保持泵房环境清洁干燥。
②应经常注意各部分润滑油的状况，如发现不足时，应及时补充。
如发现不清洁时，应及时更换，并注意螺塞重新旋进去时应保证密封。
泵工作压差应控制在旁通阀允许的压差范围内，否则易烧坏电机。
③在拆修时各部件不能用重锤敲打。
④拆下的零件避免碰伤、擦毛。
特别要注意密封面的平整光洁，否则会引起再装配后漏气现象，泵不能恢复原有性能。
⑤拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能装配。
⑥装配时要注意转子两端与左右侧盖的间隙，转子与转子，转子与泵体的间隙按规定要求调整。
⑦泵体左右侧盖之间之结合面均采用107树脂（即室温硫化硅橡胶）密封。
⑧装配前必须注意螺旋套方向，主动轴上靠近电机一侧为左旋，齿轮箱一侧为右旋，从动轴上则相反。
（3）油扩散泵油扩散泵（见图7）是一种蒸气射流泵，其工作原理是把工作介质（扩散泵油）的动能在抽气方向上传给被抽气体来作为基础的。
扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。
其工作极限真空度在10-2～10-5 Pa范围内。
应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2～10-4 Pa范围内。
性能曲线见，见图8油扩散泵（图7）影响扩散泵性能的因素：①扩散泵油蒸气的返流。
a. 泵壁表面油膜和油滴的蒸发。
b. 喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射。
c. 一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发。
d. 喷口边缘高速油蒸气流的散射。
e. 室温下油沿泵壁向表面迁移。
②气体分子的反扩散。
③扩散泵油的裂化分解（油氧化没抽速）。
④清洗不干净的真空泵，污染物留在泵内并重复循环。
针对以上原因，在使用油扩散泵过程中，增加了一些装置来防止上述现象的出现，真空系统上所加的冷阱就是为了防止扩散泵油蒸气的返流。
加罗茨泵和双机械泵是为了减少扩散泵出气口的压力（≤40Pa）。
尽量减少气体分子的反扩散。
采用合格的扩散泵油是为了防止扩散泵油的裂化分解。
油扩散泵性能曲线（图8）扩散泵的维护与保养及常见问题的处理：①扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
②扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
③被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
④扩散泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。
并将冷却水套内的剩水吹净。
保存场地的室温应在10℃～40℃之间。
⑤扩散泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。
⑥扩散泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。
a. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。
b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。
c. 处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
1.3、操作规范1．参数设定：（1）充气压力（一般-0.02到-0.01 Mpa之间）（一次设定后，一般不再改变。
）（2）冷却压力（一般在-0.02 Mpa）（一次设定后，一般不再改变。
）在电接点压力表上设定，一般是充气压力下限。
（3）气动压力（一般0.4 Mpa）（一次设定后，一般不再改变。
）在气动三连件表上设定。
（4）加热温度上限（一次设定后，一般不再改变。
）在控温微机或记录仪上设定。
2．准备工作：（1）开机前应接通冷却水，压力调至0.15 Mpa（0.08～0.2 Mpa），把各个水阀流量调到合适位置（一般是全部打开）。
看到各个回水管都有回水，方可进行下步操作。
（2）接通气源，压力调至0.4～0.5 Mpa范围内。
（3）检查、调整，使设备各部分完好，把控制柜上各个按钮开关都按至“关”的位置。
（4）合上电源开关，如有报警及故障显示应停电检查，消除故障，方能重新合上电控柜电源开关。
（5）打开充放气系统电磁阀前用来作保护作用的隔膜阀。
3．装料：把炉门（在平时，真空炉是抽上真空放置的，炉温低于100℃）锁紧手轮打开，打开放气阀门，对炉内充大气，待内外压力平衡后，打开炉门，将放有工件的料架用料车推至炉内，放在炉床上，撤回料车，然后关上炉门和放气阀，把锁紧手轮旋紧，准备抽空。