电子厂净化空调设计实例

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对深圳某电子厂净化间空调系统设计的认识

净化间长年24小时处于稳定的运行状态，净化间洁净度的保持是HGA品质的重要保证。从而要求对净化间洁净进行必要的监控。在实际运行过程中，每星期两次采用粒子计数器（Par
ticleCounter）净化间随机选取的点进行洁净度检测，100 级4个点，10000级50个点，然后将所测粒子数与净化间标准值进行比较，以便及时了解净化间的运行状况
目前空调的健康技术约有九种：离子集尘技术、负离子发生技术、双向保温换新风技术、健康除湿技术、多元光触媒技术、环绕立体自然风技术，三重防御技术、抗菌技术和静音技术。目前
不少空调企业己在或正在这方面积极研究和努力开发。二、追求最大舒适度的享受型空调将成为“卖占”据有关技术资料显示，最佳舒适度应是由温度、相对湿度和风速等几方面获得，而其
制冷技术对深圳某电子厂净化间空调系统设计的认识潘葆炯阎彩萍（深圳海量存储设备有限公司深圳518057）（上海美和空气净化工程有限公司上海200051）卢希红（上海同济
建设监理咨询有限公司上海200092）统形式。通过对净化间洁净度的监控及系统运行状况的检测，认为该设计满足了对净化间不间断生产的要求。1.概）兄深圳某电子厂位于深圳市
ouse.Allrightsreserved，制冷技术进入高效送风口，经高效过滤后送入净化间。c洁净度的监控随着计算机产业的飞速
发展，硬盘驱动器（HardDiskDrive期迅速缩短，而磁阻磁头（HGA）是生产计算机硬盘的关键部件，随着计算机更新速度的加快，其需求量日益大，这就要求生产HGA的
，中国对空调节能技术亦十分重视，我国空调业在高效压缩机、高效换热器等方面掌握着世界前沿的技术。中国节能认证中心经检测试验去年及今年己向国内16家空调企业颁发了节能认证

江苏某电子厂房净化空调设计

江苏某电子厂房净化空调设计摘要简介了江苏某电子厂房净化空调设计关键词：电子厂房净化空调过渡季工况1.工程概况项目位于江苏省宜兴市工业产业园，项目建设建筑封装管壳研制楼.占地面积约2435.70m 2，建筑面积约7547.78m 2。

2.建筑平面布置封装管壳研制楼主要生产双列集成电路陶瓷外壳、无引线陶瓷外壳、表面贴装陶瓷外壳及陶瓷片、臭氧发生片、陶瓷加热片等产品。

本项目生产工艺要求生产车间为洁净室。

系统设计二层生产区域，面积1444m2，洁净等级为ISO7；三层生产区域，面积1444m2，洁净等级为ISO8。

各房间净化及温湿度要求见表1表13.系统计算和划分3.1工艺设备负荷计算本工程工艺设备有电动和电热设备电热设备的散热量QS (W)可按下式计算：QS= n1n2n3n4N式3-1n1--------同时使用系数，即同时使用的安装功率与总安装功率之比，一般为0.5~1.0；n2--------安装系数，即最大实耗功率与安装功率之比，一般为0.7~0.9；n3--------负荷系数，即小时实耗功率与最大实耗功率之比，一般为0.4~0.5；n4--------通风保温系数，见表；N--------电热设备总安装功率，W。

表2电动机和工艺设备均在空调区的散热量此时电热设备的散热量QS (W)可按下式计算：QS= n1n2n3N/η式中N--------电动设备总安装功率，W;η--------电动机的效率;n1，n2，n3--------同式3-1表3（只举例二层工艺设备符合）3.2空调冷负荷计算室内冷负荷为围护结构冷负荷、人员冷负荷、设备冷负荷、照明冷负荷之和。

本工程各房间冷负荷见下表：表43.3系统送风量计算表5小结：二层万级洁净区划分为两个空调系统。

系统一选用一台组合式空调箱AHU-1，风量为70460 m3/h。

系统二选用一台组合式空调箱AHU-2，风量为47510 m3/h。

三层十万级洁净区划分为两个空调系统。

电子洁净厂房空调系统设计

电子洁净厂房空调系统设计摘要：通过介绍某电子洁净厂房净化空调系统设计，阐述了电子洁净厂房空调设计的主要系统，介绍了洁净室新风空调箱的控制原理，并总结出实际工程设计中应注意的问题，并提出此类设计对日后施工、运行和管理的要求。

关键词：电子洁净厂房净化空调新风空调机组干盘管1.工程概况本电子洁净厂房净化空调系统设计为某光工厂研发生产项目，工程建设地点位于湖北省武汉市，丙类，77905.86m2，层数：-1/3，建筑高度29.75m，地面建筑共分三层：地下一层为水泵提升站，一层为辅助动力区、下夹层区，二层为洁净生产区、MOCVD区、辅助动力区+辅助办公区，三层为洁净钢屋架层、洁净预留区。

本文主要介绍二层洁净生产区的净化车间的空调系统设计。

具体平面布置图详见以下附图1：图1 二层洁净生产区平面布置图2.工程设计参数按工艺生产要求及工艺专业提供的设计条件，并按照GB50073-2013《洁净厂房设计规范》及GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》的要求，净化车间室内设计参数如下表1：表1 通风设备设计参数表3.净化空调系统设计3.1 冷热源系统本项目生产区净化空调冷源采用6℃/12℃低温冷冻水及13℃/19℃中温冷冻水，由动力站房供给；热源采用38℃/28℃中温热水及80℃/60℃高温热水，接自动力站房。

3.2 洁净室空气循环系统电子洁净厂房中，工艺设备散热量大，造成空调冷负荷较大，并且按照设计规范要求，洁净等级较高的区域或房间换气次数高达50~60 次[1]。

为满足负荷和换气次数的要求，必须保证足够的送风量，而送风量的加大又使净化空调机组、风机及风管的尺寸的偏大，加之吊顶上空间的限制，给设计和施工带来了很多困难。

“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DCC）” [2]的空调形式是电子净化厂房空调设计中经常采用的一种空调系统。

在该系统中，MAU 处理新风负荷：夏季冷却新风并除湿，冬季加热新风并加湿；DCC 处理室内负荷，一般为全年供冷；FFU 用来循环空气从而达到洁净度要求的换气量。

电子洁净厂房的空调系统设计

供了新的思路。
２．２．２空调形式
１）１００级净化间采用ＦＦＵ送风单元送风垂直层流，穿孔高架地板回风。ＦＦＵ送风单元额定风量为８４８．５ｍＶｈ，超高效过滤器效率为９９．９９９％（＼０．１ “ｍ），满布率为９０％，净化间的总送风量为３７２００ｍ３／ｈ，折合换气次数为３７００Ｕｄ＂时，
布高效送风口１６１个，每只风口额定风量为１４００ｍＶｈ，净化间换气次数为３０次／
小时，总送风量为２２５４００ｍ３／ｈ，回风ｔ￣４ｏ５－，共设空调机组ｌ５台。
２．２．３空气处理过程
２系统设计
２）循环风处理
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２６．７
３．Ｏ２３士２５Ｏ ±ｌ０
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净化问内人员的操作是产尘的主要原因，除一部分尘粒由真空吸尘系统
２１室内主要功能区域的分布及设计参数功能区域分布如图１所示，室内主要设计参数见表１。
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竣
１）新风的处理
净化间新风由净化新风机组集中处理，夏季首先室外新风通过新风入口处的无纺布初效过滤器滤除大颗粒尘粒，经纯净水喷淋室除尘，由离心式通

某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介

某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介摘要：介绍某电子洁净厂房净化空调系统的设计，阐述了净化空调系统的形式及净化空调系统的控制原理。

关键词：电子洁净厂房净化空调设计自动控制1.概况本项目电子洁净厂房主要生产工艺为半导体产品的封装后测试。

生产厂房为地上三层（局部设夹层）为丙类二项多层厂房，建筑面积约43643.44平米，建筑高度约23.09米。

生产工艺段为一层上芯、压焊、塑封，二层晶圆库、切筋打印、锡化，三层测试及各生产辅助用房等组成。

随着半导体产业的发展，相关产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高，半导体生产厂房的洁净度和洁净系统的运行状态对产品品质及通过率有着至关重要的影响。

因此洁净厂房空调系统的设计就显得尤为关键。

1.室内外设计计算参数2.1室外计算参数夏季：空调干球温度：30.8℃；湿球温度：21.8℃；通风干球温度：26.9℃；冬季：空调干球温度：-5.7℃；相对湿度：62%；通风干球温度：-2.0℃；2.2室内设计参数主要房间室内设计参数：上芯/晶圆库/减划/压焊：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度1K；正压值20Pa；塑封/锡化/测试：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度10K；正压值15Pa；1.净化空调系统设计3.1冷热源系统本项目空调系统低温冷媒为7~12°C冷水，中温冷媒为13~18°C冷水，热媒为45~40°C热水。

热、冷水、中温水系统供水压力为0.7MPa，空调加湿采用0.2MPa蒸汽。

冷水、热水、中温水均接自厂区原有动力站房管网。

3.2净化空调系统电子洁净厂房最大的特点是热湿比大（热负荷极大、而散湿量小）、回风量大、大面积的净化区域。

要达到净化要求房间的换气次数则高达50~60次/h，为满足负荷和换气次数要求必须保证足够的送风量。

设计采用“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DC）”的空调形式，这也是电子净化厂房中常用的一种空调系统。

100级大面积电子厂房净化空调设计【最新版】

100级大面积电子厂房净化空调设计1 概况本工程位于苏州某工业园内,厂房共有二层,每层建筑面积约36500m2。

洁净厂房分阶段完成,共分4期完成。

本次工程为第二期,100级洁净厂房约为2680m2,千级面积约为580m2,普通区域(testarea)面积为5000m2(厂房平面图略)。

2 设计主要参数设计主要参数见表1。

3 洁净空调系统设计3.1 洁净冷负荷计算夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。

经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。

普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。

3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU+DCU+FFU 的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。

其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高效过滤处理。

新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高效段。

其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。

该工程新风量取35000m3/h;DCU为干表冷盘管(Drycoilunit),在每一个洁净房内的回风夹墙中,都设置了干冷盘管。

干冷盘管的主要作用是对洁净房进行等湿降温,所以,通过干盘管的冷冻水的温度稍大于洁净房的露点温度,保证洁净房空气通过干冷盘管时不结露;FFU为带风机的高效过滤器(Fanfilterunit),FFU将洁净房内的通过干冷盘管冷却的回风,再与新风机组处理的新风混合后,通过FFU中的高效过滤器送到洁净房中。

该洁净房地面采用1m高的导电高架地板,实现顶送底回的送风形式,进一步保证气流的垂直度的层流送风形式。

某电子洁净厂房暖通空调设计

某电子洁净厂房暖通空调设计发布时间：2022-09-07T08:58:19.125Z 来源：《建筑实践》2022年9期作者：刘晓晨[导读] 本工程位于浙江省嘉兴市，为一栋半导体的抛光打磨生产厂房。

刘晓晨关键词洁净厂房；净化空调系统一、工程概况本工程位于浙江省嘉兴市，为一栋半导体的抛光打磨生产厂房。

建筑东西长138.6 m，南北宽131.4 m，总建筑面积61410.96m2，地上4层，一层层高为5.4m,二层层高为4.8m，三层层高为7.9，四层层高为5.7。

抛光打磨生产厂房火灾危险性分类为丙类，建筑耐火等级为二级。

抛光打磨生产厂房三层为净化空调区域，其中设置了双面抛光间、酸碱腐蚀间、抛光工作间、研磨间工作间、切割间更衣室、研磨间更衣室、双面研磨/边角研磨间、最终清洗间、最终检测间、包装间、清洗后片盒检测和暂存间、气锁间等和相应动力配套设施；其它区域为舒适性空调区域；本文主要介绍净化区域的空调设计。

二、空调设计参数2.1.室外气象参数资料[1]位置：东经121.05° 北纬30.37°大气压力：冬季 1025.4Pa夏季 1005.3Pa夏季空气调节室外计算干球温度 33.5°C；夏季空气调节室外计算湿球温度 28.3°C；夏季通风室外计算温度 30.7°C；夏季通风室外计算相对湿度 74%；夏季室外平均风速： 3.6m/s；冬季空气调节室外计算温度 -2.6°C；冬季空气调节室外计算相对湿度 81%；冬季通风室外计算干球温度 3.9°C；冬季室外平均风速： 3.1m/s。

2.2 室内设计参数三、空调系统设计3.1空调系统本项目洁净厂房的空气处理系统中采用 MAU+FFU+DC 的方案。

根据工艺生产及规范的要求，洁净室设置的MAU为三套系统,新风机组MAU-02-401~403,为边角抛光间、双面抛光间、研磨间工作间等房间供应新风,规格为130000CMH;MAU-02-405,为最终检测间、包装等房间供应新风,规格为136000CMH;新风机组MAU-02-404,为备用机组,平时作为MAU-02-405的热备用机组,新风机组MAU-02-401~403机组出现故障时作为其备用机组。

电子工业洁净厂房净化空调系统设计

电子工业洁净厂房净化空调系统设计摘要：近年来，国内大力支持和发展半导体技术，而半导体产品生产所需要的洁净厂房在国内同步地得到发展，洁净厂房兴建的规模和室内的洁净等级越来越高，而一些生产制造设备在工艺制程中，不可避免地产生污浊的空气或者废气的排放，在排放废气的同时，为了维持洁净厂房的正压环境，则需要向厂房内不断输送新鲜的室外空气，用以弥补因废气排放导致的洁净厂房正压失衡。

关键词：电子工业；洁净厂房；净化空调；系统设计1溶液空调系统与传统空调的对比溶液空调与水冷式、风冷式传统空调相比，其优点尤为明显。

从系统构成来看，传统空调需要设置的设备较为复杂，如水冷式空调包括冷水机组、冷却水系统、冷冻水系统、蒸汽锅炉净化空调箱等；风冷式空调系统由风冷热泵、冷冻水系统、净化空调箱和排风机组成，这两种传统空调在运行管理中不够灵活，对分区控制的实现十分不利。

溶液空调机组自带热泵系统，在独立运行中可以实现冷却、除湿、加热、加湿等功能，对分区控制、独立启停等运行管理十分有利，并能达到很好的节能效果。

同时，传统空调除湿效果不佳，其原理主要为冷凝除湿，除湿后相对湿度达90%～95%，不能满足实验动物环境对空调系统所需送风相对湿度的要求，需要电或蒸汽加热对冷凝除湿，再热则会因冷热抵消使空调能耗加大。

溶液空调则是利用溶液特性，通过调节溶液浓度来控制相对湿度，符合实验动物环境要求，并能避免系统过度冷却后再热的能源消耗。

此外，传统空调系统如用在实验动物室采用全新风系统会增加交叉污染的风险，通常不设置全热回收装置，因此会产生巨大的新风能耗；溶液空调系统新风和排风不是直接接触，溶液具有杀菌功能，可设置全热回收能量，避免交叉污染，使新风处理能耗大大降低。

在最初投资和运行成本上，传统空调投资成本较低，运行成本较高；溶液空调在最初投资上会有较高成本，但由于其运行成本低，一般可在三年后收回成本。

2洁净厂房正压控制在厂房内，洁净环境与非洁净环境之间必须维持一定的正压值，相邻的不同级别的洁净厂房之间也需要维持一定的正压梯度，设计规范中明确规定，相邻的洁净区与非洁净区，以及级别不同的洁净厂房压差数值不小于5Pa，同样洁净区与室外环境的压差数值也不应小于10Pa。

电子工业洁净厂房净化空调系统设计

第２０卷第１１期２０２０年１１月R E F R I G E R A T I O N A N D A I R ＧC O N D I T I O N I N G ５９Ｇ６３收稿日期:２０２０Ｇ０５Ｇ２８,修回日期:２０２０Ｇ０７Ｇ０９作者简介:谭月普,硕士,主要从事电子工业洁净厂房设计.电子工业洁净厂房净化空调系统设计谭月普(世源科技工程有限公司上海分公司)摘㊀要㊀以某电子工业洁净厂房为例,介绍其净化空调系统设计参数㊁空调冷热源和加湿水源的选择,重点阐述净化空调系统形式㊁洁净循环风量取值及高效过滤单元㊁回风夹道㊁风机盘管机组㊁独立回风设计原则,叙述新风机组主要功能段㊁新风处理过程及净化空调系统控制等,指出同类厂房净化空调系统设计中应该注意的问题.关键词㊀电子工业洁净厂房;净化空调系统;过滤单元;空气处理过程D e s i g no f c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r e l e c t r o n i c i n d u s t r y cl e a n r o o m T a nY u e pu (S h a n g h a i B r a n c ho f S ．Y．T e c h n o l o g y ,E n g i n e e r i n g &Co n s t r u c t i o nC o ．,L t d ．)A B S T R A C T ㊀T a k i n g o n e e l e c t r o n i c i n d u s t r y c l e a n r o o ma s e x a m p l e ,t h ed e s i g n p a r a m e t e r s o f t h e c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e m ,a sw e l l a s t h e c o o l i n g s o u r c e&h e a t i n g s o u r c e a n dh u Ｇm i d i f i c a t i o nw a t e rs o u r c ea r e i n t r o d u c e d ．I t m a i n l y e l a b o r a t e st h ec l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r m ,t h e c l e a nc i r c u l a t i n g a i rv o l u m e ,a n d t h ed e s i g n p r i n c i p l e so fh i ghe f f i c i e n t f a n f i l t e r u n i t (F F U ),r e t u r na i r c h a s e ,f a nc o i l u n i t a n d t h e i n d e pe n d e n t r e t u r na i r ．T h e c o m p o s i t i o nof f r e s ha i r t r e a t m e n t u n i t a n d i t s t r e a t m e n t p r o c e s s ,a sw e l l a s t h e c o n t r o l o f c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i ng s y t e m a r ed e s c r i b e d ．F i n a l l y ,i ts u mm a r i z e ss o m e p r o b l e m sth a t s h o u l db e p ai d a t t e n t i o n t o i n t h e d e s i g n o f c l e a n a i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r t h e s a m e k i n d o f i n d u s t r y ro o m．K E Y W O R D S ㊀e l e c t r o n i ci n d u s t r y c l e a nr o o m ;c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s ys t e m ;f a nf i l t e r u n i t ;a i r h a n d l i n gpr o c e s s ㊀㊀位于陕西省西安市的某G ４．５代AMO L E D 电子洁净厂房,主要建筑物包括主厂房㊁动力站㊁特气站㊁废水站㊁化学品库㊁办公楼㊁门卫房等.其中,主厂房内根据工艺布局,分为阵列㊁蒸镀㊁模组及MA S K 清洗等生产工艺所在的核心区以及南㊁北侧辅房所在的支持区,总占地面积约３０２５１．２m ２,建筑面积约７６５０３．２m ２.核心区分为下夹层㊁生产工艺层㊁上静压箱层共计３层,下夹层层高６．３５m ,生产工艺层高度６．０m ,上静压箱层高度４．５m ,生产工艺层总面积约２２５００m ２.支持区分为２层,一层层高６．３５m ,二层层高１０．５m .暖通专业设计范围主要包括:主厂房核心区的净化空调系统及工艺废气处理系统,主厂房核心区㊁支持区㊁办公楼的防/排烟系统,支持区㊁办公楼空调/通风系统,特气站㊁化学品库的事故通风系统等.笔者仅就该工程的净化空调系统设计进行介绍和分析.１㊀设计参数室外设计参数根据G B ５００１９２０１５«工业建筑供暖通风与空气调节设计规范»[１]中陕西省西安市气象参数选取.另外,由于生产工艺对净化空调系统可靠性要求较高,冬㊁夏季干球温度取极端值作为设计条件.根据工艺条件及G B ５０４７２２００８«电子工业洁净厂房设计规范»[２]和G B ５００７３２０１３«洁净厂房设计规范»[３],洁净车间室内设计干球温度为２３ħʃ２ħ,相对湿度为５５％ʃ５％,洁净等级及控制粒径如表１所示.㊀６０㊀第２０卷㊀表１㊀洁净车间室内设计参数车间名称洁净等级及控制粒径O H S&S T O C K E R等自动化输送区２．５(１０个/英尺３,＠０．１μm)黄光区㊁E L A区４．５(１００个/英尺３,＠０．３μm)蚀刻㊁彩膜区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)模组区６．５(１００００个/英尺３,＠０．３μm) MA S K清洗区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)其余部分洁净区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)注:O H S:空中走行式穿梭车;S T O C K E R:卡匣储存搬送;E L A区:准分子激光退火区;MA S K:掩膜版.２㊀冷㊁热源配置及加湿水源冷源采用低温冷冻水和中温冷冻水[４]:低温冷冻水供/回水温度为７ħ/１４ħ,由动力站冷冻机房内的低温冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的二级表冷;中温冷冻水供/回水温度为１４ħ/２１ħ,由动力站冷冻机房内的中温冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的一级表冷以及洁净厂房内干式冷却盘管.热源采用低温热水,供/回水温度为４０ħ/３２ħ,由动力站冷冻机房内的中温热回收冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的一级加热㊁二级加热及淋水室温水加湿板换加热.洁净新风机组采用淋水室温水加湿[５],加湿水源为R O软水.净化空调系统冷㊁热量及加湿软水需求见表２.表２㊀冷㊁热量及软水用量参数用量中温冷冻水新风机组/k W３６３２风机盘管机组/k W５０７２低温冷冻水/k W１９６８低温热水/k W５５９６软水/(k g/h)３５７５低温冷冻水系统配置２台低温冷水机组(容量为６００冷吨/台);中温冷冻水系统配置１台中温冷水机组和３台中温热回收机组(容量为６００冷吨/台).中㊁低温冷冻水系统共用１台低温冷水机组(配置板式换热器)为备用.热水系统使用３台中温热回收机组的热回收水,再配置１台１５００k W 的热水锅炉作为热回收不足时的补充.３㊀净化空调系统设计３１㊀净化空调系统形式除M A S K清洗区之外的洁净区,均选用新风机组＋过滤单元＋风机盘管机组空调形式.其中:新风机组处理室外新风,夏季进行冷却除湿,冬季进行加热加湿,补充工艺各类排气及正压渗透所需要的新风,并满足生产区人员对新风的需求,维持洁净室内正压及湿度,承担新风全部热㊁湿负荷和室内湿负荷;过滤单元用于对洁净等级所需的循环风进行高效过滤并提供循环动力;风机盘管机组负责处理室内显热负荷,控制室内温度.新风机组设置在主厂房南侧支持区二层新风空调机房内,新风管送至核心区上方静压箱,过滤单元布置在吊顶上,下夹层设置风机盘管机组,工艺层与下夹层之间为华夫板/筒和开孔地板.室内气流经华夫筒到下夹层,然后由风机盘管机组降温处理后,经过回风夹道回到上静压箱层,与新风机组处理后的新风混合,再由过滤单元送至吊顶下方的洁净区.M A S K清洗区工艺生产所用化学品原料主要有异丙醇㊁丙酮㊁乙醇等,房间定性为甲类,面积约２２０m２,吊顶高度６m,房间体积为１３２０m３.室内空气不允许循环使用,采用直流式全新风空调系统,即新风机组＋高效过滤单元＋排风机.由于排风气流含有易燃易爆成分,转轮式和板式热回收机组均不适用,溶液循环式热回收机组实际效果也不理想,故参照同类电子工业厂房项目经验,均不对具有易燃易爆危险的M A S K清洁区排风进行热回收.新风机组处理室外新风,夏季进行冷却除湿,冬季进行加热加湿,补充工艺各类排气及正压渗透所需要的新风,并满足生产区人员对新风的需求,新风量取值不小于洁净等级对应的换气次数风量.新风机组设置在主厂房南侧支持区二层新风空调机房内,排风机设置在南侧支持区屋面.新风机组处理后的新风经高效过滤单元后送至吊顶下方的洁净区,排风机通过与下夹层相连的回风夹道排风.３２㊀洁净循环风量及过滤单元选型取洁净车间的洁净等级对应风量和消除室内余热所需风量两者之间的大者,作为洁净循环风量的设计值.洁净工艺区设计㊁计算选型后的过滤单元(规格１．２０mˑ１．２０m)总台数约４８５０台,各洁净分区过滤单元布置率及面风速见表３.２．５级洁净区过滤器选取欧标U１６(M P P Sȡ９９．９９９９５％),４．５级和５．５级洁净区过滤器选取欧标U１５(M P P Sȡ９９．９９９５％),６．５级洁净区过滤器选取欧标H１４(M P P Sȡ９９．９９５％),机外静压需求约１５０P a.表３㊀洁净室过滤单元布置率及面风速房间名称布置率/％面风速/(m/s) O H S&S T O C K E R等自动化输送区１０００．４５黄光区㊁E L A区５００．４０蚀刻㊁彩膜区２００．４０模组区１５０．３５除MA S K清洗区以外洁净区２００．４０㊀第１１期谭月普:电子工业洁净厂房净化空调系统设计６１㊀㊀㊀㊀MA S K 清洗区空调系统为直流式全新风空调系统,高效过滤器选用欧标U １５(MP P S ȡ９９．９９９５％).取工艺排风＋正压渗透所需新风量㊁生产区内人员所需新风量㊁洁净等级需求对应风量㊁消除室内余热所需风量(风量计算时,送风温度须高于洁净室内对应露点温度(１３．５ħ),该项目MA S K 清洗区取１５ħ送风)四者中的大者作为新风机组的设计风量.经计算比较,MA S K 清洗区的新风机组设计风量为７２６００m ３/h ,设计房间换气次数约５５次/时.３３㊀回风夹道㊁风机盘管机组㊁独立回风等设计回风夹道面积根据洁净循环风量计算,应尽量均匀布置.回风夹道风速过大会导致空气循环阻力增大㊁过滤单元功耗增加,回风夹道风速过小则回风夹道占用洁净工艺区面积越大,故回风夹道截面风速一般控制在２~４m /s.风机盘管机组承担了洁净区内显热负荷,需考虑回风夹道长度㊁进出风温差㊁进出风压降㊁空间高度㊁设备造价等因素.设计进出风温差一般ɤ３ħ,盘管截面风速控制在２~３m /s 内,本项目中风机盘管机组盘管总截面面积约１４００m ２.根据工艺资料,自动化输送区㊁黄光㊁蚀刻㊁离子注入㊁清洗等车间存在交叉污染风险.应将此类洁净区下夹层㊁工艺生产层㊁上静压箱层均与其他洁净区隔断,同时相应配置独立的回风夹道,以避免或减轻交叉污染.３４㊀新风机组主要功能段及其处理过程本项目配置７台新风机组,单台新风机组风量８００００m ３/h ,其中MA S K 清洗区新风机组为１用１备,其他洁净区新风机组为４用１备.新风机组功能段由进风段㊁板式初效过滤段㊁中效过滤段㊁一级加热段㊁一级表冷段㊁淋水加湿段㊁二级表冷段㊁二级加热段㊁送风机段㊁均流段㊁化学过滤段(预留)㊁中效过滤段㊁高效过滤段㊁出风段及中间段组成,如图１所示.空气处理焓Ｇ湿图见图２,其中,W 为室外状态点,D 为新风送风状态点,N 为室内状态点.夏季和冬季新风机组处理状态点及处理过程分别见表４和表５.表４和表５中风机温升按式(１)计算:Δt ＝０．０００８ˑHη１η２(１)式中:H 为风机的全压(P a );η１为风机的全压效率;η２为电机效率.计算得到该项目所用新风机组风机温升约２．５ħ图１㊀新风机组功能段示意图㊀６２㊀第２０卷㊀表４㊀夏季新风机组处理状态点及处理过程状态点干球温度/ħ相对湿度/％过程描述功能段冷热源或加湿水源W 室外空气状态点４１．８３４A 一级表冷处理点２０．０９５WңA 降温㊁除湿一级表冷段１４ħ/２１ħ低温水B 二级表冷处理点１４．３９５AңB降温㊁除湿二级表冷段７ħ/１４ħ低温水C 风机出风状态点１６．８８１B ңC 等焓温升D 送风状态点１８．０７５C ңD 等含湿量加热二级加热段４０ħ/３２ħ热水N室内状态点２３．０５５表５㊀冬季新风机组处理空气状态点及处理过程状态点干球温度/ħ含湿量/(g /k g 干空气)过程描述功能段冷热源或加湿水源W 室外空气状态点－１２．８０．８２４A 一级加热处理点３０．００．８２４WңA 等含湿量加热一级加热段４０ħ/３２ħ热水B 淋水加湿处理点１４．３９．７５０AңB增焓加湿温水加湿段R O 水C 风机后出风状态点１６．８９．７５０B ңC 等焓温升D 送风状态点１８．０９．７５０C ңD 等含湿量加热二级加热段４０ħ/３２ħ热水N室内状态点２３．０９．７５０图３㊀洁净区净化空调系统图３５㊀净化空调系统控制３５１㊀洁净区(除M A S K 清洗区)空调系统控制采集新风出风管内露点温度信号控制新风机组回水管上的电动两通阀,同时采集室内湿度信号整定露点温度的设定值,用以控制房间湿度[６].新风机组温㊁湿度控制主要包括以下４点:１)当室外新风露点温度t d p ȡ１３．５ħ(可调)时,关闭一级加热段的电动调节阀,开启并调节一级㊁二级表冷段的电动调节阀,使一级表冷段出风干球温度t d b ＝２０．０ħ,使二级表冷段出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定).２)当室外湿球温度t w b ＜１３．５ħ,露点温t d p＜１３．５ħ时(可调),关闭一级表冷段㊁二级表冷段电动调节阀,打开一级加热段㊁淋水室温水加湿板换电动调节阀,首先调节一级加热段电动调节阀,当开度达到９０％,相对湿度仍偏低时,再开启淋水室温水加湿板换热水管道上的电动调节阀.当室内相对湿度大于需求时,先减小淋水室温水加湿板换热水管道上电动阀的开度,直到其全部关闭,相对湿度仍然偏高时,再调小一级加热段电动调节阀的开度,使加湿后的出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定)).３)当室外湿球温度t w b ȡ１３．５ħ(可调),露点温度t d p ＜１３．５ħ时(可调),关闭一级加热段的电动调节阀,打开淋水泵及一级㊁二级表冷电动调节阀.先调节一级表冷电动调节阀,当全开仍然不能达到要求时,调节二级表冷电动调节阀,使二级表冷出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定).４t ＝１８．０ħ㊀第１１期谭月普:电子工业洁净厂房净化空调系统设计６３㊀㊀级加热段的电动调节阀,使送风温度t＝１８．０ħ(可根据运行情况,重新设定),避免结露.此功能为预留,运行时根据运行情况确定是否联动.洁净室内温度控制:以室内某一区域温度信号控制相应区域干式冷却盘管中温水管上的电动两通阀,以满足房间所需温度要求.洁净室内压力控制:以某一区域内压力信号控制相应新风支管上的电动调节阀,以新风总管的压力信号控制新风机组变频运行,以满足室内正压需求.３５２㊀MA S K清洗区净化空调系统控制MA S K清洗区净化空调系统控制与３．５．１节所述类似,但存在不同之处:１)新风机组为定频运行;２)室内设置相对湿度探测,以室内相对湿度信号连续设定新风机组出口的露点温度.３)以室内温度信号调节新风机组二次加热段的电动两通阀开度;４)净化空调为直流式全新风系统,设置３台排风机,２用１备,其中１台排风机兼作事故排风,排风机以室内正压平均值自动调节排风机的转速,确保室内正压需求.４㊀结束语电子工业洁净厂房因工艺复杂㊁厂房空间大㊁环境要求严格,其空调㊁通风系统设计较为复杂,在进行此类厂房的净化空调设计时,须关注以下４个方面:１)合理规划空调机房㊁废气处理设备布置,新风引入口应尽量远离废气排放区域,且位于厂区室外主导风向的上风向,避免废气排放与新风导入产生短路.２)与工艺密切配合,选择合理的净化空调方案㊁气流组织形式,满足生产工艺对室内温度㊁湿度㊁洁净度的需求.３)一次冷却盘管与二次冷却盘管承担的冷负荷比例,应综合考虑盘管的风阻㊁水阻及中低温冷水机组配比等因素.４)AMO L E D厂房工艺及各专业配套系统复杂,在管线平面㊁管井位置㊁侧墙开洞㊁外墙百叶㊁空间利用等方面,设计过程中各专业应及时沟通协调.参考文献[１]㊀工业建筑供暖通风与空气调节设计规范:G B５００１９２０１５[S]．[２]㊀电子工业洁净厂房设计规范:G B５０４７２２００８[S]．[３]㊀洁净厂房设计规范:G B５００７３２０１３[S]．[４]㊀焦俊明,龙孝东．中温水在净化空调系统中的应用及产生方法[J]．制冷与空调,２０１０,１０(２):９８Ｇ１０１．[５]㊀郑文亨,黄翔．喷水室净化处理空调新风[J]．制冷与空调,２００４,４(１):３３Ｇ３６．[６]㊀翟传明,章忠飞,王娟娟,等．电子工业洁净厂房洁净区试运行阶段检测要点分析与探讨[J]．制冷与空调,２０２０,２０(１):１７Ｇ２１．。

电子净化空调施工方案设计(3篇)

第1篇一、项目背景随着社会经济的快速发展，人们对空气质量的要求越来越高。

电子净化空调作为一种先进的空气净化设备，广泛应用于医院、学校、办公室、实验室等场所。

本方案旨在为某电子净化空调工程提供详细的施工方案设计，确保工程质量和进度。

二、工程概况1. 项目名称：某电子净化空调工程2. 工程地点：某市某区某街道3. 建筑面积：10000平方米4. 设计用途：办公楼5. 施工工期：90天三、施工方案设计1. 施工准备（1）组织机构成立项目经理部，负责整个工程的施工管理工作。

项目经理部下设施工、技术、质量、安全、材料、后勤等职能科室。

（2）人员配备根据工程规模和特点，配备足够的施工人员，包括施工队长、技术员、质量员、安全员、电工、焊工、安装工等。

（3）材料设备根据设计图纸，准备所需材料，如空调机组、管道、阀门、风机盘管、过滤器、电线电缆、保温材料等。

设备包括切割机、焊接机、吊装设备、搬运工具等。

2. 施工流程（1）现场勘查对施工现场进行勘查，了解工程特点、周边环境、施工条件等。

（2）施工图纸会审组织施工、技术、质量、安全等相关人员对施工图纸进行会审，明确施工要求、技术参数、质量标准等。

（3）施工方案编制根据施工图纸、现场勘查结果和工程特点，编制详细的施工方案，包括施工工艺、施工顺序、质量控制、安全措施等。

（4）材料设备采购根据施工方案，采购所需材料设备，确保质量、数量、规格符合要求。

（5）施工组织按照施工方案，组织施工人员进行施工，确保工程进度和质量。

3. 施工工艺（1）空调机组安装1）根据设计图纸，确定空调机组安装位置。

2）检查空调机组质量，确保符合要求。

3）安装空调机组，连接管道、阀门、风机盘管等。

4）进行系统调试，确保空调机组运行正常。

（2）管道安装1）根据设计图纸，确定管道走向、位置。

2）检查管道质量，确保符合要求。

3）进行管道安装，连接阀门、风机盘管等。

4）进行管道保温，确保管道保温效果。

（3）风机盘管安装1）根据设计图纸，确定风机盘管安装位置。

净化空调工程设计方案(3篇)

第1篇一、项目背景随着我国经济的快速发展，工业、医疗、科研等领域对空气净化设备的需求日益增长。

净化空调设备作为空气净化的重要手段，其设计质量直接影响到空气净化效果和使用效果。

本方案针对净化空调工程设计，提出了一套全面、科学、合理的方案，以满足不同领域的空气净化需求。

二、设计原则1. 安全可靠：保证净化空调设备在运行过程中，确保人身安全和设备稳定运行。

2. 高效节能：提高空气净化效果，降低能耗，降低运行成本。

3. 易于维护：便于操作和维护，延长设备使用寿命。

4. 经济合理：在保证质量的前提下，降低设备成本。

5. 环保节能：采用环保材料，降低对环境的影响。

三、设计方案1. 空气净化系统（1）高效过滤器：选用高效过滤器，如HEPA过滤器，保证净化效果。

过滤器应具备以下特点：1）高效过滤：对0.3μm以上颗粒物的过滤效率应达到99.97%以上；2）低阻力：降低系统阻力，提高风量；3）抗细菌、霉菌：具有良好的抗细菌、霉菌性能；4）耐用性：延长使用寿命。

（2）风机：选用高效、低噪音、低能耗的风机，保证风量、风压和噪音要求。

（3）风机箱：选用优质风机箱，确保风机运行稳定。

（4）净化空调机组：根据净化级别和风量要求，选用合适的净化空调机组。

2. 空调系统（1）新风系统：引入新鲜空气，保证室内空气质量。

新风量应满足室内人员需求，一般按每人30m³/h计算。

（2）排风系统：排除室内污浊空气，降低室内污染物浓度。

排风量应满足室内空气交换需求，一般按新风量的1.2倍计算。

（3）冷却系统：采用高效冷却设备，如冷冻水系统、风冷系统等，保证室内温度满足使用要求。

（4）加热系统：采用高效加热设备，如电加热器、燃气加热器等，保证室内温度满足使用要求。

3. 自动控制系统（1）温湿度控制：通过温湿度传感器，自动调节空调系统运行，保证室内温湿度稳定。

（2）空气净化效果控制：通过空气净化效果传感器，实时监测净化效果，自动调节净化系统运行。

工业洁净厂房分层空调净化系统设计

工业洁净厂房分层空调净化系统设计摘要：合理的空调系统设计关系到厂房的能源损耗，因此，结合建筑特点及使用功能，制定合理的空调净化系统的重要性。

本文根据工程案例，介绍了空调系统的冷源、水系统、净化空调系统、节能设计等方面，供同行借鉴参考。

关键词：洁净厂房；空调冷热源；换气次数；分层净化一、项目概况某电子测试试验厂房总建筑面积为67035m2 建筑的占地面积为 34207 m2。

由科研楼和生产厂房两大部分组成，1号为戊类多层工业建筑，2到4号为高层戊类工业建筑，分区示意见图 1。

测试区是净化厂房的核心区域之一，主要服务于洁净环境中的大型设备组装、测试。

鉴于该区域产品装配、竖向起吊和产品检测等工艺需求，采用钢筋混凝土双支柱，屋顶钢网架结构形式，屋架下弦高度为 23.6m，双支柱间距为 1.6 m，且两柱之间设斜拉杆作为柱间支撑。

墙壁及顶板采用 100mm 厚的金属夹芯净化壁板，地面为防静电自流平地面。

厂房平面示意见图 2。

二、洁净厂房特征（一）厂房空间特征产品在高大净化空调环境中进行工作所占有效空间相对较小，对于这类型的高大空间往往不需要全室净化。

（二）使用时间的特征根据工艺条件，本厂房在工作班次相对集中，常常表现出明显的周期性及不均衡性。

（三）净化负荷特征对洁净工程而言，净化负荷来自于上、下两部分，其负荷指的是悬浮于空气中的粒径不同的颗粒物，这些颗粒物分别来自以下几个方面：1.室外新风携带进来。

2.生产过程中工序周转时由产品及使用工具、仪器、设备带入的及生产过程中产品自身产生的。

3.操作人员在操作过程中散发出来的。

厂房内除吊车尘源来自于上部外，其他尘源主要产生于厂房的下部空间，其中尤以人体散发居多。

人体散发的灰尘往往集中在产品周围，假定集中于一个柱网间距空间内，则此空间含尘浓度会迅速增加，直接会影响到厂房的洁净度。

4.地面产尘量。

地面产尘量一般按1.4x104个/m2/min（0.5μm）计算。

三、空调冷、热源及空调水系统（一）空调冷、热源设置根据园区现有条件和工艺使用要求，本工程空调系统的冷媒由区域能源中心三联供和厂房内独立低温冷源共同保证。

毕业设计某晶体管厂净化空调系统设计

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致谢
本次研究及学位论文是在我的指导老师余跃进老师的亲切关怀和悉心指导下完成的。他严肃的科学态度，严谨的治学精神，精益求精的工作作风，深深地感染和激励着我，在此谨向余老师致以诚挚的谢意和崇高的敬意。我还要感谢在一起愉快的度过毕业论文小组的同学们，正是由于你们的帮助和支持，我才能克服一个一个的困难和疑惑，直至本文的顺利完成。最后我要感谢老板刘继涛和老板娘叶冬青给与我论文上和画图上的指导，谢谢你们！
特点是：（1）空气洁净度高，室内空气相互污染少，被工作活动区污染的空气很快排出，防止微粒扩散，地面不会积尘，微尘二次飞扬极少；（2）室内任何地方都达到所要求的洁净度等级，生产工艺设备布置方便；（3）自净能力强，可简化人员净化设施。
水平单向流
特点：（1）只在第一工作区达到100级洁净度，当空气流向另一侧的过程中含尘浓度逐渐升高时才用，所以仅适用于同一房间工艺过程有不同洁净度要求的洁净室；（2）送风墙局部高效过滤器较满布，水平单向流可减少高效过滤器用量，节约初投资，但局部区域有涡流。
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末端装置选型
高效静压箱
因为为百级工程，需要的送风量很大，顶棚满布高效送风口。高效静压箱规格统一使用 1210mm*610mm。
高效送风口
因为为百级工程，需要的送风量很大，顶棚满布高效送风口。高效送
风口规格统一使用 1210mm*610mm。
高效过滤器
因为为百级工程，需要的送风量很大，顶棚满布高效送风口。高效过滤器规格Байду номын сангаас一使用 1210mm*610mm。
最后，再次对关心、帮助我的老师和同学表示衷心地感谢！
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谢谢！
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电子厂房净化空调防排烟暖通设计图

1-10.51.1.1.51.59.14.百级净化区千级净化区万级净化区十万级净化区普通空调区满布高效过滤器}回风静压箱}送风管}循环加压风机}循环加压风机}消声静压箱}送风静压箱}环氧树脂自流坪}格栅地板}技\P术\P夹\P道}技\P术\P夹\P道}\H1.364x补水管冷冻供水管冷冻回水管冷却供水管冷却回水管止回阀截止阀压差旁通冷冻水旁通管1、室内地坪标高为±0.00米，水管标高皆指管顶标高。2、机房梁底标高为+5.50米。说明：LpLpMPBLgLhLdLr泻水阀水过滤器水泵温度计压力表F蝶阀水流开关橡胶减震接头自动排气阀球阀图例:冷冻水回水}\H1.067x冷冻水送水}\H1.067x截止阀}电动阀}M压力表}P意义}代号}温度计}球阀}过滤器}软接头}意义}代号}CWR DN80}PPCWR DN80}MPCWS DN80}CWR DN80}DN80}DN80}DN80}DN80}DN80}CWS DN80}废气处理塔流程图：洁净空气排放风车废气源洗涤塔自动加药机PH控制器去除效果95％，排放口<10ppm洗涤液H O循环溢流中和液H SO 或NaOH自动添加处理设备为逆流式，过滤面积依处理量而定，注：可去处废气中的有害气体。有偏流现象，再配合圆伞不阻喷嘴，呈120 喷淋，使气液混合率达到92％—96％，从而起到洁净效果，再加入中和液，故处理设备采用逆流式洗涤，气体经过分配板，将气体平均分布于球状拉西环，每只呈点接触，排列后呈ZW路线走，避免2-20 分别为76－72g/100gH O废气性质：呈酸性、碱性且为亲水性，对水之溶解度在12说明：泵浦储药桶循环液废水排放溢流口探测棒PH控制器自动加药机空气层填充层喷水层除雾层洗涤塔洁净空气排放检测孔检测平台风机废气处理塔流程图224\H1.364x\H1.092x高温排烟风机风管止回阀板式排烟口（600*450）1800*

某大型电子厂房的洁净空调设计施工图

i=2/10i=2/10i=2/10i=2.0/10i=2.0/10i=2.0/10i=2.0/10i=1.5/10i=1.5/10自来水纯水进料房氮气柜工作台}工作台}待料区网线、电话线、电源插座、照明氮气柜工作台}工作台}待料区网线、电话线、电源插座、照明IPQC工作台}电源插座、照明IPQC工作台}电源插座、照明IPQC工作台}电源插座、照明IPQC工作台}电源插座、照明SOT上带机270台单台:用电:1.3kw;用气:0.03立方米/分,真空度0.8包装收发、}电源插头150}收发控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站控制站、}排插、电话、}排插、电话工作台工作台工作台工作台每个工作台装电话、网线、排插FQC工作台}包装台}、}排插、电话包装台}、}排插、电话压缩空气管、真空管18台，}电源{\Fsimplex,gbcbig|c13418}台，需装抽风系统每台机装两条四芯测试线IPQC工作台}IPQC工作台}IPQC工作台}IPQC工作台}烤箱氮氢、缩、真管200}台，单台用电{\Fsimplex,gbcbig|c134焊线机392台每台1KW，共392KW}切割机18台单台胞1。5KW，共27KW}分光机分光机分光机分光机分光机真空系统房0.8}固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台摆料台摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台固晶机摆料台摆料台摆料台焊线机摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台摆料台焊线机焊线

净化空调设计方案(室内设计状态点相对湿度低,采用除湿转轮的案例)

洁净车间空调工程设计方案一、工程概况该无尘车间洁净空调面积约350m2，楼板净高为4.5m，吊顶高度为2.5m。

二、设计依据1.业主对洁净通风、空调设计的工艺要求2.《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB 50019-20153.《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001三. 设计标准1．室外设计参数1242．室内设计参数：四. 空调负荷计算洁净区：（F=250m2、H=2.6m）1、夏季室内余热余湿的计算：人员 15人×175W/人=2.625KW(其中潜热 15人×85W/人=1.275KW）照明 350m2×15W/m2=5.25KW围护结构传热 350m2×30W/m2=10.5KW设备发热量 5.5KW室内余热 Qx=2.625KW+5.25KW+10.5KW+5.5KW=25.15KW室内余湿 W人=15人×160g/h=2400g/h=2.4 Kg/hW=2.4Kg/h+2Kg/h(围护等)=4.4Kg/h =0.00122Kg/s2．系统送风量的确定：按最大送风温差(即露点送风)送风消除室内余热所需要的风量为：G=(3600*25.15)/1.2*(39.2-27.7)= 6560m3/h其中，室内状态参数为：t n=22℃、i n=39.2kj/kg、ψn=40%、d n=6.7g/kg取露点的状态参数为：T l=10.0℃、i l=27.7 kj/kg、ψn=90%、d l=7.0g/kg按净化要求的循环风量G=350m2×2.5m×20次/h =17500m3/h因此，取净化循环风量17500m3/h作为系统送风量。

3．系统新风量及其负荷的确定：按保持室内余压10帕，取正压换气次数取2次，需要的新风量为：350m2×2.5m×2次=1750 m3/h；车间内通风柜的最大排风量为2500m3/h；按每人需要的最小新风量为40m3/h，需要的新风量为：15人×40m3/h=600m3/h；由于满足人员卫生所需要的新风量小于保持室内正压和排风所需要的新风量，故取4250m3/h作为系统的新风量。