维萨拉公司测量大气压的BAROCAP传感器-Vaisala

大气压测量的常见应用
气压测量在气象学领域具有广泛的应用。 压力数据是估算大气中水汽含量不可或 缺的参数。常见的压力应用包括气象站、 数据浮标、GPS气象学、以及环境数据记 录。气 压 测 量 还 应 用于水文 和土壤 学 领 域。
在许多工业应用领域也需要使用气压测 量 数 据。诸 如 激 光 干 涉 仪、激 光 光 刻 系 统、航空应用以及废气分析等压力敏感 型 工 业 设备均 需 测 量 压 力数 据。在 校 准 实验室的压力标准测量和环境监测等计 量应用中也需要使用压力数据。
/ 技术概述
维萨拉公司测量大气压的BAROCAP®传感器
维萨拉BAROCAP®是1985年首次推出的硅基微机械压力传感器，在从气象到工业测量等多种领域得 到广泛应用，具有可靠的测量性能。BAROCAP传感器结合单晶硅材料和电容式测量两种先进技术于 一体，具有较低的迟滞性、卓越的测量精度和长期稳定性。
BAROCAP在带压系统测量中的 应用
在压缩空气系统和高压电气设备SF6绝缘 气体监测领域，维萨拉DRYCAP®,露点仪表 拥有可靠稳定测量的悠久历史。除露点测
量外，这两种应用还需要进行精确稳定的 压力测量。维萨拉 系列产品将 D R YC A P 和 BAROCAP技术集成于一体，独家实现了带 压系统压力测量和露点测量的结合。
▪ 滞后性小，可重复性高 ▪ 卓越的长期稳定性 ▪ 能够承受恶劣的工作条件
维萨拉提供各种专业级气压计，室内室外 环境均可使用。BAROCAP气压计工作温度 范围较广，在专业气象和航空领域等极端 苛刻环境下也能保持可靠的工作性能。请 在w w w.vaisala .co m /pressu re中查看维 萨拉气压计的全系列产品。
传感技术研发。在濒临项目截止日 期之时研发获得重大突破。两艘破 冰船和赫尔辛基电话公司成为首批 BAROCAP传感器用户。
BAROCAP传感器参与过数次火星探 测以及卡西尼-惠更斯号探测器针
对土星及其最大卫星泰坦的探测任 务，行程远及人类尚未涉足的地 点。作为2011年11月发射的美国宇 航局(NASA)火星科学实验室仪器组 成部分，BAROCAP传感器的星际探 索之旅永无止境。
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BAROCAP概要
▪ 25年以上的精确气压测量史 ▪ 采用硅基电容式传感器测量绝对
压力
▪ 大气压测量范围 500...1100 hPa ▪ 工业应用测量范围可达
50...1100 hPa
▪ 工艺过程压力测量范围 1...10 bar ▪ 可溯源至美国国家标准技术
研究所(NIST)压力测量
BAROCAP的独特优势
硅 上电极 真空 下电极 硅基
BABaidu NhomakorabeaOCAP传感器
基极
高压时
BAROCAP传感器横截面
真空 上电极 下电极
硅基
BAROCAP®历史溯源
BAROCAP的历史可追溯至20世纪70 年代末期，当时正在为新一代维萨 拉无线电探空仪RS80研究首个微 机械压力传感器。微机械研究具有 相当的挑战性，维萨拉与芬兰国内 及国际的大学和研究机构合作，进 行基于硅基工艺处理的新型压力
工作原理
BAROCAP是利用硅膜尺寸变化测量压力的 微 机 械传感 器。当环 境 压 力升高 或 降 低 时，薄膜弯曲，引起传感器内部真空间隙 距离的减少或增加。真空间隙的两个相对 平面起到电极的作用，当两侧电极间距发 生变化时，传感器电容就会发生变化。测 得的电容数据可转化为压力读数。
正是由于采用单晶硅材料之故，BAROCAP 传感器具有良好的弹性、较低的迟滞性、 优秀的可重复性、较低的温度依赖性以及 卓越的长期稳定性等诸多特性。电容式结 构赋予传感器宽广的动态测量范围和过 压保护的内在机制。
在测量压缩空气露点时，同时实时采集压 力数据具有独特优点：可实现将测得的压 力露点数据在线转换为常压露点或ppm单 位，消除露点数据的任何模糊性。由于被 测气体压力变动会引起露点变化，因此这 一特性非常有用。
低压时
硅膜
低压时
露点和压力测量在高压电气设备SF6气体 监测中将露点和压力结合在一起，为SF6 绝缘状态的评估提供了有力工具。能够立 即 探 测到 泄 漏 情况，并为 湿 度问题 提 供 早期预警。露点、压力和温度测量数据让 SF6气体密度、标准化压力、常压露点以及 p p m 等所有SF 6重 要监测参数的计算成为 可能。请在w w w.vaisala .co m /pressu re 中查看压力与露点一体化测量的全系列 维萨拉产品。