薄化工艺介绍及不良案例分析 (2)
薄化
V V
V V V
壓力與研磨力量原則上成正比 研磨粒子濃度需適中、粒子分散性需佳
粒徑越大，研磨速率越高，粗糙度越差 切線速度越快，切削力越強 定盤擺動來均衡轉速高與低的區域
定盤平行度
定盤平整度 Pad特性 V
V
V V
平行度影響施力均勻度
平整度不佳將造成凹陷區域研磨率低 Pad 材質與設計影響研磨液散佈 Pad 硬度影響拋光均勻性
21
刮、刺傷不良成因
(1) 玻璃表面刮刺傷放大 蝕刻前 蝕刻後
(2) 玻璃中的氣泡或金屬氧化物脫落
22
刮、刺傷不良放大效應
輕微刮傷： 蝕刻
0.7t0.25t
寬度：2.7um 嚴重刮傷：
深度：0.74um
寬度：137.8um 深度：12.5um
蝕刻
0.7t0.25t
寬度：5.0um
深度：1.3um
方法五：Dummy框膠取代 (未開發)
方法六：膠水塗佈式 (未開發)
9
封邊流程
入料
插卡匣 塗膠 擦膠 檢查
滲膠不足 滲膠足
UV固化
10
封邊材料選擇
成分：UV膠、熱固膠、熱塑膠、快乾膠(揮發不含有機污染成分) 抗酸能力：抵擋HF侵蝕 黏度：太低會造成滲入量無法控制，造成膠材污染面內，太高則會使膠無法滲 入Cell Gap中，故要適中 辨識度：具顏色易於辨識是否有斷膠與滲膠不足問題 固化方式：UV燈照射、自然揮發、加熱固化、冷卻固化皆可 固化時間：所需時間越短，產能越高
雙面蝕刻機流程
Chamber JIG bubble Roller
入料
玻璃上Jig
LD
蝕刻
清潔
薄壁零件的机械加工工艺分析
薄壁零件的机械加工工艺分析薄壁零件是指其壁厚比较薄，通常小于等于1mm的零件。
由于壁厚薄，导致材料之间的连接薄弱，易受力变形和振动产生，因此在加工过程中需要格外注意，以避免加工不合格或产生质量问题。
本文将对薄壁零件的机械加工工艺进行分析。
1. 材料选择对于薄壁零件的机械加工，材料的选择是至关重要的一步。
一般来说，薄壁零件要求材料具有高强度、良好的韧性和刚度，并且要耐腐蚀、抗疲劳和抗热变形。
常用的材料包括不锈钢、铜、铝、钛、镍基合金等。
在选择材料时，还应注意材料的厚度，以确保在加工和组装时能有足够的强度和稳定性。
2. 设计与加工工艺的匹配在进行薄壁零件的设计时，需要考虑到加工工艺的限制，以避免造成加工难度和工艺问题。
具体而言，需要注意以下几个方面：(1) 避免长而狭窄的几何形状长而狭窄的几何形状会导致加工难度大，容易发生弯曲和变形等问题。
因此，在设计时应避免采用这种几何形状。
(2) 设计圆角和缺口圆角和缺口可以减少应力集中，降低变形和裂纹的风险。
因此，在设计时应尽可能添加这些元素。
(3) 避免切向切削和钻孔切向切削和钻孔会产生较大的横向力和挤压力，导致变形和振动。
因此，在加工时应尽量避免使用这些方式。
3. 先试后加工在对薄壁零件进行机械加工前，应先进行试验或模拟，以确保加工过程中不会发生变形或其他质量问题。
试验的方式可以是材料试验、构件试验或但部分试验等，以检验零件强度和可靠性。
4. 选用适当的加工技术在薄壁零件加工中，应选用适当的加工技术，包括切削、钻孔、冲压、锻造、焊接等。
在进行切削加工时，需注意切削参数的选择和加工速度的控制，以避免刃口和切削力对零件造成影响。
对于钻孔，应选择适当的钻头和工艺，并控制出钻孔后的质量问题。
冲压与锻造时，需要考虑加工次数、力度和质量要求。
采用焊接时，需注意焊接布局和焊缝质量。
5. 保证设备精度和稳定性在进行薄壁零件加工时，需要保证设备的精度和稳定性。
设备精度应符合加工要求，并保证设备的稳定性和工作效率，以确保加工零件尺寸精度和表面质量。
薄壁套件加工工艺分析及应用实例-机械论文
薄壁套件加工工艺分析及应用实例机械论文论文导读:：薄壁套件在结构上与刚性套件的区别为“壁薄”，其加工时在各影响因素的作用下，主要技术难点为变形较大，加工精度难以保证。
本文主要分析引起变形的各影响因素，继而探析减小变形的有效工艺措施，并通过生产实例进行工艺验证，取得较好的实际良效，有效地保证了其加工精度要求。
论文关键词：薄壁套件，工艺分析，应用实例俗话说“车工最怕车细长轴、薄壁套”，此话不无道理。
套类零件是用来支承旋转轴及轴上零件或用来导向的，该类零件的主要表面是内孔和外圆，其主要技术要求是内孔及外圆的尺寸以及圆度要求；内外圆之间的同轴度要求；孔轴线与端面的垂直度要求。
薄壁套类零件壁厚很薄，径向刚性很差，在加工过程中受切削力、切削热及夹紧力等诸多因素的影响，极易变形，且变形程度严重，导致以上各项技术要求难以保证。
针对这些问题机械论文，结合本人多年的生产实践经验，本文对薄壁套类零件加工过程中装夹方法、切削用量、刀具几何角度等做了深刻的探讨，以供大家参考、共享。
一、薄壁套件的加工工艺分析1、工件装夹方法薄壁类零件在加工过程中如果采用普通装夹方法，会因为产生很大的变形而无法保证加工精度。
例如用三爪自定心卡盘夹持薄壁套筒镗孔：夹紧后套筒呈三棱形（图1a），虽然镗出的孔成正圆形（图1b），但松开后，套筒的弹性恢复使已镗成圆形的孔变成了三角棱圆形（图1c）。
（a）三爪自定心卡盘装夹（b）镗孔后（c）松开后（d）开口过渡环装夹图1套筒夹紧变形误差故薄壁类零件的装夹，一般应增大工件的支承面和夹压面积，或增加夹压点使之受力均匀，并减小夹压应力和接触应力，必要时可增设辅助支承，以增强工件的刚性。
具体措施如下：（1）采用工艺凸台装夹车削时在坯料上预留一定的夹持长度，在工件完成内孔、外圆及端面的加工后切掉。
这样不但防止了工件产生太大变形，而且保证了内孔、外圆及端面间的位置精度。
但这种方法在应用中局限性而且会造成材料的浪费。
焊丝前处理涂硼硼化工艺详解
焊丝前处理涂硼硼化工艺详解烟台电镀技术研究所研究的涂硼工艺，硼化膜连续有利于拉拔质量。
同时硼化槽稳定。
要保证材料表面要有一层均匀的硼砂。
看上去像一层通透的薄膜。
这样才算硼砂上的理想了。
烘干也是不可忽视的。
如果没有烘干或者烘干温度太高都会影响到拉拔.涂硼不会有毛丝出现。
焊丝前处理涂硼硼化工艺硼砂Na2B4O7·10H2O 浓度约为15±2%硼化稳定剂硼砂重量5%pH值应保持在9．2～9．5 PH调整剂：硼化稳定剂工作温度为80～95℃烘干温度为120～150℃，时间为5～15min硼砂处理(borax coating)在盘条(线坯)表面涂覆一层拉拔时作为润滑载体的硼砂，是拉丝前的准备工序之一.硼砂的涂覆在硼砂溶液中进行。
硼砂溶液一般用10水硼砂Na2B4O7·10H2O配制，浓度约为15±2%。
为了改善涂层的性能，保证它与基体结合牢固，提高拔后钢丝的的硼化防锈能力以及消除硬水带来的沉淀，可在溶液中加入约为硼砂重量5%稳定剂等添加剂。
硼砂溶液的pH值应保持在9．2～9．3之间。
工作温度为80～95℃，在实际生产中常控制在接近其沸点的温度即90～95℃之间。
溶液温度高有利于对盘条表面的残酸进行充分的中和、增加硼砂在水中的溶解度和均匀度以及提高涂层后盘条的表面温度而易于烘干。
处理时间主要取决于盘条达到溶液温度的时间。
PH调整剂：硼化稳定剂硼化稳定剂--烟台电镀技术研究所生产成卷处理时一般为3～10min，展开处理时若为细线坯且经过预热，则涂层时间只需要30s左右，因此可以用在连续生产线上。
盘条经硼砂处理后要烘干，并需严格控制温度和时间，以保证在硼砂溶液蒸发和烘干结束时能获得润滑性能好和腐蚀性小的5水硼砂涂层。
一般烘干温度为120～150℃，时间为10～15min。
也可在200～280℃之间进行快速烘干。
但烘干温度过高、时间过长、硼砂会大量失水，同时体积膨胀，形成粉末状涂层，于质量不利。
【2019年整理】常见的表面工艺处理及不良分析
20-Apr-09
常用表面处理工艺
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. 11. 12. 13. 14.
水镀 Normal Plating 真空电镀 PVD Physical Vapor Deposition 电泳 Electrophoresis 电铸 Electroform 抛光 Polishing 蚀刻 Etched 镭雕 Laser Carved 氧化 Oxidation 喷砂 Sand blast 批花 (一般对logo进行处理) Shiny Logo 拉丝 Drawbench CD纹 CD line 其他 Other R&D相关产品工艺 R&D Relative Product Process
预镀碱铜
镀焦铜
镀酸铜
镀白铜锡
过沥架
1. 水镀 Normal Plating
滚镀生产线
水镀生产线
除腊
除腊后上挂
除油
酸活化
镀焦铜
酸清洗
镀酸铜
镀白铜锡
1. 水镀 Normal Plating
水镀常见问题：
Hale Waihona Puke 麻点：胚料表面不平整或电镀液有杂质。 气泡：电镀层里有空气或聚集着电镀液，一 般以小面积形状出现。 电镀层附着力不足，脱落；（Eseries Dawn Strap metal piece plating layer peel off)。 电镀层与胚料之间或镀层彼此之间的附着力 不够，一般以较大面积出现 。 烧焦：在镀件尾部和边缘一带产生了粗糙或 其它不满意的镀层，颜色暗或灰白。 水渍：电镀后工件藏水，当水烘干后在工件 会出现一些花痕，不易擦去。
TFT_LCD面板玻璃减薄工艺流程与不良简介
玻璃本身含有杂质.
玻璃表面
1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净
工艺设备
1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）
17
Slimming后划伤
Human eye invisible Slimming前发生轻微Scratch
Slimming
13
减薄清洗单元（后）
DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡
a. DI水 b. 常温 C. 5min
a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min
a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min
a. DI水 b. 常温 C. 5min
清洗
14
研磨
Reject
外观检查
Item
Picture
适应产品 可修复不良
CAPA
Polishing
自动研磨
清洗
外观检查
手动研磨
无破损产品 不良率高发，严重不良 Q-panel抛光，效率高
所有产品 不良率较低的轻微不良 针对单点不良修复，效率低
15
减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污
2.薄化不匀
16
减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致
Slimming后Scratch程度加重
18
Slimming后划伤
1. Lift Pin 凹点
19
Slimming后划伤
2.Robot吸盘凹点
20
Slimming后划伤
3.轮印
21
造成B-ITO不良
1.水渍酸印 现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重 腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在 BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性
薄化工艺介绍及不良案例分析
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玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析
15共十六/页。
内容(nèiróng)总结
玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析。内 容。Loader单元
预清洗单元。蚀刻单元
清洗单元。干燥单元
薄化表面不匀产生原因： 1.Conveyer故障 处理故障必须先停止蚀刻液供应，必将造成玻璃(bō lí)表面药液残留，继续与玻璃(bō lí) 进行蚀刻速率不一致的反应。形成水波纹状表面不匀
2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式）
瀑布流平台由于蚀刻后反应物堆积造成分叉，玻璃传送至分叉位置时蚀刻速率降低造成局部不平整。
3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式）
Nozzle堵塞造成玻璃局部蚀刻液更新不及时，间接降低药液浓度，从而降低蚀刻速率，形成表 面不匀。
玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析
12共十六/页。
薄化表面不匀对显示(xiǎnshì)的影响
光线透过玻璃表面，在表面不匀处形成折射，造成光的垂直分量减弱(jiǎnruò)，与周围 正常相比产生亮度的差异。
0.0289
1.0491
0.0446
2.2803
0.0569
3.563
0.0673
4.8704
0.0996
10.1739
F0.0101 0.0108 0.0113 0.0115 0.0117 0.0119
HF 0.4166 0.6233
0.919 1.1488 1.3431 1.9412
说明反应速率与(HF)2的浓度有很大的相关性，是HF酸溶液中的最主要(zhǔyào)活性成分，因 为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。
减薄工艺流程及不良简介
24End25 NhomakorabeaSlimming（减薄）工 艺流程及不良简介
董余(Jason.D) 邮箱地址：fishqs@ 联系电话：188 9876 0045
Contents
1 2 3
减薄的作用 减薄工艺简介 常见的减薄不良
2
减薄的作用
1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性
3
减薄工艺简介
封胶
减薄
22
其它不良
1.电阻超标
原因： 酸残留
23
与减薄有关的性耐性
牢固度确认
对LCM进行冲击和跌落。 对LCM进行显示检查和外观检查
玻璃基板表面蚀刻状况确认
将其放入冷热交替的冷热槽中 对LCM进行显示检查和显微镜 Glass外观检查
TFT端子部腐蚀状况的确认
高温高湿的老化槽内进行的持续老化。 SEM对TFT端子部的表面和断面的观 察分析
Item
Picture
自动研磨
手动研磨
适应产品 可修复不良
无破损产品 不良率高发，严重不良
所有产品 不良率较低的轻微不良
CAPA
Q-panel抛光，效率高
针对单点不良修复，效率低
15
减薄工艺自身不良
1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀
16
减薄工艺自身不良
玻璃本身
玻璃本身含有杂质.
玻璃被蚀刻 时局部蚀刻不一 致
10
减薄工艺参数
1.反应时间与玻璃质量损失的关系
图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系
11
减薄工艺参数
2.反应速率与反应温度的关系
图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系
12
减薄工艺参数
面板薄化工艺流程
面板薄化工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!面板薄化工艺流程一、准备工作阶段。
在开始面板薄化工艺流程之前，要进行充分的准备。
一文解析薄壁加工难点
一、零件分析零件材料为NCu30-4-2-1蒙乃尔棒，是一种以金属镍为基体添加铜、硅、铁、锰等其他元素而成的合金，其中硅含量高达4%以上，使得此合金比普通蒙乃尔合金韧性好，强度更高，硬度更高，是一种难加工材料。
图1所示为冷屏零件模型，零件为典型的薄壁结构。
由于零件内孔最小处仅有φ6+0.10/+0.02mm，而外圆最大处达到φ20.70/-0.21mm，没有合适的管材，只能使用φ45mm蒙乃尔棒加工，加工余量大，内部完全掏空，材料去除率达99.7%以上。
整个零件平均壁厚0.25mm，最薄处壁厚仅为0.15mm，内部存在两个4mm 宽的深内环槽，与一个锥面，加工中极易产生变形。
图1 冷屏零件模型1、主要加工要素和技术要求零件的主要结构及尺寸如图2所示。
精度要求较高的要素为0.15+0.15/-0.05mm、0.25+0/-0.05mm、φ12.7+0.05/0mm、φ6+0.10/+0.02mm、R9+0/-0.09mm、φ20+0.10/+0.05mm和。
图2 零件主要尺寸2、主要技术难点（1）零件为超薄壁壳体结构，最薄壁厚仅0.15mm左右，刚性差，最后精加工时切削力稍大，零件就会弯曲变形甚至折断。
加工时易颤振和振刀，影响加工精度和表面质量。
（2）零件刚性极差，受力后易变形，因此加工过程如何有效控制内应力变形、装夹变形、切削力变形和切削热变形是保证零件精度的关键。
（3）零件上深的内环槽排屑困难，零件内孔最小处仅为φ6+0.10/+0.02mm，两个φ12.8mm的内腔较深，距离加工端面最远13.2mm，刀具悬伸较长，加工时容易产生振刀。
内腔较深，同时材料韧性好，产生的带状切屑断屑性能不好，缠成一团排屑困难，精加工内槽轮廓时，正常刀具或者普通磨制刀具使用常规方法无法加工。
（4）φ6+0.10/+0.02mm的通孔与φ12.7mm、深0.3mm孔位于切断面，在首道工序中无法完成，必须分工序加工，而此时零件已基本加工成形，壁厚仅有0.15mm，刚性差，不仅无合适装夹面，而且易装夹变形，因此，合适的装夹设计十分关键。
石材玻化护理工艺是什么？
石材玻化护理工艺是什么？
石材研习社
据悉，石材玻化工艺是一种新型石材结晶工艺，可以提高石材硬度，增加结晶层硬度，具有玻璃质感，并且可以用水洗的石材保养解决方案。
石材玻化工艺施工流程
1.全玻化施工工艺
粗磨50#——涂刷玻化——粗磨150#——涂刷玻化——粗磨300#——500#细磨——涂刷玻化——1000#精磨——2000#精磨——3000#精磨——表面玻化抛光
2.半玻化施工工艺
粗磨50#——粗磨150#——粗磨300#——500#细磨——玻化涂刷——1000#精磨——2000#精磨——3000#精磨——表面玻化抛光
3.表面玻化施工工艺
1000#精磨——2000#精磨——3000#精磨——表面玻化抛光
石材研习社（IDstone5A）
三种玻化方案
全玻化施工工艺适用于：石材开荒研磨、石材二次翻新施工；密度低、硬度低或吸水率较高，易发生病变的石材；对石材结晶工程有高品质的需求；后期石材保养运营人力物力技术欠缺的场所。
半玻化施工工艺适用于：石材开荒研磨、石材二次翻新施工；密度低、硬度低或吸水率较高，易发生病变的石材；对石材结晶工程有高品质需求；费用有一定的限制；后期石材保养运营人力物力技术欠缺的场所。
表面玻化施工工艺适用于：石材修复或浅翻新但费用有限的工程；后期石材保养的场所。
薄壁零件加工工艺及特点
薄壁零件加工工艺及特点在零件加工中，越是体积小，零件厚度越薄，那么加工难度就越高，所以薄壁零件的加工需要认真细心。
下面就由店铺为你带来薄壁零件加工工艺及特点，希望你喜欢。
薄壁零件加工工艺1、工件分粗、精车阶段精车时，由于切削余量较大，夹紧力稍大些，变形也相应大些;精车时，夹紧力可稍小些，一方面夹紧变形小，另一方面精车时还可以消除粗车时因切削力过大而产生的变形。
2、合理选用道具的集合参数精车薄壁工件时，刀柄的刚度要求高，车刀的修光刃不易过长，一般取0.2—0.3mm，刃口要锋利。
3、增加装夹接触面采用开缝套筒或一些特制的软卡爪。
使接触面增大，让夹紧力均匀分布在工件上，从而使工件夹紧时不易产生变形。
4、应采用轴向夹紧夹具车薄壁工件时，工件靠轴向夹紧套(螺纹套)的端面实现轴向夹紧，由于夹紧力沿工件轴向分布，而工件轴向刚度大，不易产生夹紧变形。
5、增加工艺肋有些薄壁工件在其装夹部位特制几根工艺肋，以增强此处刚性，使夹紧力作用在工艺肋上，以减少工件的变形，加工完毕后，再去掉工艺肋。
6、充分浇注切削液通过充分浇注切削液，降低切削温度，减少工件热变形。
薄壁零件工艺的特点1、因工件壁薄，在夹紧力的作用下容易产生变形。
从而影响工件的尺寸精度和形状精度。
在夹紧力的作用下，会略微变成三边形，但车控后得到的是一个圆柱孔。
当松开卡爪，取下工件后，由于弹性恢复，外圆恢复成圆柱形，而内孔则变成弧形三边形。
若用内径千分尺测量时，各个方向直径相等，但已变形不是内圆柱面了，称之为等直径变形。
2、因工件较薄，切削热会引起工件热变形，从而使工件尺寸难于控制。
对于线膨胀系数较大的金属薄壁工件，如在一次安装中连续完成半精车和精车，由切削热引起工件的热变形，会对其尺寸精度产生极大影响，有时甚至会使工件卡死在夹具上。
3、在切削力特别是径向切削力的作用下，容易产生振动和变形，影响工件的尺寸精度、形状、位置精度和表面粗糙度。
薄壁零件加工误差分析由上述分析可知，薄壁零件的刚度低，是造成加工误差的内部因素，构成加工误差的外因，一方面，与机床本身的精度，刀具的性状有关。
薄化玻璃翘曲改善方案
薄化玻璃翘曲改善方案薄化玻璃翘曲是一种常见的质量问题，往往会影响产品的外观和性能。
在制造过程中，玻璃翘曲往往是由于不良的生产工艺或者材料质量问题引起的。
以下是改善薄化玻璃翘曲问题的一些建议：首先，改善生产工艺。
生产过程中，需要严格控制玻璃的温度和压力，以避免产生过多的应力。
在加工过程中，可以采用适当的预热和冷却工艺，以减少热应力和残余应力的产生。
此外，选择合适的模具和工装，以减少玻璃形变的可能性。
其次，提高材料质量。
选择高质量的原材料可以减少玻璃内部的不均匀性，从而减少翘曲的可能性。
材料的熔化温度和黏度也会影响翘曲的程度，因此需要选择合适的材料配方和熔化工艺。
此外，还可以添加一些特殊的添加剂，如增稠剂或稀释剂，来改善材料的流动性和粘度分布，从而减少翘曲的发生。
另外，优化模具设计。
对于薄化玻璃的成型，模具的设计是十分关键的。
合理的模具结构和形状可以有效减少玻璃的形变和翘曲。
因此，在设计模具时，需要考虑玻璃的材料特性和成型工艺，选择适当的模具形状和尺寸，以达到减少翘曲的效果。
此外，加强工序控制。
在制造过程中，要注意控制每一道工序的温度、压力和时间等参数，以保持稳定的生产环境和过程。
同时，加强对设备的维护和保养，及时发现和处理可能的故障和问题，以确保生产的稳定性和一致性。
最后，进行质量检验和监控。
建立完善的质量控制体系，包括原料入库检验、生产过程控制和最终产品检验等，以及时发现和解决可能导致翘曲的问题。
对于有翘曲问题的玻璃产品，要进行全面的分析和评估，找出问题的根源，并采取相应的措施进行改善和修正。
综上所述，改善薄化玻璃翘曲问题需要从改进生产工艺、提高材料质量、优化模具设计、加强工序控制和进行质量检验和监控等方面进行综合考虑和改进。
只有综合运用这些措施，才能有效解决薄化玻璃翘曲问题，提高产品的质量和竞争力。
TFT薄化原理
TFT薄化原理TFT-LCD面板化学蚀刻薄化研究及产品可靠性分析推荐本文--------------------------------------------------------------------------------□姜明俊尚进李荣玉(1)化学蚀刻（主流方式）(2)物理研磨（辅助方式）化学蚀刻的原理：6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O利用化学溶液与表面材料进行化学反应，应用氢氟酸HF与二氧化硅SiO2发生反应并使其溶解的原理，对面板表面进行咬蚀而将面板厚度变薄。
薄化方式都利用玻璃与化学溶液(HF)产生化学反应(行成"四氟化硅")，加上不同物理作用来达到面板薄化目的。
现有化学蚀刻方式的主要分类如图1：以上三种化学蚀刻方式各有优缺点且在实际生产中都有所应用。
（1）Dip：多片直立浸泡式可以同时间处理多片玻璃但装置大型, 外围产生沉淀物,白色粉沫。
（2）Spray：单片直立喷洒式可以处理两面不同蚀刻要求；化学液可有效回收利使成本相对降低；蚀刻表面易产生凹点，需要后续拋光处理。
（3）Lcascade：瀑布流式基板上无需任何压力；高回收比例，废液最少；低重工比例，不用拋光。
由于瀑布流式不用抛光加工，节省了相关的技工费用，所以本次试验采用的是Lcascade:瀑布流式，如图2：液晶面板薄化过程玻璃厚度变化的示意如图3：为了验证液晶面板薄化前后的厚度和平整性，选择10片根据图4的示意点进行测量：使用超音波测厚机。
将10片的蚀刻后的液晶面板厚度数据进行整理得到表1。
图5反映了液晶面板薄化前后，厚度以及平整性的比较：综上所述，此次液晶面板薄化加工，面板的厚度达到要求，甚至比薄化前面板的平整度略好，且面板表面无蚀刻引起的凹凸等现象。
1.2化学蚀刻后薄化的0.5mm液晶面板的后段生产液晶面板的内部结构如图6所示。
液晶面板主要由上下两块玻璃基板组成，上面为彩膜基板CF，下面是阵列基板TFT[3] 。
浅谈粉末静电喷涂工艺及常见缺陷防治_程为华
用湿布和吸尘器彻底清洁固化炉内壁，重点清理悬挂链和风管缝隙处，如果是黑色大颗粒杂质就 需要检查风管过滤网是否有破损
喷粉室内杂质
每天开机前，使用压缩空气吹扫喷粉系统，用湿布和吸尘器彻底清洁喷粉设备和喷粉室
悬挂链杂质 粉末本身杂质
主要是悬挂链挡油板和一次吊具接水盘（材质为热镀锌板）被前处理酸、碱蒸气腐蚀后的产物。解 决方法是定期清理这些设施
合适地提高静电压与粉末的带电量，会有利于粉末上 粉率的提高，通过生产测验，静电压大小与粉末上粉率 的关系如图 3 所示。 3.5.2 喷枪与工件的距离
在静电压确定的情况下，电场强度与极间距离成 反比。当喷枪与工件距离过短时，会产生火花放电，距 离太远，则粉末的上粉率将降低。喷枪距离与击穿电压 的关系如图 4 所示，从图中可以看出，当静电压控制在
底的水洗，一般水洗 2 次，建议最后一道水洗采用新鲜 纯水洗，以免残留的酸性液对涂料产生的不良影响，水 洗干净后，需要对工件进行除水干燥，一般烘干条件为 150 ℃、10 ~ 30 min。注意烘干温度不宜过高，以免磷化 膜出现发白及粉化等缺陷。
静电枪
工件接地
静电发生器
电荷分布示意
图 １ 粉末静电喷涂原理
1 粉末涂料的组成及特性
粉末涂料先由特制树脂、颜填料、固化剂及其他助 剂以一定的比例混合，然后再通过搅拌、热挤压、冷却、 粉碎和过筛等工艺配制而成。 1.1 粉末涂料组成的四大主体
粉末涂料组成的四大主体见表 1。 1.2 粉末涂料的特点
涂料可分为热固型和热塑型两大类，粉末涂料一 般为热固型，主要特性如下：
喷涂过程中，一般遵循自上而下、从左到右的操作 原则，确保工件上粉均匀。由于粉末不良件返工时需要 脱漆后再重新前处理，返工流程相当复杂。因此在涂装 管理过程中，需要安排专人在喷房出口对工件表面粉 层的外观进行检查，如发现工件表面喷涂不均或因换 色不彻底造成的异色污染，应立即取下该工件，并把工 件表面的粉尘吹尽彻底后重新上线。如果是空气中细 小的纤维吸附在粉层表面，可用尖嘴气枪利用微小气 压从侧面吹掉工件表面的纤维，避免纤维附着造成粉 层固化后漆膜外观不良。 3.3 烘干固化
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3.反应速率与HF酸浓度的关系
图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系
玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析
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25℃时不同浓度HF酸中各组分的浓度(mol/l) 25℃时不同浓度HF酸中各组分的浓度(mol/l) 时不同浓度HF酸蚀刻方式） 瀑布流平台由于蚀刻后反应物堆积造成分叉，玻璃传送至分叉位置时蚀刻速率降 低造成局部不平整。
3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式） Nozzle堵塞造成玻璃局部蚀刻液更新不及时，间接降低药液浓度，从而降低蚀刻 速率，形成表面不匀。
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化学薄化设备实图
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二、化学薄化工艺介绍
1.反应时间与玻璃质量损失的关系（注：图表中所研究玻璃为石英玻璃）
图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系
玻璃薄化工艺介绍及不良案例分析
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2.反应速率与反应温度的关系
图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系
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为什么产生不可擦拭脏污
因为玻璃薄化时局部表面不平整
为什么局部表面不平整
因为玻璃被蚀刻时局部蚀刻速率不一致
为什么局部蚀刻速率不一致
因为玻璃表面不是所有区域都是玻璃成分
为什么不是所有玻璃表面都是玻 璃成分
薄化前玻璃表面有胶类物质未被清除
为什么胶类物质未被清除
清除不彻底、脏污漏擦拭
结论：薄化前的玻璃表面品质直接决定薄化后玻璃表面品质
薄化表面不匀对显示的影响
光线透过玻璃表面，在表面不匀处形成折射，造成光的垂直分量减弱，与周围 正常相比产生亮度的差异。
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薄化表面不匀改善方向（以瀑布流蚀刻方式为例） 薄化表面不匀改善方向（以瀑布流蚀刻方式为例） 1.对循环药液储罐增加过滤装置，防止蚀刻产物堆积在瀑布流平台，造成瀑布 流分叉。
说明反应速率与(HF)2的浓度有很大的相关性，是HF酸溶液中的最主要活性成分， 因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容 易断裂。
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三、主要薄化不良案例分析
1.不可擦拭脏污
脏污区域
正常区域
可判定不可擦拭脏污在蚀刻过程中产生
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2.增加瀑布流平台的保养频度，及时清理瀑布流平台的堆积产物。
3.调整蚀刻液配方，使部分蚀刻产物溶于蚀刻液中，减少堆积和堵塞。
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Thanks
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内 容 1.化学薄化设备介绍 2.化学薄化工艺介绍 3.主要不良案例分析
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一、化学薄化设备介绍
设备组成： Loader单元 蚀刻单元 干燥单元 洗气装置 温度控制器 预清洗单元 清洗单元 Unloader单元 供酸装置 HF酸浓度计
1.4 2.79 5.58 8.4 11.23 22.5
Composition
H+ 0.0282 0.0396 0.0558 0.0684 0.079 0.1115 HF2HF20.0181 0.0289 0.0446 0.0569 0.0673 0.0996 (HF)2 0.4686 1.0491 2.2803 3.563 4.8704 10.1739 F0.0101 0.0108 0.0113 0.0115 0.0117 0.0119 HF 0.4166 0.6233 0.919 1.1488 1.3431 1.9412
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测量系统
检查方法 检查工具
材料
胶的黏度 无尘布去污性能 X3 工作技能 酒精浓度
人
X4 识别脏污 能力 产生脏污 接触次数
温度 照度
无尘布更换频度 湿度 X2 擦拭方法 X1 接触位置
清洁度
工具
环境
工艺方法
设备
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2.薄化表面不匀 2.薄化表面不匀 薄化表面不匀产生原因： 薄化表面不匀产生原因： 1.Conveyer故障 处理故障必须先停止蚀刻液供应，必将造成玻璃表面药液残留，继续与玻璃进行 蚀刻速率不一致的反应。形成水波纹状表面不匀