半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸储存方法研究
宁波电子级氢氟酸用途
宁波电子级氢氟酸用途宁波电子级氢氟酸是一种高纯度、高质量的氢氟酸产品，主要用于电子行业中的半导体制造、光纤制造、电子器件清洗等领域。
下面我将详细介绍宁波电子级氢氟酸的用途。
首先，宁波电子级氢氟酸在半导体制造中起着至关重要的作用。
在半导体行业中，电子级氢氟酸是一种广泛应用的蚀刻剂。
它可以被用于刻蚀硅、氮化硅、氮化铟等材料，用于制作电路板、集成电路等半导体器件。
电子级氢氟酸具有高蚀刻速度、高选择性和高精度的特点，能够满足半导体制造中对精细加工的要求。
其次，宁波电子级氢氟酸在光纤制造中也有重要的应用。
氢氟酸可以用于去除光纤表面的有机或无机杂质，改善光纤的质量和性能。
此外，氢氟酸还可以用于光纤刻蚀和破损修复等工艺过程，确保光纤在制造和使用过程中的稳定性和可靠性。
此外，宁波电子级氢氟酸还被广泛用于电子器件的清洗。
在电子行业中，电子器件的制造过程中常常会产生一些污染物和残留物，如金属离子、有机物和脱盐剂等。
这些污染物会降低电子器件的性能和可靠性。
而使用电子级氢氟酸进行清洗可以有效地去除这些污染物，提高电子器件的品质。
此外，宁波电子级氢氟酸还可以在其他一些领域进行应用。
例如，在化学实验室中，氢氟酸可以用作酸催化剂、酸催化反应的溶剂。
它也可以作为油漆和涂料的配方成分，用于提高涂层的耐化学性和抗腐蚀性。
此外，氢氟酸还可以用于制备氟碳化合物和氟化合物，如氟化铝和氟化铵等。
需要注意的是，由于氢氟酸具有腐蚀性和毒性，使用它时需要严格控制条件和操作规范。
在使用氢氟酸时，需要佩戴防护设备，如呼吸器、眼镜、手套等，确保人员的安全。
同时，还要严格控制氢氟酸的储存和运输条件，避免泄漏和事故发生。
总体而言，宁波电子级氢氟酸具有广泛的应用领域，在电子行业中发挥着至关重要的作用。
它是半导体制造、光纤制造和电子器件清洗等方面的重要原料，通过其高纯度和高质量的特点，满足了电子行业对高品质和高性能产品的需求。
同时，我们也要充分认识到氢氟酸的危险性，并采取必要的安全措施，确保使用过程中的安全性和环境保护。
南宁半导体氢氟酸用途
南宁半导体氢氟酸用途氢氟酸（HF）是一种非常有用的化学物质，在各个领域都有广泛的应用。
下面是关于南宁半导体氢氟酸的用途的详细回答。
1. 电子/半导体工业：氢氟酸在电子和半导体工业中扮演着重要的角色。
它被用作清洗剂，可去除金属表面浸泡后形成的金属氧化物和其他杂质。
这种清洗作用可用于去除半导体器件上的污垢和氧化物，并提高器件的性能。
此外，在OMCVD（有机金属气相沉积）过程中，氢氟酸还用于去除金属表面氧化和碳化物，以确保金属表面干净纯净，从而促进薄膜的生长。
2. 钢铁冶金：氢氟酸在钢铁冶金中也有广泛的应用。
它可以用来脱除钢铁表面的氧化物和锈蚀，从而提高钢铁的质量和耐腐蚀性。
此外，氢氟酸还可以与钢铁表面的金属离子反应，形成钢铁表面的保护膜。
这种保护膜可以防止进一步的腐蚀和锈蚀，延长钢铁的使用寿命。
3. 石油工业：氢氟酸在石油工业中被用来处理石油和天然气，以去除杂质和污染物。
它可用于清洁油井管道和设备，去除油井管道内外的油垢和钙垢。
此外，氢氟酸可以在石油开采过程中用作酸化剂，帮助提高油井的产量和生产效率。
4. 化学分析：氢氟酸在化学分析和实验室研究中被广泛使用。
它可用作溶剂和催化剂，用于在分析样品中提取相关化合物。
它还可以用于分解有机和无机物质，以研究它们的化学性质和反应机制。
此外，在某些分析方法中，氢氟酸还可用于调整样品中的pH值，以确保分析过程的准确性和可重复性。
综上所述，南宁半导体氢氟酸在电子/半导体工业、钢铁冶金、石油工业和化学分析等领域都有重要的用途。
它在清洗、除锈、脱除氧化物、提取化合物和调整pH等方面发挥着关键作用。
因此，南宁半导体氢氟酸在工业生产和实验研究中都扮演着重要角色。
电子级氢氟酸行业分析报告
电子级氢氟酸行业分析报告一、定义电子级氢氟酸是用于制造电子元器件、光学玻璃、半导体、太阳能电池板等的重要原材料。
一般含量在99.99%以上，可以通过氟化氢水溶液的蒸馏法制得。
二、分类特点电子级氢氟酸主要分为高纯度电子级氢氟酸和低纯度电子级氢氟酸两种。
高纯度电子级氢氟酸适用于制造半导体、光学玻璃等高精度元器件，而低纯度电子级氢氟酸则主要用于太阳能电池板的制造。
三、产业链电子级氢氟酸产业链包括原材料供应链、生产加工链、销售渠道链和应用环节链。
原材料供应链包括氟石、碳酸钙等物料的采购，生产加工链包括电子级氢氟酸的生产、加工和储存，销售渠道链包括电子级氢氟酸的销售和物流配送，应用环节链则包括电子元器件、光学玻璃、半导体、太阳能电池板等产业的应用。
四、发展历程电子级氢氟酸产业自上世纪80年代起逐步发展壮大。
在国内，这项产业得到了政府的大力支持，相关技术也日益成熟。
目前国内电子级氢氟酸产业已初步形成规模化的产业格局。
五、行业政策文件国家及地方政府出台了一系列电子级氢氟酸产业相关的政策文件，包括对产业的支持、政策优惠等方面。
六、经济环境电子级氢氟酸产业受到国内外经济环境的影响。
近年来，环保政策趋紧、原材料价格上涨、国际经贸形势变化等因素，给电子级氢氟酸产业带来了一定的挑战。
七、社会环境电子级氢氟酸产业涉及的环保问题，已成为社会关注的焦点。
与此同时，消费者对高品质的电子产品、太阳能电池板等的需求也越来越高。
八、技术环境电子级氢氟酸产业依赖于先进的技术与设备，需要不断更新升级，并积极进行技术创新。
近年来，我国电子级氢氟酸的生产技术逐渐成熟，正向着高品质、高纯度的方向发展。
九、发展驱动因素电子级氢氟酸产业的发展离不开多方面的推动因素，包括政策扶持、市场需求增长、技术进步等。
十、行业现状当前，电子级氢氟酸产业处于快速发展阶段。
我国在这个领域已经形成了一批领先的生产厂家，市场份额逐年增长。
十一、行业痛点电子级氢氟酸产业面临的主要痛点包括产能过剩、环保压力增大、价格波动等。
电子级氢氟酸制备及配套技术
约１ ８ ４ ． ７ ｋ ｔ ／ ａ ， 其 中国外约 ４ ２ ｋ ｔ ／ ａ ， 中国大陆 １ ２ ５ ｋ ｔ ／ ａ ， 中国 台湾 地 区 １ ７ ． ７ ｋ ｔ ／ ａ 。从 发 展 趋 势来 看 ， 国外 产
能在 萎缩 ， 中国 电子 氢氟 酸产 能增长 较快 。
未 处理 的氟化 氢及 其含 的杂 质 （ 即粗氟 化氢 ） 通 入 水 溶液中， 持续 通 入 至 呈 饱 和 状 态 ， 继续通人 ， 易 溶 于
势企业的竞争力正在不断增强 ， 长期成 长空间巨大 ，
巳成为 化工 行 业 中发 展 速 度 最快 、 最 具 活 力 的行 业
之一。据不完全最新 统计 ， 国内外 高纯氢 氟酸产 能
ｏ ｕ ｎ ｇ ｉ ｆ ｎ ｅ 、 Ｍｉ ｎ ｅ ｒ ｓ ａ 、 墨西 哥 化 学 等 公 司及 台 湾 地 区 的 台塑 、 台硝 、 侨力 、 长 新化 学 等 。其 关 键 技 术 过 去 较 长 时间垄 断在美 国 、 德国、 日本 等 发 达 国家 的跨 国企 业集 团手 中 ， 近 年来 我 国通 过 引 进 、 合 作 开 发 和 自主 研发 有 了较大 的发 展 。随着世 界 半 导体 制 造业 向 中 国大 陆 的逐步转 移 ， 国内 （ 不 包括 台湾 ） 电子级 氢 氟 酸需 求 量 年增 长 约 １ ０ ％， 已有 不 少企 业 开 始 涉足 这
电子级氢氟酸也不多 ， 有Ｍ ｅ ｒ ｃ ｋ— Ｋ ａ ｎ ｔ ｏ 、 Ｓ ｏ ｌ ｖ ａ ｙ 、 Ｈ ｏ ｎ －
ｅ ｙ ｗ ｅ ｌ ｌ 、 Ａ ｖ ａ ｎ ｔ ｏ ｒ Ｐ ｅ ｒ ｆ ｏ ｒ ｍ ａ ｎ ｃ ｅ Ｍ ａ ｔ ｅ ｒ ｉ ａ ｌ ｓ （ 原 名 Ｍａ ｌ ｌ ｉ ｎ ｃ ｋ —
半导体级氢氟酸回收
半导体级氢氟酸回收1. 引言1.1 概述概述半导体级氢氟酸是一种重要的化工原料，广泛应用于半导体材料的制备过程中。
在半导体行业中，氢氟酸被用于蚀刻硅片、清洗表面以及刻蚀金属等重要工艺步骤中。
然而，由于氢氟酸具有强烈的腐蚀性和毒性，对环境和人体健康造成潜在威胁。
为了减少对环境的污染，并有效回收和重复利用氢氟酸，氢氟酸回收技术受到了广泛关注。
氢氟酸回收是指将半导体制造过程中产生的含氢氟酸废液进行处理和纯化，以获得高纯度的氢氟酸，以便再次用于生产。
通过氢氟酸回收，不仅可以节约资源，降低成本，还可以减少对环境的影响，提高生产效率，是半导体行业可持续发展的重要措施。
本文将首先介绍半导体级氢氟酸的应用领域，包括其在半导体材料制备过程中的重要作用。
然后，重点阐述氢氟酸回收的重要性，包括对资源的节约和环境的保护意义。
最后，总结本文的主要内容，并展望氢氟酸回收技术在未来的发展前景。
通过本文的阐述，读者将更深入地了解半导体级氢氟酸回收技术的重要性和应用前景，促进半导体行业在可持续发展方面的探索和实践。
文章结构部分的内容可以围绕以下几个方面展开论述：1. 分析文章的整体结构：介绍文章的大纲和目录，说明文章的组织架构和主要章节。
2. 阐述每个章节的内容概要：对每个章节进行简要描述，包括重点讨论的主题和内容范围，以及该章节与整体主题之间的关系。
3. 强调章节之间的逻辑连接：指出各章节之间的逻辑关系，如前后衔接的论证逻辑、因果关系或对比对照等。
说明各章节的排列顺序是否按照逻辑顺序进行组织。
4. 提供读者导向：建议读者在阅读文章时应注意哪些重点内容，如需要重点关注的论证、实证数据、案例分析等。
具体可参考如下所示：文章结构：本文按照以下结构进行组织和论述：引言、正文和结论。
1. 引言1.1 概述引言部分将对半导体级氢氟酸回收的背景和重要性进行概括性介绍，引发读者的兴趣。
1.2 文章结构本文总共分为引言、正文和结论三个部分，每个部分的内容和主题如下所述。
电子级氢氟酸研究进展
第52卷第8期 辽 宁 化 工 Vol.52，No. 8 2023年8月 Liaoning Chemical Industry August，2023收稿日期： 2021-08-23 电子级氢氟酸研究进展朱博超，章志成（浙江森田新材料有限公司，浙江 金华 321200）摘 要： 随着电子信息时代的到来，电子芯片逐渐成为国家未来大力发展的主要产业。
电子级氢氟酸作为芯片制作过程必需的化学品，也成为此产业上未来主要发展的方向。
介绍了氢氟酸一般生产流程、等级分类以及电子级生产工艺、技术难点等。
关 键 词：氢氟酸； 分类； 电子级中图分类号：TQ124.3 文献标识码： A 文章编号： 1004-0935（2023）08-1217-032021年3月13日，《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》（以下简称《纲要》）发布，《纲要》中提到，加快智能制造、高端芯片等领域关键核心技术突破和应用。
未来五年，中国力争在芯片、人工智能、量子计算等先进技术领域取得领先的地位[1]。
围绕“光芯屏端网”等，攻克一批卡脖子技术，推动“临门一脚”关键技术产业化，增强产业核心竞争力[2]。
打造“光芯屏端网”等具有国际竞争力的万亿产业集群。
集成电路是指采用一定的工艺，将近亿晶体管等半导体器件与电阻、电容、电感等基础电子元件连接集成于小块基板，然后封装于管壳内，将组装为微型电子部件的集成电路通常称为芯片。
电子级多晶硅（以下简称“硅料”）是国家大力发展的一种战略性原材料，也是集成电路产业不可缺少的基础性原料[3]。
目前，西方等发达国家企业掌握其主要生产技术，而中国市场上的集成电路用多晶硅材料基本为国外生产，同时我国生产电子级氢氟酸的企业还未达到10家[4-5]，所以攻克电子级多晶硅关键生产技术可以增强产业在国际上的核心竞争力[6-7]。
硅料化学清洗作为电子级多晶硅生产关键核心工序，可以有效去除硅料表面颗粒及化学性沾污。
电子级氢氟酸项目可行性研究报告申请报告
电子级氢氟酸项目可行性研究报告申请报告
尊敬的XXX公司领导：
一、项目背景分析
1.电子级氢氟酸市场现状分析：包括市场规模、供需状况、市场竞争
格局等。
2.电子级氢氟酸主要应用领域分析：电子行业、半导体行业、太阳能
产业等。
3.国内外电子级氢氟酸供应能力对比分析。
二、项目可行性分析
1.市场需求分析：对电子级氢氟酸市场需求趋势、增长潜力等进行预
测和评估。
2.生产成本分析：包括原材料成本、能源消耗、设备投资等相关成本
分析。
3.技术分析：对电子级氢氟酸生产工艺、技术难点进行研究与评估。
4.投资回报分析：预计项目投资额、收入与成本，并计算投资回收期、内部收益率等指标。
5.风险分析：对项目可行性存在的风险进行识别、评估和应对方案设计。
三、项目建议与措施
1.根据可行性研究结果，给出电子级氢氟酸项目的建议：包括项目投资规模、生产规模、生产周期等。
2.提出项目实施计划：包括市场拓展策略、技术优化方案、质量控制措施等。
3.推荐项目风险防控措施：针对可行性分析中确定的风险，提供相应的防控措施和应急预案。
四、结论与展望
在对电子级氢氟酸的市场需求、生产成本、技术难点、风险等进行全面分析后，我们将得出可行性研究的结论，给出对项目的展望。
我们将组织专职人员对上述内容进行深入研究，力求编写出一份全面准确的可行性研究报告。
我们相信该报告将为您决策提供重要参考，帮助您了解电子级氢氟酸项目的可行性和发展前景，为未来的决策提供依据。
我们诚挚期待获得您的支持与批准，并期待能尽早完成该报告以便给予您更多的信息和建议。
谢谢！
此致。
氢氟酸的操作、储存、运输等安全注意事项
氢氟酸的操作、储存、运输安全注意事项操作注意事项：密闭操作，注意通风。
操作尽可能机械化、自动化。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。
建议操作员佩戴自吸过滤防毒面具(全面罩)，穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。
防止蒸气泄漏到工作场所空气中。
避免与碱类、活性金属粉末、玻璃制品接触。
搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。
配备泄漏应急处理设备。
倒空的容器可能残留有害物。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。
远离火种、热源。
库温不超过30℃，相对湿度不超过85%。
保持容器密封。
应与碱类、活性金属粉末、玻璃制品分开存放，切忌混储。
储存区域应配备泄漏应急处理设备和合适的储存材料。
监测方法：离子选择电极法;氟试剂-镧盐比色法废弃处置方法：用过量石灰水中和，沉淀沉积物的填埋处理或回收，上清液稀释后排入废水系统。
包装方法：放入铅桶或专用塑料容器中，再装入木箱中。
空隙用不燃材料填充妥实;装入塑料瓶，特种电木、橡胶或铅容器，严封后再装入坚固木箱中。
木箱内用不燃材料衬垫，每箱净重不超过20公斤，3～5公斤包装每箱限装4瓶。
运输注意事项：MSDS简要描述了化学品对人类健康和环境的危害，并提供了安全处理方法、贮存和使用该化学品的信息。
作为提供给用户的一项服务，生产企业应随化学商品向用户提供安全说明书，使用户明了化学品的有关危害，使用时能主动进行防护，评估认证报告是应产品进口国的法律规定与要求编写的。
目前化学品评估编写的法律规定，国际上尚没有统一的标准，一般国际通行的版本是欧盟的EEC/ISO版本，和美国的OSHA及ANSI版本。
由于各个国家，甚至各个州的化学品管理及贸易的法律文件不一样，有的每个月都有变动，如果提供的MSDS报告不正确或者信息不完全，将面临法律责任追究。
所以目前国外的客户一般都要求其材料供应商，提供经专业的第三方检测机构进行的MSDS材料安全评估认证谱尼报告,防止由于材料供应商自己编写的MSDS报告不符合相关国家的法律规定，或者MSDS报告提供的材料安全数据不符实所造成的安全事故及法律责任。
2023年电子级氢氟酸行业市场前景分析
2023年电子级氢氟酸行业市场前景分析电子级氢氟酸是一种用于制造电子元器件、半导体材料和集成电路的重要化学原材料。
目前，电子级氢氟酸行业市场由于半导体工业的迅猛发展，需求量不断增加，市场前景十分广阔。
本文将从需求量、市场规模和市场趋势三个方面分析电子级氢氟酸行业市场前景。
一、需求量随着电子行业的迅猛发展，电子级氢氟酸的需求量不断增加。
现代电子产品中使用的材料大都要求纯度高、质量稳定，电子级氢氟酸作为重要的化学原材料，可以满足这些要求。
目前，半导体工业是电子级氢氟酸的最大应用领域，全球半导体市场的规模已经达到了6000亿美元，其中中国占据了重要地位。
在未来几年内，随着半导体产业的不断发展，对电子级氢氟酸的需求量将会进一步增加。
二、市场规模电子级氢氟酸行业市场规模在持续扩大。
据统计，截至2019年，全球电子级氢氟酸市场规模已经超过了50亿美元，其中亚洲地区市场规模最大。
在中国市场上，电子级氢氟酸的应用领域正在向多元化、高端化方向发展，市场规模也在逐年增加。
根据市场研究机构的预测，未来几年内，全球电子级氢氟酸市场规模将会继续扩大。
三、市场趋势电子级氢氟酸行业市场的发展趋势主要体现在以下几个方面：1. 产品不断优化随着半导体工业的不断发展，对电子级氢氟酸的质量要求越来越高。
未来，电子级氢氟酸行业将会继续优化产品，提高产品纯度和质量稳定性。
2. 科技创新电子级氢氟酸行业在科技创新方面的投入也在不断增加。
未来将会出现更多基于高技术、高纯度电子级氢氟酸的创新产品。
3. 行业整合电子级氢氟酸行业市场竞争激烈，未来行业整合和兼并重组的趋势将越来越明显。
总之，电子级氢氟酸行业具有广阔的市场前景。
随着半导体工业的不断发展，未来几年内对电子级氢氟酸的需求量将会进一步增加，市场规模也将继续扩大。
同时，产品不断优化、科技创新和行业整合也将成为行业发展的趋势。
10 nm制程用电子级氢氟酸中痕量阴离子分析方法
表 1 Cl-、Br-、NO3-、SO42-、PO43- 五种阴离子的
线性回归方程
离子
ClBrNO3SO42PO43-
检出限 /ng·L-1
73 111 75 102 298
定量限 /ng·L-1
242 371 251 339 993
RSD/%
1.69 1.65 2.91 1.12 1.82
线性回归方程 相关系数
试 验 在 ISO Class 5 级 洁 净 室 内 进 行（ 空 气 中 0.5 μm 微粒每立方米小于等于 3 500 个）[4]，以满足 集成电路产品生产过程及电子化学品使用过程中对 环境的要求。 1.2 仪器、耗材及试剂
离 子 色 谱 仪（DionexAquion，Thermo Fisher）， 超纯水机（RODI，厦门锐思捷纯水，取水电阻率： 18.2 MΩ·cm，25 ℃）。
0 引言 集成电路产品的良品率与外部引入的无机杂质
含量息息相关，电子化学品是引入无机杂质的主要 来源 [1]。电子级氢氟酸是电子化学品中重要的品种 之一，主要用作清洗剂、蚀刻剂，其质量的好坏不 但直接影响电子产品的质量，而且对微电子制造技 术的产业化具有重大影响 [2]。随着工艺制程由 14 nm 向 10 nm 延伸，电子化学品对无机杂质含量的要求 越来越高，电子级氢氟酸的品质要求在 SEMI Grade 5 以上，其阴离子含量不超过 10 μg/L[3]。文章通过离 子色谱法形成了对电子级氢氟酸中痕量阴离子（Cl-、 Br-、NO3-、SO42-、PO43-）的分析方法，对于提升电 子级试剂的产品质量具有重要意义，也将推动集成 电路行业的发展。 1 试验 1.1 试验环境
量 限； 取 加 入 5.0 μg/L 阴 离 子 标 准 品 的 4.9% 浓 度 电子级氢氟酸连续进样 6 次的峰面积，计算相对标 准偏差（RSD）；以本文 1.4 中所述配制的阴离子峰 面积为纵坐标，浓度为横坐标拟合线性回归方程， 其结果如表 1、图 3 所示。经考察 Cl-、Br-、NO3-、 SO42-、PO43- 检出限 73~298 ng/L，定量限 242~993 ng/L， 连续进样 6 次，RSD < 5%，线性相关系数≥ 0.999， 满足方法学验证的要求 。 [10]
电子级氢氟酸的纯化技术及其配套技术
目前 ， 内外对 电子级 氢氟 酸指 标 的划 分不 一 ， 国 没有 统一 的标 准 ， 据其 质量 指标 不 同， 途有 所 不 根 用
同。 目前 ， 国内还 没有 电子级 氢 氟酸 国家 标 准 ， 般 一
长 率超 过 ２ ％ ，０ ５年 保守 估计 市场 销售 总额 将 达 ０ ２１ 到 ４０～ ５ 元 ， ０ ４０亿 国内优势 企业 的竞 争力 正在 不 断
一
个方 向。 目前 ， 展 电子 级 氢 氟 酸专 业 化 研 究 的 开 国家 不是 很 多 ， 关 键 技 术 长 时 间垄 断 在 美 国 、 其 德 国、 日本等 发达 国家 的跨 国企 业 集 团手 中。其 研 究
领域 已涉 及 轻 工 、 油 、 工 、 石 化 医药 、 电子 等 许 多 方
分 析试 剂和 制备 高纯度 的 含氟化 学 品。它 的纯度 和
电路 、 大屏 幕液 晶显示 器 、 半导 体等 微 电子工 业等 方
面。
近年来 ， 随着 我 国微 电 子工业 的 高速发 展 ， 中国
洁净度 对集 成 电路 的成 品率 、 电性 能及 可靠 性 都 有
着 十分 重要 的影和液晶显示 器 （ Ｃ 制造业 向我 国转 移 ， Ｌ Ｄ） 以及 国内电子级 氢氟酸 需求量 的 日益增 长 ， 细氟化 精
工已成为我国氟化工业发展 的必然趋势 。阐述 了电子级 氢氟 酸的应用 领域 、 质量标 准 、 纯化技术 ， 以及生产 电子级氢 氟酸 的 配套 技术 ， 为我 国在 提高电子级氢氟酸生产工艺水平的 同时 ， 加强其 配套技 术的研发。 认 应 关键词 ： 电子级 氢氟酸 ； 质量标准 ； 纯化技 术 ； 配套技术
１ 电 子级 氢 氟 酸 质 量 标 准
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
≤50 ≤50 ≤50 ≤50
21
√
21
√
21
√
21
√
20
√
20
√
20
√
20
√
10
√
10
√
10
√
10
√
35
√
35
√
30
√
30
√
检验项目
w （ 铝） / （ μg·kg － 1 ） w （ 砷） / （ μg·kg － 1 ） w （ 硼） / （ μg·kg － 1 ） w （ 钡） / （ μg·kg － 1 ） w （ 钙） / （ μg·kg － 1 ） w （ 镉） / （ μg·kg － 1 ） w （ 铬） / （ μg·kg － 1 ） w （ 铜） / （ μg·kg － 1 ） w （ 铁） / （ μg·kg － 1 ） w （ 钾） / （ μg·kg － 1 ） w （ 锂） / （ μg·kg － 1 ） w （ 镁） / （ μg·kg － 1 ） w （ 锰） / （ μg·kg － 1 ） w （ 钠） / （ μg·kg － 1 ） w （ 镍） / （ μg·kg － 1 ） w （ 铅） / （ μg·kg － 1 ） w （ 钛） / （ μg·kg － 1 ） w （ 锑） / （ μg·kg － 1 ） w （ 锡） / （ μg·kg － 1 ） w （ 锌） / （ μg·kg － 1 ）
≥1． 0
≥0． 5
≥0． 5
≥0． 2
－
≥0． 5
颗粒 / （ 个·mL － 1 ）
≤25
≤25
≤5
－
－
≤250
适应范围
＞ 1． 20 μm 0． 80 ～ 1． 20 μm 0． 20 ～ 0． 60 μm 0． 09 ～ 0． 20 μm ＜ 0． 09 μm 0． 80 ～ 1． 20 μm IC 技术的制作 IC 技术的制作 IC 技术的制作 IC 技术的制作 IC 技术的制作 IC 技术的制作
半导体晶圆是指硅半导体 IC 制作所用的硅晶 片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅晶片上可
1 半导体晶圆用 UPSS 电子级氢氟酸的储存
加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性 1． 1 储存设备内衬及管路阀件材质
功能的 IC 产品。晶圆的原始材料是硅，二氧化硅经
UPSS 电子级氢氟酸在生产过程中还未达到客
检验项目
规格
国产材质 5 d 判定 20 d 判定
进口材质 5 d 判定 20 d 判定
w （ 氯化物） （ 以 Cl 计） / （ μg·kg － 1 ） w （ 硝酸盐） （ 以 NO3 计） / （ μg·kg － 1 ） w （ 磷酸盐） （ 以 PO4 计） / （ μg·kg － 1 ） w （ 硫酸盐） （ 以 SO4 计） / （ μg·kg － 1 ）
关键词： 半导体晶圆； UPSS 电子级氢氟酸； 新型特殊自呼吸装置
0 前言
随着我国半导体行业的迅速发展，UPSS 电子级 氢氟酸作为半导体制备和集成电路（ IC） 清洗的关 键材料也得到前所未有的发展机遇。我国 UPSS 电 子氢氟酸市场严重依赖进口，只有极少数企业，如多 氟多、巨化股份、永飞化工等能够生产出符合市场需 求的产品。
电子氢氟酸的储存方法展开论述。 ———————————————
目前，国内生产和储存 UPSS 电子级氢氟酸的
作者简介： 杨涛（ 1978—） ，男，博士，董事长助理，主要从事含氟材料的研发、应用和企业管理工作。
2018 年第 1 期
杨 涛等·半导体晶圆专用 UPSS 电子级氢氟酸储存方法研究
·21·
其原因是国产内衬材质在酸液中会不断释放金属离 口高纯氟塑料内衬材质，在储存 5 d 和 20 d 时，产品
子，影响 了 产 品 的 品 级。而 使 用 进 口 材 质 NPTFE 中阴离子和阳离子的分析结果，见表 2 和表 3。
（ 高纯聚四氟乙烯） 、NPVDF（ 高纯聚偏氟乙烯） 或高
表 2 阴离子分析结果
C7 （ Grade 2）
C8 （ Grade 3 ）
C12 （ Grade 4）
（ Grade 5）
C11 （ VLSI Grade）
金属杂质
≤1 × 10 － 6
≤10 × 10 － 9
≤1 × 10 － 9
≤0． 1 × 10 － 9 ≤0． 01 × 10 － 9
≤50 × 10 － 9
控制粒径 / μm
设备内衬及管路、阀件材质主要有 PTFE、PVDF 和 纯 PFA 等可以有效避免以上问题的发生。
PFA 等，但通过在生产中的实际应用证明，这些材质
以 ICS100 离子色谱仪和 ICP － MS7700X 电感
均无法达到 UPSS 电子级氢氟酸的品级要求，分析 耦合等质谱仪进行分析。国产氟塑料内衬材质与进
·20·
有机氟工业 Organo － Fluorine Industry来自2018 年第 1 期
半导体晶圆专用 UPSS 电子级氢氟酸储存方法研究
杨 涛 曹武亮 万群平
（ 福建省邵武市永飞化工有限公司，福建 邵武 354000）
摘 要： 半导体晶圆专用 UPSS 电子级氢氟酸在储存过程中容易受到污染且储存周期短，为 2 ～ 3 d。从储存设备的内衬 材质和新型特殊自呼吸装置两方面进行了研究。通过选择内衬材质和新型特殊自呼吸装置，成功解决了金属离子不断释放 污染产品的问题，并延长储存周期至 30 d。
电子级氢氟酸是一种无机酸，具有弱酸性，常温
下为无色透明液体，相对密度 1． 15 ～ 1． 18 （ 49% ～ 55% 浓 度） ，在 空 气 中 发 烟，有 刺 激 性 气 味，剧 毒。 能与一般金属、金属氧化物以及氢氧化物发生反应。 腐蚀性极强，能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态四氟 化硅。易溶于水和醇，难溶于有机溶剂［1］。
UPSS 电子级氢氟酸专指所有单项金属杂质的 质量分数≤0． 1 μg / kg 的高品级电子级氢氟酸，该 产品能适用于半导体晶圆≤0． 2 μm 的清洗。电子 级氢氟酸执行的国际 SEMI 标准，如表 1 所示。
表 1 电子级氢氟酸执行的国际 SEMI 标准
SEMI 标准
C1 （ Grade 1）
电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度 户使用所需的酸浓度时，产品需要储存在特制设备
的多晶硅（ ≥11 N） ，如此高纯度的电路板蚀刻就必 须使用 UPSS 电子氢氟酸［2］。对表 1 中 Grade 4 UPSS
内调节酸的浓度制备成品。在此环节中如何避免二 次污染，是国内企业普遍存在的技术难点。