MEMS技术检测爆炸物的原理与研究进展

合集下载

1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。

ＤｅｅｏｍｅｔｏｐｏｉｅＤｅｅｔｏｔＥＭＳｖｌｐｎｆＥｘｌｓｖｔｃｉｎｗｉＭｈ
ＫＯＮＧＤｅｉＺ－，ＨＵＪａ —ｉ，ｏｇｇａｇ，ＩＢｎ－ｏＺＨＡＮＧｈｎ－ｏｇ，ＨＡＮＧａ，ｉｙｉｎｂｎＱＩｎ－ｕｎＬＮｉｇｔ，ＹａＺｅｇｙｎＺＴｏＬＵＷｅ
技术和痕量探测技术．体探测技术包括金属探测器探测、Ｘ射线探狈、中子探测、４热四极共振分析、太赫兹成像技术等．痕量探测技术主要有光谱法、电子 “ 鼻”石英微晶天平技术、、气相色谱与电子捕获器联用技术、化学喷显法、荧光检测法、离子迁移谱分析等，另外利用经过训练的动物如警犬等也属于痕量检测之列．这些技术都各有一些特色和不足，由于篇幅所限，不能在此一一介绍．中，其离子迁移谱技术相对而言发展和应用较为成熟，产品有通道式、台式、便携式等多种型号，灵敏度较高，检测极限的范围在１～１ｇ之间口．了探测爆炸物以外，０Ｏ］除
Ｋｅｏｄ：ＥＳ；ｐｏｉｅｄｔｃｉｎｙｗｒｓＭＭＥｘｌｓｖｅｅｔｏ
ＥＥＣ：２０７３
ＭＥＭＳ技术检测爆炸物的原理与研究进展
孔德义，诸建彬，齐永光，林丙涛，张正勇，张涛，路巍
（中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室，合肥２０３）３０１
实用化前还需要解决选择性、稳定性、抗环境干扰等技术难题。
关键词：ＭＳ爆炸物检测ＭＥ；
中图分类号：Ｐ１；Ｂ１Ｔ２２Ｔ４
文献标识码：Ａ
文章编号：０４１９（０６０—０６ｏ１０ —６９２０）５２９－４
爆炸物探测是一项重要的反恐内容．炸物探爆
还能检测多种其他化学物质，如化学战剂等，但其价格十分昂贵．其中，便携式离子迁移谱仪由加拿大百灵捷公司于１９年率先推出［，９９２但它的灵敏度达不］
到通道式和台式离子迁移谱仪的水平．
随着ＭＥＭＳ技术的快速发展以及在多个领域
测技术种类较多，归纳起来主要有两大类，即体探测
维普资讯

第１９卷第５期２００６年１Ｏ月
传感技术学报
ＣＮＥＥＯＵＲＬＯＦＳＮＳＲＳＡＮＤＡＴＵＨＩＳＪＮＡＥＯＣＡＴＯＳＲ
Ｖ０．９Ｎｏ５１１．
０ｃ．０６ｔ２０
ＡｂｔａｔＴｈｅｅｏｍｅｔｏｘｌｓｖｅｅｔｏｔＥＭＳｔｃｎｌｇｓｂｉｆｙｒｖｅｄＶａｉｕｓｒｃ：ｅｄｖｌｐｎｆｅｐｏｉｅｄｔｃｉｎｗｉｈＭｅｈｏｏｙｗａｒｅｌｅｉｗｅ．ｒｏｓｄｔｃｉｇｍｅｈｄｒｌｓｉｅｎｍｉｒｃｌｒｍｅｒｃｓｅｔｏｃｐ，ｉｐａｅｅｔｍｅｓｒｎｔｉｈｅｅｅｔｎｔｏｓｗｅｅｃａｓｆｄｉｃｏａｏｉｔｉｐｃｒｓｏｙｄｓｌｃｍｎａｕｉｇｗｉｌｔｒ－ｉｈｇｆｅｔｎｓｒｉｏｉｒｎｔｉｚｒｓｓａｃ，ｎｅｏａｃｒｑｅｃｈｆｅｓｒｎ．Ｔｈｒｎｉｌｆｌｃｉｇ，ｔａｎｍｎｔｉｇｗｉｐｅｏｅｉｔｎｅａｄｒｓｎｎｅｆｅｕｎｙｓｉｔｍａｕｉｇｏｈｅｐｉｃｐｅｏｅｃｔｏｒｅｐｃｉｅｙｉｔｏｕｅｉｓａｖｎａｅａｄｔｅｄｓｄａｔｇｒｉｃｓｅ．Ｈｏｖｒａｈｍｅｈｄｗｅｅｒｓｅｔｖｌｎｒｄｃｄ，ｔｄａｔｇｎｈｉａｖｎａｅｗｅｅｄｓｕｓｄｗｅｅ，ｒｓａｃｎｔｉａｅｓｓｉｔｅｐｒｍｅｔｌｓａｕ，ｕｌｉａｉｎｕｈａｄｎｉｉａｉｎａｃｒｃ，ｏｕｔｅｅｒｈｉｈｓｒａｉｔｌａｘｅｉｎａｔｔｓｑａｉｃｔｏｓｓｃｓｉｅｔｃｔｃｕａｙｒｂｓ，ｌｆｆｏｎｉｅｐｏｆｓｉｅｄｔｅｉｐｏｅｅｏｅａｐｉａｉｎｏｓ－ｒｏｔｌｎｅｏｂｒｖｄｂｆｒｐｌｔ．ｌｍｃｏ
（ｎｔｕｅｆＩｔｌｅｔａｈｎｓＣｉｓＡａｅｙｏｃｃｔｅｅａｏａｏｒｎｄｃｅｎｌｙ．ｆｔ３０１Ｃｉ）Ｉｓｔｔｏｅｉｎｃｉ，ｈｎｅｃｄｍｆＳｉｅＳａｙＬｂｒｔｙｏＴａｓｕｅＴｃｏｇＨｅｅ２０３．ｈｎｉｎｌｇＭｅｅｎｅｓｔＫｒｆｒｈｏａ
摘要：本文对国内外采用ＭＥ技术检测爆炸物的方法进行了分类，ＭＳ主要将其分为测温法、位移法、压阻法、谐振法等，分
别介绍了它们的检测原理，析了在灵敏度、分选择性、抗环境干扰能力、系统集成与小型化等方面它们各自的潜在优势以及不
足之处。同时，对近十年来该研究领域的进展和现状作了简要回顾，这些研究目前基本上都还处于实验室阶段，真正达到在