透射电镜

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透射电镜

透射电镜

1.
Disk Cutting
2.
Disk Grinding
500 µm
3. 4.
70-100 µm
Dimple Grinding
Ion Milling
<5 µm
Ion beam
Ion beam
Not to scale
• 超薄切片仪 对生物样品和高分子等软材料,可切割达到电镜 观察要求的超薄切片。
5.透射电镜观察

透射电子显微镜介绍
1.透射电镜原理
TEM Design
TEM Column Design and Filaments灯丝
Magnetic lens
Pole piece
• 透射电镜以透射电子为检测对象 • 扫描电镜以二次电子及背散射电子为检测对象 • X射线和俄歇电子用于化学分析
3.透射电镜的构造
热电子发射 LaB6 5X106
场发射 ZrO/W(100) 热阴极 5X108
5X105
光源尺寸[mm] 发射电流[mA]
能量发散度[eV]
50 100
2.3
10 20
1.5
0.1 ~1 100
0.6-0.8
所需真空[Pa]
温度[K]
10-3
2800
10-5
1800
10-7
1800
• 聚光镜系统:将来自电子枪的电子束会 聚在样品上(会聚后发散角10-2弧 样品室和样品台:电子在穿透样品的路 径中,会发生电子的弹性散射和非弹性 散射,若以满足布拉格方程的角度与一 组晶面相遇,会发生电子衍射;
成像系统
• 由物镜、中间镜(1、2个)和投影镜(1、2个)组成。 • 成像系统的两个基本操作是将衍射花样或图像投影到荧光 屏上。 • 通过调整中间镜的透镜电流,使中间镜的物平面与物镜的 背焦面重合,可在荧光屏上得到衍射花样。 • 若使中间镜的物平面与物镜的像平面重合则得到显微像。 • 透射电镜分辨率的高低主要取决于物镜 。

TEM(透射电子显微镜)

TEM(透射电子显微镜)

细胞结构解析
细胞膜结构
透射电镜图像可以清晰地展示细胞膜的精细结构,如细胞膜的厚度、 细胞器的分布等。
细胞器结构
透射电镜能够观察到细胞内的各种细胞器,如线粒体、内质网、高 尔基体等,有助于了解细胞器的形态和功能。
细胞骨架结构
透射电镜能够观察到细胞骨架的超微结构,如微管、微丝和中间纤维 等,有助于了解细胞骨架在细胞运动、分裂和分化中的作用。
TEM应用领域
01
02
03
04
生物学
研究细胞、组织和器官的超微 结构,如细胞器、细胞膜、染
色体等。
医学
用于诊断疾病,如癌症、传染 病等,以及药物研发和疫苗制
备过程中的结构分析。
地质学
观察岩石、矿物和矿物的微观 结构,研究地球科学中的各种
地质现象。
材料科学
研究金属、陶瓷、高分子等材 料的微观结构和性能,以及材
控制切片的厚度,通常在50~70纳米之间,以确 保电子束能够穿透并观察到样品的内部结构。
切片收集与处理
将切好的超薄切片收集到支持膜上,并进行染色、 染色脱水和空气干燥等处理。
染色
染色剂选择
选择适当的染色剂,如铅、铀或 铜盐,以增强样品的电子密度并
突出其结构特征。
染色时间与温度
控制染色时间和温度,以确保染色 剂与样品充分反应并达到最佳染色 效果。
清洁样品室
定期清洁样品室,保持清洁度 。
检查电子束系统
定期检查电子束系统,确保聚 焦和稳定性。
更新软件和驱动程序
及时更新TEM相关软件和驱动 程序,确保兼容性和稳定性。
定期校准
按照厂家建议,定期对TEM进 行校准,确保观察结果的准确
性。
06 TEM未来发展

透射电镜(TEM)原理详解

透射电镜(TEM)原理详解
• 更短的波长是X射线(0.01~10nm)。但是, 迄今为止还没有 找到能使X射线改变方向、发生折射和聚焦成象的物质, 也就是说还没有X射线的透镜存在。因此X射线也不能作为 显微镜的照明光源。
• 除了电磁波谱外, 在物质波中, 电子波不仅具有短波长, 而且存在使之发生折射聚焦的物质。所以电子波可以作为 照明光源, 由此形成电子显微镜。
图为日立公司H800透射电子显微镜(镜筒)
高压系统
真空系统
操作控制系统
观察和记录系统
阴极透电射子电枪镜来, 获通得常工电采作子用原束热 理
作为照明源。 热阴极发射的电子, 在
阳极加速电压的作用下, 高速穿过阳极孔, 然后被 聚光镜会聚成具有一定直 径的束斑照到样品上。
具有一定能量的电子束 与样品发生作用, 产生反 映样品微区厚度、平均原
量决定于衬度
B
A
(像中各部分
的亮度差异)。
现在讨论的
这种差异是由
于相邻部位原
子对入射电子
散射能力不同, Aˊ
因而通过物镜
光阑参与成像
质厚衬度表达式 令N1为A区样品单位面积参与成像
的电子数,N2为B区样品单位面积参
与成像的电子数,则A.B两区的电子
衬G将度上GN式为1N展1N成2 级 1数,ex并p略N A去 二0M2级22及t2 其
• 正确分析透射电子像,需要了解图象衬度与以上这 些反映材料特征信息之间的关系。
• 透射电子像中,有三种衬度形成机制: • 质厚衬度 • 衍射衬度 • 相位衬度
透射经电典镜像理衬论形成认原为理(散一)射质是厚衬度
供入观察射形貌电结子构的在复型靶样物品和质非晶粒态物质样品的衬度是质厚衬度
1子转.原场。子中可核受采和力用核而散外发 射电生截子偏面对入射电子的散射

《透射电镜图象解释》课件

《透射电镜图象解释》课件

实验条件设置
根据样品特性和研究目的,合理设置加速电压、工作距 离、曝光时间等参数,以确保获得高质量的电镜图象。
正确解读图象并避免误解
熟悉电镜图象特点
了解不同实验条件下的电镜图象特点, 如分辨率、衬度等,有助于正确解读图 象。
VS
避免误解
注意区分真实结构和伪影,避免将伪影误 认为是真实结构,同时也要注意排除其他 干扰因素。
CHAPTER
03
透射电镜图象解释基础
晶体结构和空间群
晶体结构
晶体是由原子或分子在三维空间周期性排列形成的固体。晶 体结构决定了物质的物理和化学性质。
空间群
空间群是描述晶体内部原子或分子排列方式的对称性。不同 的空间群具有不同的对称元素,如镜面、旋转轴和反演中心 等。
原子和分子的电子密度分布
电子密度分布
提高透射电镜图象解释的准确性和可靠性
综合多种信息
结合其他相关实验数据和文献资料,对电镜 图象进行综合分析和解释,以提高准确性和 可靠性。
建立标准化操作流程
制定详细的操作流程和规范,确保实验过程 的一致性和可重复性,从而获得更加可靠的 结果。
电子枪产生电子束,经过聚光镜和物镜的聚焦后,穿过样品到
达投影镜,最后在荧光屏幕上形成图像。
透射电镜的分辨率和放大倍数取决于各透镜的焦距和放大倍数
03 。
透射电镜的优缺点
优点
高分辨率、高放大倍数、能够观察活 细胞和细胞内部的超微结构。
缺点
样品制备复杂、价格昂贵、操作和维 护成本高。
CHAPTER
02
材料晶体结构的透射电镜图象解释,主要是利用电镜技术 观察材料的晶体结构和相变过程。通过分析图象中晶格条 纹、晶面间距等特征,可以推断出材料的晶体结构和物理 性质,为材料科学研究和应用提供重要依据。

透射电镜(TEM)讲义

透射电镜(TEM)讲义

05
TEM操作与注意事项
操作步骤与技巧
01
02
03
04
准备样品
选择适当的样品,进行适当的 处理和固定,以确保观察效果 最佳。
调整仪器参数
根据观察需求,调整透射电镜 的加速电压、放大倍数等参数 ,以达到最佳观察效果。
操作步骤
按照仪器操作手册的步骤进行 操作,包括安装样品、调整焦 距、观察记录等。
技巧
定量分析方法
颗粒统计
对图像中颗粒的数量、大 小和分布进行统计,计算 颗粒的平均尺寸和粒度分 布。
电子衍射分析
利用电子衍射技术分析晶 体结构和相组成,确定晶 格常数和晶面间距。
能谱分析
通过能谱仪测定图像中各 点的元素组成和相对含量, 进行定性和定量分析。
04
TEM图像解析实例
晶体结构分析
利用高分辨的TEM图像,可以观察到晶体内部的原 子排列和晶体结构,如面心立方、体心立方或六方 密排结构等。
掌握操作技巧,如正确使用操 作杆、合理利用观察窗口等, 以提高观察效果和效率。
仪器维护与保养
定期清洁
定期对透射电镜进行清 洁,保持仪器内部和外
部的清洁度。
检查部件
更换消耗品
定期检查透射电镜的部 件,如电子枪、镜筒等,
确保其正常工作。
根据需要,及时更换透射 电镜的消耗品,如真空泵
油、电子枪灯丝等。
保养计划
在操作透射电镜时,应严格遵守操作规程, 确保仪器和人身安全。
THANK YOU
感谢聆听
80%
观察模式
根据观察目的选择不同的观察模 式,如明场、暗场、相位对比和 微分干涉等。
图像解析与解读
01
02
03

透射电镜的原理和应用

透射电镜的原理和应用

透射电镜的原理和应用透射电镜(Transmission Electron Microscope,简称TEM)是一种使用电子束来对物质进行成像和分析的先进仪器。

相对于光学显微镜,透射电镜的分辨率更高,可以观察到更小尺寸的物体和更细微的细节。

下文将详细介绍透射电镜的原理和应用。

一、原理透射电镜的工作原理基于电子的波粒二象性。

当高速电子束穿过薄样品时,电子与样品原子发生散射或透射,这些散射和透射电子可以通过其中一种方式被聚焦后投射到屏幕上形成影像。

透射电镜的主要组成部分包括电子源、电子透镜系统、样品台、检测器和成像系统。

2.电子透镜系统:透射电镜中使用的电子透镜系统包括凸透镜、凹透镜和电磁透镜等,用于聚焦和控制电子束的路径。

3.样品台:样品台用于固定和支持待观察的样品。

在样品台上放置薄到几十纳米的切片样品,以便电子束能够透过。

4.检测器:透射电镜中常用的检测器包括透射电子探测器(TED)、散射电子探测器(SED)和能量散射光谱仪(EDS)等。

TED用于接收透射电子并产生明亮的影像,SED用于检测和分析散射电子的信息,EDS用于分析样品中的元素组成。

5.成像系统:透射电镜的成像系统包括投影屏幕、摄像机和电子显微图像处理设备。

通过调整电子透镜系统,可以将电子束上的信息转换成实时图像并显示在投影屏幕上。

二、应用透射电镜在材料科学、生物科学、纳米科学等领域有广泛的应用。

以下是透射电镜的几个主要应用。

1.结构表征:透射电镜可以用于观察材料的结构和形貌。

它能够提供高分辨率的图像,揭示物质的晶体结构、晶体缺陷、晶界和相界等微观结构信息。

2.成分分析:透射电镜结合能量散射光谱仪(EDS)可以分析样品中元素的组成。

EDS通过测量样品上散射电子的能量,确定样品中元素的成分和含量。

3.纳米材料研究:透射电镜可以研究和制备纳米尺寸的材料。

通过观察和测量纳米材料的形貌、尺寸和结构,可以了解纳米材料的特性和性能,并指导纳米材料的设计和合成。

透射电镜分析

透射电镜分析

透射电镜分析透射电镜是一种常用的材料表征技术,广泛应用于材料科学、生物医学和纳米技术领域。

透射电镜通过电子束的透射来观察样品的内部结构和成分。

本文将介绍透射电镜的原理、仪器结构、操作流程以及在材料科学领域的应用。

透射电镜利用高能电子束穿透样品,通过电子束与样品相互作用的方式,获取样品的内部信息。

与光学显微镜不同,透射电镜具有更高的空间分辨率,可以观察到更细小的结构细节。

同时,透射电镜具有较高的成分分辨率,可以确定材料的化学组成。

透射电镜主要由电子源、透镜系统、样品台和检测器组成。

电子源产生高能电子束,透镜系统对电子束进行聚焦和调节,样品台用于支撑样品并调节其位置,检测器用于接收透射电子并将其转化为图像信号。

在进行透射电镜观察时,首先需要制备适合的样品。

通常,样品要求薄至几个纳米至几十纳米的厚度,以保证电子束的穿透能力。

其次,样品需要通过切片技术制备成透明薄片或通过离子薄化技术获得适当厚度的样品。

制备好的样品被放置在透射电镜的样品台上,并进行位置调节以获得最佳的观察效果。

在透射电镜观察中,可以使用不同的探测模式来获取样品的信息。

例如,原子级分辨透射电镜(HRTEM)可以获得材料的晶体结构信息,高角度透射电子显微镜(HAADF-STEM)可以获得材料的成分信息。

透射电子衍射(TED)可以用于分析晶体的结晶方式和晶格参数。

透射电镜在材料科学领域有着广泛的应用。

首先,透射电镜可以用于研究材料的微观结构和相变行为。

例如,通过观察材料的晶体结构和缺陷,可以了解材料的力学性能和导电性能。

其次,透射电镜可以用于研究材料的纳米结构和纳米尺度现象。

由于透射电镜具有很高的分辨率,可以观察到纳米颗粒、纳米线和二维材料等纳米结构的形貌和性质。

此外,透射电镜还可以用于观察生物样品的超微结构,为生物学研究提供重要的信息。

总之,透射电镜是一种强大的材料表征技术,具有高分辨率和高成分分辨率的优势。

它在材料科学、生物医学和纳米技术等领域发挥着重要作用。

透射电镜

透射电镜

透射电镜的基本功能有:获取高分辨率、高放大
倍率的电子图像,可直接观察矿物的晶体形态、晶格象、 晶体缺陷、显微双晶和出溶作用等现象;进行电子衍射操 作(常用于选区电子衍射)可确定晶体的对称性,计算晶 胞参数,鉴定物相,测定晶体取向等;配以成分分析附件, 可以进行微区成分分析。
现代透射电镜大多包括:扫描透射电子显微系统、
像)。
位相衬度
位相衬度是由于透射 电子与衍射电子在离开试 样后发生干涉产生的衬度。 透射电子行程L,衍射 电子的行程(L2+d2)1/2, 当二者的光程差为λ 的整 数倍时产生干涉。
(3) 超薄切片法
高分子材料用超薄切片机可获得50nm左右的薄 样品。如果要用透射电镜研究大块聚合物样品的内 部结构,可采用此法制样。 用此法制备聚合物试样时的缺点是将切好的超 薄小片从刀刃上取下时会发生变形或弯曲。为克服 这一困难,可以先将样品在液氮或液态空气中冷冻; 或将样品包埋在一种可以固化的介质中。 选择不同的配方来调节介质的硬度,使之与样 品的硬度相匹配。经包埋后再切片,就不会在切削 过程中使超微结构发生变形。
动的全部路径上必须保持高度的真空,以防止电子与空气分 子相碰而改变电子运动方向,防止放电(电离空气分子现象) 和灯丝氧化等。因此,整个镜体,包括照相室,都密封在真 空系统中。一般要求其真空度不低于10-4毫米水银柱,真空 度则依据机械泵和扩散泵的工作来获得。通常在试样室和镜 筒主体间设有可动的隔离装置,以便在更换试样时,只需局 部破坏真空,这样,就可大大提高工作效率。
透射电镜与光学显微镜的原理对比
透射电镜的成像放大原 理与普通光学显微镜极为相 似。不同之处在于电子显微 镜用电子枪发射的电子束作 照明源,用电磁透镜取代玻 璃透镜进行聚焦、成像和放 大。由于电子束与可见光有 一系列本质上的差别,因此, 无论在仪器结构上,还是在 功能和性能方面都明显地不 同于光学显微镜。

透射电子显微镜

透射电子显微镜

透射电子显微镜透射电子显微镜(Transmission electron microscopy,缩写TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。

散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出来。

由于电子的德布罗意波长非常短,透射电子显微镜的分辨率比光学显微镜高的很多,可以达到0.1~0.2nm,放大倍数为几万~百万倍。

因此,使用透射电子显微镜可以用于观察样品的精细结构,甚至可以用于观察仅仅一列原子的结构,比光学显微镜所能够观察到的最小的结构小数万倍。

TEM在中和物理学和生物学相关的许多科学领域都是重要的分析方法,如癌症研究、病毒学、材料科学、以及纳米技术、半导体研究等等。

在放大倍数较低的时候,TEM成像的对比度主要是由于材料不同的厚度和成分造成对电子的吸收不同而造成的。

而当放大率倍数较高的时候,复杂的波动作用会造成成像的亮度的不同,因此需要专业知识来对所得到的像进行分析。

通过使用TEM不同的模式,可以通过物质的化学特性、晶体方向、电子结构、样品造成的电子相移以及通常的对电子吸收对样品成像。

第一台TEM由马克斯·克诺尔和恩斯特·鲁斯卡在1931年研制,这个研究组于1933年研制了第一台分辨率超过可见光的TEM,而第一台商用TEM于1939年研制成功。

第一部实际工作的TEM,现在在德国慕尼黑的的遗址博物馆展出。

恩斯特·阿贝最开始指出,对物体细节的分辨率受到用于成像的光波波长的限制,因此使用光学显微镜仅能对微米级的结构进行放大观察。

通过使用由奥古斯特·柯勒和莫里茨·冯·罗尔研制的紫外光显微镜,可以将极限分辨率提升约一倍[1]。

然而,由于常用的玻璃会吸收紫外线,这种方法需要更昂贵的石英光学元件。

《透射电镜原理》课件

《透射电镜原理》课件
透射电镜的图像具有高分辨率, 能够清晰地展示样品的细节和结
构。
立体感强
透射电镜的图像具有很强的立体感 ,能够呈现出样品的层次感和深度 。
色彩丰富
透射电镜的图像可以通过不同的染 色技术呈现出丰富的色彩,增强视 觉效果。
透射电镜的图像解析步骤
图像获取
通过透射电镜获取样品的图像。
特征提取
从图像中提取出样品的主要特征,如细胞核 、细胞质等。

透射电镜的维护与保养
定期清洁透射电镜的镜筒和样品室,保持清洁度。 定期更换透射电镜的灯丝,保证电子源的正常工作。
检查透射电镜的真空系统和气体系统是否正常工作,确 保电子束传输畅通无阻。
定期进行校准和维护,确保透射电镜的各项参数准确性 和稳定性。
透射电镜的图像解
05

透射电镜的图像特点
高分辨率
复型样品制备
总结词
复型样品制备是为了保护原样品,将其复制成另一种材料并制成薄膜,以便在电镜中观察其微观结构 。
详细描述
复型样品制备通常采用硅橡胶、环氧树脂等材料作为基质,将原样品放置在基质中,经过聚合、固化 等步骤后,将原样品取出,留下一个与原样品相似的薄膜。制备过程中需要注意控制温度和压力,以 确保复型样品的准确性和稳定性。
冷冻样品制备
总结词
冷冻样品制备是为了保持生物样品的活 性和天然状态,将样品快速冷冻并制成 薄膜,以便在电镜中观察其微观结构。
VS
详细描述
冷冻样品制备通常采用液氮等低温介质将 生物样品迅速冷冻,然后将其转移到冷冻 切片机中进行切片。制备过程中需要严格 控制温度和切片的厚度,以确保样品的结 构和成分不受影响。同时,冷冻样品制备 还可以用于观察细胞内部的结构和动态过 程。

透射电镜(TEM)

透射电镜(TEM)

⑥其它斑点确定.利用矢量相加法则,
R1 R2 R3
H1 H2 H3
K1 K 2 K3 L1 L2 L3
⑦根据晶带轴定律,确定零层倒易截面法线
方向. uvw 任选两晶面(HKL)1、(HKL)2
u K1L2 K 2 L1 v H 2 L1 H1L2 w H1K 2 H 2 K1
§透射电镜的显微成像
M M 物M中M 投影 物镜 中间镜 投影镜
衬度光阑 物镜焦平面
选区光阑 物镜像平面 中间镜物平面
◆衍衬成像
晶体试样各部分满足布拉 格反射条件不同和结构振幅的 差异。
衍衬成像----明、暗场像
明场像(BF)——上述采用物镜光栏将衍射束 挡掉,只让透射束通过而得到图象衬度的方法 称为明场成像,所得的图象称为明场像。
gHKL (HKL)
g HKL
1 d HKL
倒易基矢和正空间基矢之间的关系
*晶带定律与零层倒易界面
在正点阵中同时平行于某一晶向的一组晶面构 成一个晶带,这一晶向称为这一晶带的晶轴。
如果电子束沿晶轴方向入射,通过原点O*的倒 易平面只有一个,被称为零层倒易面,用(uvw) *表示。
0
g·r=0晶带定律
此外,散射强度高导致电子透射能力有限, 要求试样薄,这就使试样制备工作较X射 线复杂;在精度方面也远比X射线低。
◆电子衍射原理
◆ Bragg定律 ◆ 倒易点阵与爱瓦尔德球图解法 ◆ 晶带定律与零层倒易界面 ◆ 结构因子 ◆ 偏离矢量与倒易点阵扩展 ◆ 电子衍射基本公式
*Bragg定律
选择反射 满足 2d sinq n ,2dHKL sinq ,这是发生 衍射的必要条件,但不是充分条件。
FH2KL反映各晶面衍射强度大小, 将 FH2KL

透射电镜(TEM)

透射电镜(TEM)

应用及特点
一:应用:透射电子显微镜在材料科学、生物学上应用较多。由于电子易散射或被物 体吸收,故穿透力低,样品的密度、厚度等都会影响到最后的成像质量,必须制备更 薄的超薄切片,通常为50~100nm。所以用透射电子显微镜观察时的样品需要处理得 很薄。常用的方法有:超薄切片法、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。 对于液体样品,通常是挂预处理过的铜网上进行观察。图为超薄切片的制备
显微镜原理对比图
应用举例
1.元素分布分析 利用微束技术对在光学显微镜下所选区域进行扫描分析,可 获得元素的分布图(线分布、面分布、深度分布和断层), 来比较研究元素的区域(或相)分布特征。这类分析称为元 素分布分析。
合金元素在γ和γ’中的分布
应用举例
2.微观形貌观察
镍基高温合金蠕变后的位错形貌
应用举例
JEM2010-透射电子显微镜
原理
透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况:
1.吸收像:当电子射到质量、密密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。样品 上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透 射电子显微镜都是基于这种原理 2.衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体 各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同, 从而使衍射钵的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。 3.相位像:当样品薄至100A以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略, 成像来自于相位的变化。
TEM组件
电子枪:发射电子,由阴极、栅极、阳极
组成。阴极管发射的电子通过栅极上的小孔 形成射线束,经阳极电压加速后射向聚光镜, 起到对电子束加速、加压的作用。 聚光镜:将电子束聚集,可用于控制照明强 度和孔径角。 样品室:放置待观察的样品,并装有倾转 台,用以改变试样的角度,还有装配加热、 冷却等设备。 物镜:为放大率很高的短距透镜,作用是 放大电子像。物镜是决定透射电子显微镜分 辨能力和成像质量的关键。 中间镜:为可变倍的弱透镜,作用是对电 子像进行二次放大。通过调节中间镜的电流, 可选择物体的像或电子衍射图来进行放大。 透射镜:为高倍的强透镜,用来放大中间 像后在荧光屏上成像。 此外还有二级真空 泵来对样品室抽真空、照相装置用以记录影 像

透射电镜

透射电镜

2、成像系统
成像系统是电镜获得高分辨 率高放大倍数的核心组件 组成 三组电磁透镜(物镜、中间镜和 投影镜) 两个金属光阑(物镜光阑和选区 光阑) 消像散器
对于所形成的三级放大像 (如图),放大倍数为: M=MoMIMp
(1)物镜
是用来形成第一幅高分辨率电 子显微图像或电子衍射花样的 透镜 透射电子显微镜分辨本领的高 低主要取决于物镜。只有被物 镜分辨出来的结构细节,通过 中间镜和投影镜的放大,才能 被肉眼看清。 物镜是一个强激磁,短焦距的 透镜。它的放大倍数很高,一 般为100-300倍。目前高质量 的物镜分辨率可达0.1nm左右 物镜的分辨率主要取决于极靴 的形状和加工精度。
控制系统
四、主要部件的结构
1、样品台
位置:透射电镜的样品是放
置在物镜的上、下极靴之间。
作用:装载试样
由于这里的空间很小,所以 透射电镜的样品也很小,通 常是直径2~3mm、厚度约为 200纳米的薄片,通常用外径 3mm的样品铜网支持,网孔或 方或园,约0.075mm。
2 、电子束倾斜与平移装置

(2)聚光镜
放大倍数为几十万倍的高分辨率电子显微镜要求样品 被照明的范围很小,因此把电子枪提供的光斑直径进 一步会聚缩小,以便得到一束强度高,直径小,相干 性好的电子束。高性能电子显微镜一般采用双聚光镜 系统。 作用: ①会聚经加速管加速的电子束,以最小的损失照射样品; ②调节照明强度、孔径角和束斑大小。
(2)中间镜
改变中间镜的电流,如果把 中间镜的物平面和物镜的像 平面重合,电镜处于成像模 式,在荧光屏上得到试样的 形貌像。这就是电镜中的高 倍放大操作,如图(a)。
如果把中间镜的物平面和物 镜的后焦面重合,电镜处于 衍射模式,在荧光屏上得到 一幅电子衍射花样,这就是 电镜中的电子衍射操作,如 图(b)。

4.2 透射电镜(TEM)

4.2 透射电镜(TEM)

二、放大倍数
透射电镜的放大倍数是指电子图象对于所 透射电镜的放大倍数是指电子图象对于所 观察试样区的线性放大率。目前高性能透射电 观察试样区的线性放大率。目前高性能透射电 镜的放大倍数变化范围为100倍到80万倍。 镜的放大倍数变化范围为100倍到80万倍。 人眼睛的最小分辨率是0.2mm,若将 人眼睛的最小分辨率是0.2mm,若将 0.1nm放大到0.2mm,需要放大到200万倍。 0.1nm放大到0.2mm,需要放大到200万倍。 通过立体显微镜及照相底片的光学放大 可进一步放大图像。
透镜电镜和普通光学显微镜的光路是相似的
光学显微镜与透射电镜的比较
比较部分 光源 透镜 放大成象系统 样品 介质 像的观察 分辨本领 有效放大倍数 聚焦方法 光学显微镜 可见光(日光 电灯光) 日光、 可见光 日光、电灯光 光学透镜 光学透镜系统 1mm厚的载玻片 厚的载玻片 空气和玻璃 直接用眼 200nm 103× 移动透镜 透射电镜 电子源(电子枪 电子枪) 电子源 电子枪 磁透镜 电子光学透镜系统 约10nm厚的薄膜 厚的薄膜 高度真空 利用荧光屏 0.2~0.3nm 106× 改变线圈电流或电压
工作原理: 工作原理:
电子枪产生的电子束经1-2级聚光镜汇聚后均匀照射到 电子枪产生的电子束经1 试样上的某一待观察微小区域内,由于试样很薄, 试样上的某一待观察微小区域内,由于试样很薄,绝大多数 电子穿透试样,其强度分布与所观察试样区的形貌、组织、 电子穿透试样,其强度分布与所观察试样区的形貌、组织、 结构一一对应。透射出的电子经放大后投射于荧光屏上, 结构一一对应。透射出的电子经放大后投射于荧光屏上,显 示出与试样形貌、组织、结构相对应的图像。 示出与试样形貌、组织、结构相对应的图像。
4.2.3 透射电镜的主要性能指标

透射电镜

透射电镜

第二节 样品制备
TEM样品可分为间接样品和直接样品。 要求: (1)供TEM分析的样品必须对电子束是透明的,通常样品观察区域的 厚度以控制在约100~200 nm为宜。 (2)所制得的样品还必须具有代表性,以真实反映所分析材料的某些 特征。因此,样品制备时不可影响这些特征,如已产生影响则必须知 道影响的方式和程度。
铜网和支持膜
Colloidal nanoalloys from Au and Pd nanoparticles
Component 1: Pd nanoparticles with size of ~70 nm
R R O Si Si O O O O O R Si O R Si O O Si O Si R
2.扫描电镜(SEM) 扫描电镜即扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)。主要用于观察样品的表面形 貌、断裂面结构等。
扫描电镜原理
工作原理:利用电子射线轰击样品表面,引起二次电 子等信号的发射,经检测装置接收后成像的一类电镜。
主要优点:景深长,所获得的图像立体感强,可用来 观察生物样品的各种形貌特征。
成像电子在电磁透镜磁场中沿螺旋线轨迹运动,而可见光是以折线形 式穿过玻璃透镜。因此,电磁透镜成像时有一附加的旋转角度,称 为磁转角。物与像的相对位向对实像为180,对虚像为。
(3)电磁透镜的分辨本领
1/ 4 r0 A3 / 4 Cs
式中:A——常数;——照明电子束波长;Cs——透镜球差系数。
透射电镜和光学显微镜的比较

透射电镜的工作过程与光学显微镜类似。 在光学显微镜中,聚焦后的可见光射向样品,穿过样品的 光经过物镜、目镜等光学系统聚焦后被眼睛接收。 而在电子显微镜中,可见光由电子枪发射出来的电子束所 代替,在阳极加速电压的作用下,电子经过2、3个电磁 透镜会聚为电子束,用来照明样品薄片(电子的穿透能力 很弱,因此样品必须很薄)。

透射电镜

透射电镜

1、负载型金属纳米粒子的 HRTEM表征 负载型金属催化剂的金属纳米粒子的尺寸、形状与催化剂 的活性密切相关, 通过 HRTEM研究上述信息具有重要意义。 在 HRTEM下,金属粒子的衬度受载体的制约,在由轻元素构 成的载体中,金属纳米粒子的分辨性又与粒子的原子序、 尺寸与载体厚度相关。通常情况下,金属越重 , 载体越薄, 则图像的衬度越高,可分辨性就越强。图中 PT的纳米簇, 甚至单原子PT均能清晰可辨


透射电子显微镜及相关技术在多相催化研 究中的应用
杨卫亚 , 沈智奇 , 王丽华 , 郭长友 , 季洪海 , 凌凤香 , 王丽 君 (中国石油化工股份有限公司 抚顺石油化工研究院, 辽宁 抚 顺 113001)
摘 要:工业多相催化剂是极其复杂的物理化学体系。 长期 以来, 工业催化剂的制备很大程度上依赖于经验和技艺, 而 难以从原子分子水平的科学原理方面给出令人信服的形成机 制。 为开发更高活性、 选择性和稳定性的新型工业催化剂, 通过各种表征技术对催化剂制备中的过程产物及最终产品进 行表征是一个关键性的基础工作。 在当前各种现代表征手段 中, 透射电子显微镜尤其是高分辨透射电子显微镜, 可以在 材料的纳米、微米区域进行物相的形貌观察、 成分测定和结 构分析, 可以提供与多相催化的本质有关的大量信息, 指导 新型工业催化剂的开发。 该文讨论了运用透射电子显微镜获 取催化剂中纳米结构信息的方法, 并综述了运用透射电子显 微镜表征多相催化剂方面的一些成果。
TEM成像原理
透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况: • 吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时,主要的成相 作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射 角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子 显微镜都是基于这种原理。 • 衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振 幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现 晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而 使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。 • 相位像:当样品薄至100Å以下时,电子可以穿过样品,波 的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。

电镜的基本原理(1)透射电镜

电镜的基本原理(1)透射电镜


在台湾只要往有山的道路上走一走,就随处都可看到「农 舍」变「精舍」,山坡地变灵塔,无非也是为了等到死后,
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透射电子显微镜的样品处理
样品的一般制备方法 1、粉末样品可将其分散在支持膜上进行观察。
2、直接制成厚度在100-200nn之间的薄膜样品,观 察其形貌及结晶性质。一般有真空蒸发法、溶 液凝固(结晶)法、离子轰击减薄法、超薄切片 法、金届薄片制备法。
3、采用复型技术,即制作表面显微组织浮雕的复形
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光学显微镜的分辨率为光波波长的一半(约为2000Å),
眼睛的分辨率为0.2mm,因此光学显微镜最大放大倍数为
1000倍, 超过这个数值并不能得到更多的信息,而仅仅是
将一个模糊的斑点再放大而已.多余的放大倍数称为空放
大。
• 为了看清楚原子.电镜必须有优于2.5 Å的原子尺寸的 分辨率和50万~100万倍的放大倍数,否则就不能在底片 上记录下原子的存在。目前200kV电镜的技术水平已达到 放大倍数100万倍,点分辨率1.9 Å,晶格分辨率1.4 Å.目 前最高水平仪器的品格分辨率可达0.5 .基本可以在底 片上记录下原于的存在,清晰地反映原子在空间的排列.
个原于的显微镜,并且还能进行纳米尺度的晶
体结构及化学组成分析,成为全面评价固体微 观结构的综合性仪器.
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电子显微镜利用电磁透镜使电子束聚焦成 像,具有极高的放大倍数和分辨率,可以洞察 物质在原子层次的微观结构.但是高聚物和生 物大的结构本身又容易在 电子束的照射下产生损伤,因此像的反差及清 晰度不高。英国医学研究委员会分子生物实验 室的A Klug博士,把衍射原理与电子显微学巧 妙地结合在一起,发展了一整套图像处理方法, 把生物标本的电子显微像的分辨率提高到可以 观察生物分子内部结构的水平.并用它研究了 核酸—蛋白质构成的染色体的结构,对细胞分 化和癌症起因的探讨起到了重要作用,因而获 得了1982年诺贝尔化学奖.这也为从分子水平 上阐明高聚物的结构和弄清高聚物结构与性能 的关系开辟了新的前景。

透射电镜介绍

透射电镜介绍
中间镜和投影镜的作用是将来自物镜的初
级像逐级放大,最后成像于荧光屏上。其 结构与物镜基本相似,中间镜是长焦距弱 磁透镜,投影镜是短焦距强磁透镜。利用 改变中间镜和第一投影镜的电流来控制总 放大倍数。
投影镜(Projector
荧光板 双目镜 底片盒 底片传送装置 控制暴光装置
阳极
阳极电位为零,相对于阴 极是正的加速电压。通常几十 千伏~几百千伏,视不同要求 而定,其作用是使电子加速。
聚光镜
聚光镜的作用是将电子枪所发射的电子束
会聚在样品上,控制照明亮度、电子束斑 的大小及孔径角。
构成:电磁透镜、聚光镜光阑、偏转线圈、
消像散器等组成。
Overfocused
Focused
真空系统包括:
机械泵、扩散泵等 真空检测装置 阀门和控制系统
3 电气系统


高压电源 透射电源 偏转线圈电源 真空系统电源 照相系统电源 安全保护电路
谢谢
物镜(Objective lens)
物镜(Objective
lens)是成像放大系 统的第一级成像透 镜,其作用是将样 品信息作初级放大, 一般放大倍数为50 倍。
物镜光阑(Objective aperture )
Remove aperture
Insert aperture
中间镜(Intermediate lens)
2 真空排气系统
真空系统的作用是使镜筒内部处于高真空 状态,也是决定电镜能否正常工作的重要 因素。如果真空度差,则: (1)导致气体分子与高速运行的电子相互作 用而随机地散射电子,降低图像的反差。 (2)电子枪中所残存的气体分子会产生电离 而放电,引起电子束发射不稳定或“闪 烁”。
(3)残余气体与热灯丝作用,缩短灯丝寿命。 (4)残余气体聚集在样品上会污染样品。
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边缘(第一暗纹处),则此两物点被认为是刚刚可以分辨。两艾里斑中心距小于艾里斑
半径,两象点不能分辨。
衍射屏
L
观察屏
( )
刚可分辨
不可分辨
1
斑艾

圆孔孔径为D f
相对光 1 I / I0
强曲线
中央为亮斑,外围为一些同心亮 环.光强主要在中央亮斑区 (84%)——艾里(Airy)斑。
0 1.22(/D) sin
艾里斑
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随着人们对微观粒子运动的深入认识,用于显微镜 的一种新的照明源 — 电子束被发现了。
1924年法国物理学家德.布罗意(De Broglie)提出一 个假设:运动的微观粒子(如电子、中子、离子等)与光 的性质之间存在着深刻的类似性,即微观粒子的运动服 从波-粒两象性的规律。两年后通过电子衍射证实了这 个假设,这种运动的微观粒子的波长为普朗克常数 h 对 于粒子动量的比值,即:
λ=h/mv
对于电子来说,这里, m 是电子质量[kg], v 是 电子运动的速度[m·s-1]。
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8
初速度为零的自由电子从零电位达到电位为U ( 单位为 v )的电场时电子获得的能量是eU
1/2mv2 = eU 当电子速度v 远远小于光速C 时,电子质量m 近 似等于电子静止质量m0,由上述两式整理得:
从E. Ruska等发明电镜那时起,其基本光学原理始终没有改变 过。后来主要是提高分辨本领和使用性能等。
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诺贝尔物理奖牌正面
诺贝尔物理铜像
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透射电镜发展历程de :
• 1928年,柏林工科大学的克偌尔和茹斯卡奠定了电镜的理论基础。
• 1933年,茹斯卡制造的第一台电子光学装置,可放大12000倍。
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5
在物方介质为空气的情况下,任何光学透镜系 统的N·A值小于1。
D0 ≈ 1/2λ
波长是透镜分辨率大小的决定因素。
透镜的分辨本领主要取决于照明束波长λ。若 用波长最短的可见光(λ=400nm)作照明源。
d0=200nm
200nm是光学显微镜分辨本领的极限
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瑞利判据:对于两个等光强的非相干物点,如果其一个象斑的中心恰好落在另一象斑的
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将常数代入上式,并注意到电子电荷 e 的单位 为库仑, h的单位为J·s,我们将得到:
1 .2 2 6 nm U
表9-1不同加速电压下的电子波长 加速电压/kV 20 30 50 100 200 500 1000 电子波长/10-3nm 8.59 6.98 5.36 3.70 2.51 1.42 0.687
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值得一提:
1958年,我国成功地研制了第一台透射电子 显微镜,分辨本领为3nm,1979年分辨本领 达到0.3nm。
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透射电镜的工作原理和特点
透射电镜是以波长极短的电子束作为照明源,用 电子透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领、高放大倍 数的电子光学仪器。
透射电镜,通常采用热阴极电子枪来获得电子束 作为照明源。热阴极发射的电子,在阳极加速电压的 作用下,高速穿过阳极孔,然后被聚光镜会聚成具有 一定直径的束斑照到样品上。具有一定能量的电子束 与样品发生作用,产生反映样品微区厚度、平均原子 序数、晶体结构或位向差别的多种信息。
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• 1953年,日本发现了桑树维管束中的微生物。
• 80年代,电镜技术在自然学科的许多领域中 得到了广泛应用,并形成了一门交差型的新 型学科。科学家利用电镜技术发现了多种病 毒,污染水源中的微生物,有毒物质,纳米 材料等,其中纳米材料使纳米技术崛起并迅 速发展。
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• 1982年,诺贝尔化学奖授予卓越的电镜应 用者——英国的分子生物学家克卢格
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电镜的分类
透射电子显微镜
电子束透过样品(透射电子) 直接放大成像
扫描电子显微镜
电子束以扫描形式轰击在样品上,产生二次电子 等信息,而后再将二次电子等信息收集起来放大 成像。
分析电子显微镜
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透射电镜的发展
First TEM (rudiment),1931 E. Ruska and M. Knoll
(A.Klug)
• 1986年,瑞典皇家科学院将诺贝尔物理学 奖授予电子显微镜的发明者——德国科学
家恩斯特.茹斯卡(ErnstRuska,19061988);授予扫描隧道显微镜的设计者— —德国物理学家宾尼希(Gerd Binnig, 1947-)和瑞士物理学家罗雷尔(Heinrich Rohrer,1933-)。
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当加速电压为100kV时,电子束的波长约为可 见光波长的十万分之一。因此,若用电子束作照明 源,显微镜的分辨本领要高得多。但是,电磁透镜 的孔径半角的典型值仅为10-2-10-3rad。如果加速电 压为100kV,孔径半角为10-2rad,那么分辨本领为:
d0 = 0.61×3.7×10-3/10-2 = 0.225 nm
1) 人的眼睛仅能分辨0.1~0.2mm的细节
2) 光学显微镜,人们可观察到象细菌那样小的物体。
3) 用光学显微镜来揭示更小粒子的显微组织结构是不
可能的,受光学显微镜分辨本领(或分辨率)的限制。
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Байду номын сангаас
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光学透镜分辨本领d0的公式:
d0
0.61 0.61 nsin N..A
式中:λ是照明束波长,α是透镜孔径半角,n 是物方介质折射率,n·sinα或N·A称为数值孔径。
现代仪器分析实验技术
透射电镜
2014.06.09
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1
内容
一、为什么需要电镜 二、电镜的分类 三、透射电镜的发展历史 四、透射电镜的基本原理 五、透射电镜能做什么 六、HT-7700电镜的基本使用
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2
观察事物的需要----电子显微镜
放大和分辨率
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分辨率的追求 分辨本领
指显微镜能分辨的样品上两点间的最小距离。以 物镜的分辨本领来定义显微镜的分辨本领。
• 1938年,茹斯卡制造的第一台透射电子显微镜,分辨率达100埃。
• 1939年,德国西门子公司按该样机生产了世界第一批商品电镜40台, 并在战后运往其他国家,使人类的形态学研究跨入了超微结构新领域。
• 1939年,茹斯卡通过电镜技术发现了烟草病毒,解决了30年前的悬案, 引起了世界震动,加速了电镜技术的发展。继而在植物中发现了彩虹 病毒、风轮病毒、家蚕病毒等;在人体中发现了流感病毒、天花病毒、 肝炎病毒、麻风杆菌等,同时也找出了一些污染源和毁灭性的瘟疫流 行渠道。
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