磁控溅射镀膜机的使用流程

磁控溅射镀膜机的使用流程

1. 准备工作

在操作磁控溅射镀膜机之前，需要进行一些准备工作，确保操作环境的安全和

设备的正常运行。

•确认设备的电源线是否连接正常，并检查设备是否接地稳定。

•检查溅射镀膜机的压力表、温度计、流量计等仪表是否正常工作。

•检查溅射镀膜机的气源、电源等供应是否稳定。

2. 打开溅射镀膜机

首先，需要打开磁控溅射镀膜机。

1.将溅射镀膜机的总电源开关置于开启状态。

2.检查控制面板是否正常亮起。

3.按下溅射镀膜机操作面板上的电子锁开关，解锁镀膜机的控制功能。

3. 调试设备参数

在使用溅射镀膜机之前，需要根据工艺要求对设备参数进行调试。

1.调整辅助气体流量：根据工艺要求，通过操作面板上的流量调节阀，

调整辅助气体的流量。

2.调整溅射镀膜机室内的真空度：根据工艺要求，使用溅射镀膜机上的

真空度调节阀，调整室内的真空度。

3.设置溅射材料和靶材的参数：根据工艺要求，使用面板上的参数调节

器，设置溅射材料和靶材的参数，如功率、速度等。

4. 加载靶材和标的物

在进行溅射镀膜之前，需要先加载靶材和标的物。

1.打开磁控溅射镀膜机的前装门，将待镀膜的标的物放置在标的物台上。

2.打开磁控溅射镀膜机的靶材舱门，将靶材装入靶材托盘中，然后将靶

材托盘放入靶材舱。

3.使用磁控溅射镀膜机的操作面板，将坐标定位到标的物的位置上。

5. 开始溅射镀膜

一切准备就绪后，可以开始进行溅射镀膜操作了。

1.检查一遍设备的参数和操作流程是否设定正确。

2.按下溅射镀膜机操作面板上的“启动”按钮，启动溅射镀膜过程。

3.监控溅射镀膜过程中的参数变化，并根据需要进行相应的调整。

4.在镀膜时间达到要求后，按下操作面板上的“停止”按钮，停止溅射镀

膜过程。

6. 完成操作

完成溅射镀膜后，需要进行一些收尾工作。

1.关闭磁控溅射镀膜机的电源开关。

2.清理溅射镀膜机内的靶材残留物和镀膜沉积物。

3.维护设备，保持设备的清洁和正常运行。

4.将操作面板上的电子锁开关设置为锁定状态，以防止设备误操作。

以上是磁控溅射镀膜机的使用流程。在操作设备时，务必遵循设备的操作规程和安全操作要求，确保操作的安全和成功完成镀膜任务。