《印刷工艺培训》PPT课件

主要工艺：
硅片去油工艺
去除损伤层
制绒面
扩散
丝网印刷 烧结
制氮化硅 测试分选
去除氧化层
周边刻蚀
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主要工艺原理：
▪ 磷扩散工艺：
太阳能电池片运用一种简单的均匀扩散技术，在相同深度 金属接触面下进行掺杂形成发射极。在印刷接触面下保持 相对较高的表面磷的浓度，然而，高的表面的磷的浓度会 造成死层减低蓝光响应。最新电池片设计是接触浅的发射 极，提高蓝光响应。也有工程师提出在金属面接触下提供 可选的高掺杂发射极，但是这一技术还未运用于生产。
▪ 周边隔离： 有各种周边隔离技术：等离子刻蚀，激光切割或在边缘制 膜防止边缘扩散。
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背电极印刷及烘干：
▪ 在电池片的反面印刷铝浆并通过烧结工艺合成，产生背场 （BSF）。
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在印刷过程中，金属浆料通过丝网网眼渗透到印刷区域。 丝网网眼的最小宽度决定细栅线的最小宽度，典型的宽度为 100～200μm。
丝网材质：不锈钢丝网 目数：325目 丝直径：23～28μm 丝网厚度：46μm 膜厚：15μm 膜和丝网总厚度：60～63μm
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图1：
缺点：焊条为长条状，浪费了AgAl浆 优点：一旦出现碎片后，可以顺利的划成碎片
图2：
优点：可以大大节省AgAl浆，降低成本 缺点：一旦出现碎片后，断成小片，利用率大大降低
▪ 制绒面： 绒面制造可选工艺技术：
1. 用切割工具或激光在晶元表面进行机械制绒 2. 化学刻蚀是基于晶向性缺点来进行
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3. 化学刻蚀再结合照相平板印刷膜
4. 等离子刻蚀
▪ 制备减反射膜与烧结 制备减反射膜尤其适合不易制绒面得多晶硅，有两种普通 的减反射膜：一种是二氧化钛，一种是氮化硅。
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▪ 丝网的材质：不锈钢丝网 1.目数：200目 目数的定义：χ目表示在1平方英寸的正方 形面积上，长为χ根，宽也为χ根，即表示χ目。 2. 丝直径：46～53μm 3. 丝网厚度：82～90 μm 4. 膜厚：15 μm 5. 张力：25N
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背面AgAl浆可焊电极：
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丝网印刷分为三个重要部分：
▪ 背电极印刷及烘干 浆料：Ag Al浆 Ferro 3398（美国）
▪ 背电场印刷及烘干 浆料：Al浆 Ferro FX53-038（美国）
▪ 正面电极印刷及烘干
浆料：Ag浆 Ferro CN33-462（美国）
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丝网印刷工艺在电池片生产中所处的位置：
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图3：
优点：与铝背场形成良好的欧姆接触，铝浆料和银浆 料有细栅线的重叠部分，这样可以大大提高效率和填 充因子。
总结：尽量减少铝浆与银铝浆的重叠部分，在显微 镜下观察两者重叠部分严重发黑，即大量的有机溶 剂没有充分挥发，这样就严重影响电池效率和填充 因子。
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正面栅线设计：
▪ 丝网材质：不锈钢丝网 ▪ 目数：280目 ▪ 线直径：30 μm ▪ 丝厚度：50 μm ▪ 膜厚：15 μm ▪ 膜和丝网的总厚度：65 μm ▪ 张力：26N
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▪细栅线宽度：0.125mm
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▪ 细栅线数：44 ▪ 最边缘的细栅线到电池边缘的距离为1.7mm
0.125×44＋1.7×2＋43×2.7＝125 ▪ 两根细栅线之间的距离为2.7mm ▪ 主栅线的宽度1.5mm
丝网印刷工艺
江苏林洋新能源有限公司
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丝网印刷设备生产线（意大利Baccini设备）
Dry
Load
Print
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•印刷台及其控制ห้องสมุดไป่ตู้面
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•烘干炉及其内部构造
•外部视图
•内部旋转式温区结构
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丝网印刷发展：
▪ 丝网印刷技术从本上世纪70年代开始产生发展，由 于其相对简单的生产工艺，在市场上确立了优势。 而丝网印刷也有各种不同的制造工艺，其中我们运 用的是一种最简单的工艺，它也被一些生产厂商和 实验室改进并提高。 但是所有的改进和变化都是为了获得更高的转 换效率和更低的成本，所以许多的改进工艺已经运 用于经济生产活动，而更多的还只是停留在实验室 阶段。
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